表面发射激光器的制作方法

根据本公开的技术(在下文中也称为“本技术”)涉及表面发射激光器。

背景技术：

1、常规地，在垂直腔表面发射激光器(vcsel)中，已经提出一种表面发射激光器，其中凹面镜被引入到反射镜中以便禁用由于横向光场限制引起的衍射损耗。然而，因为表面发射激光器在平面中具有对称结构，所以不确定发射光的偏振方向，并且根据样本发射不同方向上的光。此外，在表面发射激光器中，还证实了偏振方向在驱动过程中改变的现象。

2、为了控制偏振方向，已经提出了其中光栅设置在谐振器中并且各向异性被赋予反射的表面发射激光器(例如，参见专利文献1和专利文献2)。

3、引用列表

4、专利文献

5、专利文献1：日本专利申请公开号2014-29979

6、专利文献2：日本专利申请公开号2009-117578

技术实现思路

1、本发明要解决的问题

2、然而，在表面发射激光器中，存在抑制结构的复杂性的改进空间。

3、因此，本技术的主要目的是提供能够抑制结构的复杂性并且能够控制偏振方向的表面发射激光器。

4、问题的解决方案

5、本技术提供了一种表面发射激光器，包括：

6、谐振器，包括：

7、彼此堆叠的第一结构和第二结构，以及

8、设置在第一结构和第二结构之间的有源层，其中

9、第一结构和/或第二结构设置有应力施加结构，应力施加结构将在面内方向上使有源层扭曲的应力施加至有源层。

10、应力施加结构可具有在面内方向上的形状各向异性。

11、应力施加结构可使有源层在平面中的至少一个方向上扭曲。

12、应力施加结构可具有在面内方向上彼此正交的方向上的形状各向异性。

13、谐振器可以设置有设置有源层的发光区域的电流限制区域，并且应力施加结构可以包括设置在平面图中的发光区域的中心的一侧上的第一配置部分和设置在另一侧上的第二配置部分。

14、在平面图中，所述第一配置部分和所述第二配置部分可以相对于发光区域的中心基本上是点对称的。

15、应力施加结构可以沿堆叠方向设置在第一结构和/或第二结构的至少一部分中。

16、应力施加结构可以具有单层结构或多层结构。

17、多个应力施加结构可布置在至少堆叠方向上的不同位置处。

18、多个应力施加结构可包括在有源层的堆叠方向上的相同侧上的第一应力施加结构和第二应力施加结构，第一应力施加结构和第二应力施加结构的施加应力的正负相同，并且第一应力施加结构和第二应力施加结构在平面图中的应力施加方向形成的角度可小于45°。

19、多个应力施加结构可包括在有源层的堆叠方向上的相同侧上的第一应力施加结构和第二应力施加结构，第一应力施加结构和第二应力施加结构的施加应力的正负不同，并且第一应力施加结构和第二应力施加结构在平面图中的应力施加方向所形成的角度可超过45°。

20、多个应力施加结构可包括在有源层的堆叠方向上的不同侧上的第一应力施加结构和第二应力施加结构，第一应力施加结构和第二应力施加结构的施加应力的正负相同，并且第一应力施加结构和第二应力施加结构在平面图中的应力施加方向形成的角度可超过45°。

21、多个应力施加结构可包括在有源层的堆叠方向上的不同侧上的第一应力施加结构和第二应力施加结构，第一应力施加结构和第二应力施加结构的施加应力的正负不同，并且第一应力施加结构和第二应力施加结构在平面图中的应力施加方向所形成的角度可小于45°。

22、第一结构可包括第一反射镜，第二结构可包括第二反射镜，并且第一反射镜和/或第二反射镜可具有应力施加结构。

23、第二结构可包括反射镜以及设置在反射镜与有源层之间的至少一个中间层，并且中间层可具有应力施加结构。

24、第二结构可包括布置在反射镜与有源层之间的透明导电膜，并且中间层可布置在反射镜与透明导电膜之间。

25、第一结构可包括反射镜以及设置在反射镜与有源层之间的至少一个中间层，并且中间层可具有应力施加结构。

26、中间层可以是基板。

27、第二结构可以设置有电极，并且电极可以具有应力施加结构。

28、第一结构可以设置有电极，并且电极可以具有应力施加结构。

技术特征：

1.一种表面发射激光器，包括：

2.根据权利要求1所述的表面发射激光器，其中，所述应力施加结构在面内方向上具有形状各向异性。

3.根据权利要求1所述的表面发射激光器，其中，所述应力施加结构在至少面内的一个方向上使所述有源层变形。

4.根据权利要求1所述的表面发射激光器，其中，所述应力施加结构在面内方向上的彼此正交的方向上具有形状各向异性。

5.根据权利要求1所述的表面发射激光器，其中，

6.根据权利要求5所述的表面发射激光器，其中，在平面图中，所述第一配置部分和所述第二配置部分相对于所述发光区域的中心是基本上点对称的。

7.根据权利要求1所述的表面发射激光器，其中，所述应力施加结构设置于所述第一结构和/或所述第二结构的堆叠方向上的至少一部分。

8.根据权利要求1所述的表面发射激光器，其中，所述应力施加结构具有单层结构或多层结构。

9.根据权利要求1所述的表面发射激光器，其中，多个所述应力施加结构设置在至少堆叠方向上的不同位置处。

10.根据权利要求9所述的表面发射激光器，其中，

11.根据权利要求9所述的表面发射激光器，其中，

12.根据权利要求9所述的表面发射激光器，其中，

13.根据权利要求9所述的表面发射激光器，其中，

14.根据权利要求1所述的表面发射激光器，其中，

15.根据权利要求1所述的表面发射激光器，其中，

16.根据权利要求15所述的表面发射激光器，其中，

17.根据权利要求1所述的表面发射激光器，其中，

18.根据权利要求17所述的表面发射激光器，其中，所述中间层包括基板。

19.根据权利要求1所述的表面发射激光器，其中，

20.根据权利要求1所述的表面发射激光器，其中，

技术总结提供了一种能够抑制结构复杂化并控制偏振方向的表面发射激光器。根据本技术的表面发射激光器包括：谐振器，包括堆叠的第一结构和第二结构；以及有源层，布置在第一结构与第二结构之间，其中，第一结构和/或第二结构设置有应力施加结构，应力施加结构将有源层在面内方向上变形的应力施加至有源层。根据本技术的表面发射激光器，可以提供能够抑制结构复杂化并且控制偏振方向的表面发射激光器。技术研发人员：牧野智大,滨口达史,贾里德·亚历山大·卡恩斯,林贤太郎,伊藤舞子受保护的技术使用者：索尼集团公司技术研发日：技术公布日：2024/11/14