一种掩模装置的基板及对位方法与流程

本申请涉及显示，尤其涉及一种掩模装置的基板及对位方法。

背景技术：

1、有机发光二极管(organic light emitting diode，oled)显示器具有低能耗、自发光、宽视角及响应速度快等优点，是当今显示器研究领域的热点之一，被认为是下一代显示技术。目前，采用蒸镀方式制备oled显示器的像素单元中的发光层的成膜方式较为广泛。在采用蒸镀方式成膜时，一般通过掩模板限制出像素单元的位置。镀膜掩模板是对基板进行气相外延镀膜过程中使用的工具，外延层通过掩模板上图案化的通孔，沉积在基板上特定区域，形成与掩模板开孔图案相同的沉积层。对于有套刻精度要求的薄膜沉积，需要通过掩模板上的对位孔与薄膜沉积的目标基板上的对位标进行精确对位，实现二者图案的精确重合。

2、传统基于机器视觉原理的掩模板对位使用的对位标图案，多为单个的圆形、矩形、十字形或这些图案的简单重复排列。这种对位标，对于一般精度的对位能够满足要求，但对于对位精度要求为0.1μm或更高精度的对位，往往会导致系统成本的大幅提高。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中存在的问题，本发明提供了一种掩模装置的基板及对位方法。

2、本发明提供了一种掩模装置的基板，包括：在基板的边缘具有至少两个对位标记；在每一个对位标记内具有至少两个不相同的对位图案。

3、可选的，所述基板边缘有4个对称分布的对位标记。

4、可选的，每个对位标记内包括阵列排列的若干对位图案。

5、可选的，每个对位标记内分为九宫格，包括9个对位图案，所述对位标记中心位置的对位图案为正方形环，四个角处的对位图案为圆形环，其余的对位图案为菱形环。

6、可选的，所述9个对位图案在对位标记内对称设置。

7、可选的，所述对位图案为钛、铝及氮化钛三种材料组成的叠层结构。

8、可选的，所述对位标记内的若干对位图案的中心与该对位标记的中心重合。

9、可选的，所述对位标记内每个对位图案的尺寸和每两个对位图案之间的间隙相同。

10、可选的，所述对位图案的形状包括圆形、三角形、矩形、十字形、五角形、六边形、八边形中的一种或多种的组合、嵌套及复合。

11、本发明还提供了一种利用上述基板的对位方法，包括步骤：将基板和掩模板安装在蒸镀设备中；将所述基板的对位标记和所述掩模板的对位孔置于摄影机的视野范围内；将所述对位标记中的至少两个不同的对位图案置于所述掩模板的对位孔中；根据所述对位标记中对位图案距离掩模板的对位孔边缘的位置，判断所述基板对位标记与所述掩模板对位孔的方向和距离；进行对位。

12、可选的，所述掩模板的对位孔的数量与所述基板的对位标记个数相同。

13、可选的，所述掩模板为圆形，靠近掩模板圆周位置具有4个对位孔，所述4个对位孔对称分布。

14、可选的，所述基板与掩模板对位完成后，基板上的对位标记的中心与相对应的掩模板的对位孔的中心重合。

15、与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下有益效果：

16、本发明提供了一种掩模装置的基板及对位方法，在真空蒸镀机中通过掩模板对基板进行图案化蒸镀过程之前，借助基板上由不同对位图案的平面组合组成的多组对位标记，通过掩模板的对位孔识别基板上的对位标记，确定基板的精确位置，最终使掩模板的对位孔和基板的对位标记精确重合，在不大幅增加成本的情况下，显著提高了掩模板和基板的对位精度。

技术特征：

1.一种掩模装置的基板，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的掩模装置的基板，其特征在于，所述基板边缘有4个对称分布的对位标记。

3.如权利要求1所述的掩模装置的基板，其特征在于，每个对位标记内包括阵列排列的若干对位图案。

4.如权利要求1所述的掩模装置的基板，其特征在于，每个对位标记内分为九宫格，包括9个对位图案，所述对位标记中心位置的对位图案为正方形环，四个角处的对位图案为圆形环，其余的对位图案为菱形环。

5.如权利要求4所述的掩模装置的基板，其特征在于，所述9个对位图案在对位标记内对称设置。

6.如权利要求1所述的掩模装置的基板，其特征在于，所述对位图案为钛、铝及氮化钛三种材料组成的叠层结构。

7.如权利要求3所述的掩模装置的基板，其特征在于，所述对位标记内的若干对位图案的中心与该对位标记的中心重合。

8.如权利要求1所述的掩模装置的基板，其特征在于，所述对位标记内每个对位图案的尺寸和每两个对位图案之间的间隙相同。

9.如权利要求1所述的掩模装置的基板，其特征在于，所述对位图案的形状包括圆形、三角形、矩形、十字形、五角形、六边形、八边形中的一种或多种的组合、嵌套及复合。

10.一种利用权利要求1至9任意一项所述基板的对位方法，其特征在于，包括步骤：

11.如权利要求10所述的对位方法，其特征在于，所述掩模板的对位孔的数量与所述基板的对位标记个数相同。

12.如权利要求10所述的对位方法，其特征在于，所述掩模板为圆形，靠近掩模板圆周位置具有4个对位孔，所述4个对位孔对称分布。

13.如权利要求10所述的对位方法，其特征在于，所述基板与掩模板对位完成后，基板上的对位标记的中心与相对应的掩模板的对位孔的中心重合。

技术总结本发明提出了一种掩模装置的基板及对位方法。所述基板包括：在基板的边缘具有至少两个对位标记；在每一个对位标记内具有至少两个不相同的对位图案。本发明通过使用多种对位图案组成对位标记，相比于常规的单个方形、圆形或十字形对位标，由于具有更高的图案复杂度及容错率，在无需升级对位系统硬件和软件的情况下，能够快速找到准确的定位点，实现精准对位，在不大幅增加成本的情况下，显著提高掩模板与基板的对位精度。技术研发人员：刘成元,金铉雨受保护的技术使用者：安徽熙泰智能科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/11/14