一种石墨盘自动取放装置的制作方法

本技术涉及石墨盘取放装置，具体是一种石墨盘自动取放装置。

背景技术：

1、晶圆衬底之上需要进一步的构建外延层以便于制造器件，典型的有led发光器件，需要在硅衬底上面制备gaas的外延层；在导电型的sic衬底上面生长sic外延层用于构建诸如sbd、mosfet等的器件，用于高压、大电流等功率应用；在半绝缘型的sic衬底上面构建gan外延层，进一步构造hemt等器件，用于通信等射频应用。这里就需要用到一种cvd设备；

2、在cvd设备中，衬底不能直接放在金属或者简单的放置在某个底座上面进行外延沉积，因为其中涉及到气体流向（水平、垂直）、温度、压力、固定、脱落污染物等各方面的影响因素，因此需要用到一个基座，然后将衬底放置在盘上，然后再利用cvd技术在衬底上面进行外延沉积，这个基座就是sic涂层石墨基座，又称为石墨盘。

3、石墨盘是cvd设备中的核心零部件之一，是衬底基片的承载体和发热体，它热稳定性、热均匀性等性能参数对外延材料生长的质量起到决定性作用，直接决定薄膜材料的均匀性和纯度，因此它的品质直接影响了外延片的制备，同时随着使用次数增加、工况环节变化，又极容易损耗，属于耗材，因此需要定期更换。

4、在对石墨盘进行更换时，一般都是通过机械臂配合夹爪来对石墨盘进行拿取、放置，传统的夹爪对石墨盘进行抓取时，是通过两侧的夹块对石墨盘侧面进行夹持，且为了避免对石墨盘造成硬性碰撞损坏，会在夹块的内侧设置相应的缓冲件，当对石墨盘进行竖立转移时，其石墨盘重力集中在与夹块接触的位置，而夹块对石墨盘侧面的夹持面积较小，此时夹块受力较大，容易对夹块的内壁的缓冲件造成过大挤压造成磨损，如此会影响夹爪的使用寿命，基于此，提供一种石墨盘自动取放装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于：为了解决上述背景中的问题，提供一种石墨盘自动取放装置。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种石墨盘自动取放装置，包括由弧形底板、连接臂组成的支撑组件，所述连接臂固定于弧形底板的一侧，所述连接臂的上方设置有抓取组件，所述抓取组件包括第一夹持单元、第二夹持单元，所述第一夹持单元、第二夹持单元相互收缩、展开用于实现石墨盘的抓取与放置；

3、所述第一夹持单元包括第一弧形凹臂、弧形限位块、弧形内齿条以及弧形贯穿槽；

4、所述弧形限位块成型于第一弧形凹臂的内侧中部，所述弧形内齿条成型于第一弧形凹臂的内侧且分布于弧形限位块的上下两端，所述弧形贯穿槽开设于弧形限位块的顶部且贯穿弧形限位块、第一弧形凹臂至第一弧形凹臂的底部；

5、所述第二夹持单元包括第二弧形凹臂、对接弧槽、弧形外齿条；

6、所述第二弧形凹臂滑动连接于第一弧形凹臂的内侧，所述对接弧槽贯穿第二弧形凹臂的内外两侧且贯穿第二弧形凹臂的一端，所述弧形限位块滑动连接于对接弧槽内侧，所述弧形外齿条一体成型于第二弧形凹臂的外侧且分布于对接弧槽的上下两端，所述弧形外齿条与弧形内齿条相对齐；

7、所述连接臂的底部安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有贯穿连接臂并贯穿弧形贯穿槽的连接轴，所述连接轴位于第一弧形凹臂内侧部位的外壁固定连接有传动齿轮，所述传动齿轮位于弧形内齿条、弧形外齿条中间且与弧形内齿条、弧形外齿条相啮合。

8、作为本实用新型再进一步的方案：所述弧形限位块的内侧直径与第二弧形凹臂的内壁直径相匹配，且与石墨盘的外壁直径相匹配，所述弧形限位块的厚度与对接弧槽的内壁高度相匹配，所述第一弧形凹臂的内壁高度与第二弧形凹臂的外壁高度相匹配。

9、作为本实用新型再进一步的方案：所述第一弧形凹臂的内侧开口处成型有折弯边，且上下对称分布两个折弯边之间的高度与第二弧形凹臂的内壁高度相匹配，且与石墨盘的厚度相匹配。

10、作为本实用新型再进一步的方案：所述连接臂的顶部水平高度低于弧形底板的顶部水平高度，且所述第二弧形凹臂内壁底部水平高度、第一弧形凹臂底部折弯边上表面的水平高度以及弧形底板的顶部水平高度呈平齐状态。

