激光装置和电子器件的制造方法与流程

本公开涉及激光装置和电子器件的制造方法。

背景技术：

1、近年来，在半导体曝光装置中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，从曝光用光源发射的光的短波长化得以发展。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长大约为248nm的激光的krf准分子激光装置、以及输出波长大约为193nm的激光的arf准分子激光装置。

2、krf准分子激光装置和arf准分子激光装置的自然振荡光的谱线宽度较宽，大约为350～400pm。因此，在利用使krf和arf激光这种紫外线透过的材料构成投影透镜时，有时产生色差。其结果，分辨率可能降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化到能够无视色差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内，为了使谱线宽度窄带化，有时具有包含窄带化元件(标准具、光栅等)的窄带化模块(line narrowing module：lnm)。下面，将谱线宽度被窄带化的气体激光装置称为窄带化气体激光装置。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：美国专利申请公开第2021/0226414号

6、专利文献2：国际公开第2021/015919号

7、专利文献3：国际公开第2020/231946号

技术实现思路

1、本公开的一个观点的激光装置具有：波长可变的第1半导体激光器，其输出连续振荡的第1激光；第1放大器，其进行第1激光的脉冲化和放大，而输出第1脉冲激光；波长转换系统，其通过使用第1脉冲激光的波长转换，而输出第2脉冲激光；准分子放大器，其对第2脉冲激光进行放大，而输出第3脉冲激光；监视器模块，其计测第3脉冲激光的波长；以及处理器，其进行如下处理：将第3脉冲激光的目标波长交替地变更为第1目标波长和比第1目标波长靠长波长侧的第2目标波长，计算中心波长以及波长差，该中心波长是以第1目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值和以第2目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值的平均值，该波长差是以第1目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值与以第2目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值之差，计算第1目标波长时的第1半导体激光器的第1电流值和第2目标波长时的第1半导体激光器的第2电流值的平均值即平均电流值，以使目标中心波长与中心波长之差变小，该目标中心波长是第1目标波长和第2目标波长的平均值，计算第1电流值与第2电流值之差即电流值差，以使目标波长差与波长差之差变小，该目标波长差是第1目标波长与第2目标波长之差，根据平均电流值和电流值差计算第1电流值和第2电流值，对第1半导体激光器进行控制，以使得在以第1目标波长输出第3脉冲激光的情况下第1半导体激光器的电流值成为第1电流值，在以第2目标波长输出第3脉冲激光的情况下第1半导体激光器的电流值成为第2电流值。

2、本公开的另一个观点的电子器件的制造方法包含以下步骤：通过激光装置生成第3脉冲激光，将第3脉冲激光输出到曝光装置，在曝光装置内在感光基板上曝光第3脉冲激光，以制造电子器件，该激光装置具有：波长可变的第1半导体激光器，其输出连续振荡的第1激光；第1放大器，其进行第1激光的脉冲化和放大，而输出第1脉冲激光；波长转换系统，其通过使用第1脉冲激光的波长转换，而输出第2脉冲激光；准分子放大器，其对第2脉冲激光进行放大，而输出第3脉冲激光；监视器模块，其计测第3脉冲激光的波长；以及处理器，其进行如下处理：将第3脉冲激光的目标波长交替地变更为第1目标波长和比第1目标波长靠长波长侧的第2目标波长，计算中心波长以及波长差，该中心波长是以第1目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值和以第2目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值的平均值，该波长差是以第1目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值与以第2目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值之差，计算第1目标波长时的第1半导体激光器的第1电流值和第2目标波长时的第1半导体激光器的第2电流值的平均值即平均电流值，以使目标中心波长与中心波长之差变小，该目标中心波长是第1目标波长和第2目标波长的平均值，计算第1电流值与第2电流值之差即电流值差，以使目标波长差与波长差之差变小，该目标波长差是第1目标波长与第2目标波长之差，根据平均电流值和电流值差计算第1电流值和第2电流值，对第1半导体激光器进行控制，以使得在以第1目标波长输出第3脉冲激光的情况下第1半导体激光器的电流值成为第1电流值，在以第2目标波长输出第3脉冲激光的情况下第1半导体激光器的电流值成为第2电流值。

3、本公开的另一个观点的激光装置具有：波长可变的第1半导体激光器，其输出连续振荡的第1激光；第1放大器，其进行第1激光的脉冲化和放大，而输出第1脉冲激光；波长转换系统，其通过使用第1脉冲激光的波长转换，而输出第2脉冲激光；准分子放大器，其对第2脉冲激光进行放大，而输出第3脉冲激光；监视器模块，其计测第3脉冲激光的波长；以及处理器，其进行如下处理：将第3脉冲激光的目标波长交替地变更为第1目标波长和比第1目标波长靠长波长侧的第2目标波长，计算中心波长以及波长差，该中心波长是以第1目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值和以第2目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值的平均值，该波长差是以第1目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值与以第2目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值之差，计算第1目标波长时的第1半导体激光器的第1电流值与第2目标波长时的第1半导体激光器的第2电流值之差即电流值差，以使目标波长差与波长差之差变小，该目标波长差是第1目标波长与第2目标波长之差，根据第1半导体激光器的基准电流值和电流值差计算第1电流值和第2电流值，对第1半导体激光器进行控制，以使得在以第1目标波长输出第3脉冲激光的情况下第1半导体激光器的电流值成为第1电流值，在以第2目标波长输出第3脉冲激光的情况下第1半导体激光器的电流值成为第2电流值，对第1半导体激光器的温度进行控制，以使中心波长成为第1目标波长和第2目标波长的平均值即目标中心波长。

4、本公开的另一个观点的电子器件的制造方法包含以下步骤：通过激光装置生成第3脉冲激光，将第3脉冲激光输出到曝光装置，在曝光装置内在感光基板上曝光第3脉冲激光，以制造电子器件，该激光装置具有：波长可变的第1半导体激光器，其输出连续振荡的第1激光；第1放大器，其进行第1激光的脉冲化和放大，而输出第1脉冲激光；波长转换系统，其通过使用第1脉冲激光的波长转换，而输出第2脉冲激光；准分子放大器，其对第2脉冲激光进行放大，而输出第3脉冲激光；监视器模块，其计测第3脉冲激光的波长；以及处理器，其将第3脉冲激光的目标波长交替地变更为第1目标波长和比第1目标波长靠长波长侧的第2目标波长，计算中心波长以及波长差，该中心波长是以第1目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值和以第2目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值的平均值，该波长差是以第1目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值与以第2目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值之差，计算第1目标波长时的第1半导体激光器的第1电流值与第2目标波长时的第1半导体激光器的第2电流值之差即电流值差，以使目标波长差与波长差之差变小，该目标波长差是第1目标波长与第2目标波长之差，根据第1半导体激光器的基准电流值和电流值差计算第1电流值和第2电流值，对第1半导体激光器进行控制，以使得在以第1目标波长输出第3脉冲激光的情况下第1半导体激光器的电流值成为第1电流值，在以第2目标波长输出第3脉冲激光的情况下第1半导体激光器的电流值成为第2电流值，对第1半导体激光器的温度进行控制，以使中心波长成为第1目标波长和第2目标波长的平均值即目标中心波长。