11、作为本实用新型再进一步的方案：所述第一弧形凹臂与第二弧形凹臂相互收缩呈最短状态时，所述第一弧形凹臂与第二弧形凹臂相互远离一端之间的距离小于石墨盘的直径，所述第一弧形凹臂与第二弧形凹臂相互伸展至最长状态时，所述第一弧形凹臂与第二弧形凹臂的整体长度大于石墨盘的半圆周长度。

12、作为本实用新型再进一步的方案：所述第一弧形凹臂的外侧成型有弧形导槽，所述连接臂的顶部固定连接有弧形限位导块，所述弧形限位导块与弧形导槽呈滑动连接状态，用于对第一弧形凹臂的移动进行导向与限位。

13、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

14、通过设置抓取组件，通过第一弧形凹臂、第二弧形凹臂的相互伸展和收缩即可实现石墨盘的便捷取放操作，相较于传统的两侧夹块进行夹持的结构，其第一弧形凹臂、第二弧形凹臂与石墨盘的接触面积更大，在对石墨盘进行竖立移动时，石墨盘的重量会分散到各个位置，避免集中对某一个点进行挤压，如此减小了石墨盘对第一弧形凹臂、第二弧形凹臂内侧缓冲件的挤压磨损，进一步提高了装置使用寿命。

技术特征：

1.一种石墨盘自动取放装置，包括由弧形底板（101）、连接臂（102）组成的支撑组件（1），所述连接臂（102）固定于弧形底板（101）的一侧，其特征在于，所述连接臂（102）的上方设置有抓取组件（5），所述抓取组件（5）包括第一夹持单元（501）、第二夹持单元（502），所述第一夹持单元（501）、第二夹持单元（502）相互收缩、展开用于实现石墨盘（6）的抓取与放置；

2.根据权利要求1所述的一种石墨盘自动取放装置，其特征在于，所述弧形限位块（5012）的内外壁直径与第二弧形凹臂（5021）的内壁直径相匹配，且与石墨盘（6）的外壁直径相匹配，所述弧形限位块（5012）的厚度与对接弧槽（5022）的内壁高度相匹配，所述第一弧形凹臂（5011）的内壁高度与第二弧形凹臂（5021）的外壁高度相匹配。

3.根据权利要求1所述的一种石墨盘自动取放装置，其特征在于，所述第一弧形凹臂（5011）的内侧开口处成型有折弯边，且上下对称分布两个折弯边之间的高度与第二弧形凹臂（5021）的内壁高度相匹配，且与石墨盘（6）的厚度相匹配。

4.根据权利要求3所述的一种石墨盘自动取放装置，其特征在于，所述连接臂（102）的顶部水平高度低于弧形底板（101）的顶部水平高度，且所述第二弧形凹臂（5021）内壁底部水平高度、第一弧形凹臂（5011）底部折弯边上表面的水平高度以及弧形底板（101）的顶部水平高度呈平齐状态。

5.根据权利要求1所述的一种石墨盘自动取放装置，其特征在于，所述第一弧形凹臂（5011）与第二弧形凹臂（5021）相互收缩呈最短状态时，所述第一弧形凹臂（5011）与第二弧形凹臂（5021）相互远离一端之间的距离小于石墨盘（6）的直径，所述第一弧形凹臂（5011）与第二弧形凹臂（5021）相互伸展至最长状态时，所述第一弧形凹臂（5011）与第二弧形凹臂（5021）的整体长度大于石墨盘（6）的半圆周长度。

6.根据权利要求1所述的一种石墨盘自动取放装置，其特征在于，所述第一弧形凹臂（5011）的外侧成型有弧形导槽（5015），所述连接臂（102）的顶部固定连接有弧形限位导块（103），所述弧形限位导块（103）与弧形导槽（5015）呈滑动连接状态，用于对第一弧形凹臂（5011）的移动进行导向与限位。

技术总结本技术公开了一种石墨盘自动取放装置，涉及石墨盘取放装置技术领域，包括由弧形底板、连接臂组成的支撑组件、抓取组件，所述抓取组件包括第一夹持单元、第二夹持单元，用于实现石墨盘的抓取与放置。本技术通过设置抓取组件，通过第一弧形凹臂、第二弧形凹臂的相互伸展和收缩即可实现石墨盘的便捷取放操作，相较于传统的两侧夹块进行夹持的结构，其第一弧形凹臂、第二弧形凹臂与石墨盘的接触面积更大，在对石墨盘进行竖立移动时，石墨盘的重量会分散到各个位置，避免集中对某一个点进行挤压，如此减小了石墨盘对第一弧形凹臂、第二弧形凹臂内侧缓冲件的挤压磨损，进一步提高了装置使用寿命。技术研发人员：陈思太,于洪艳受保护的技术使用者：淄博晨启电子有限公司技术研发日：20240131技术公布日：2024/11/21