一种双腔真空干燥装置及电池加工设备的制作方法

本技术涉及真空抽气装备，具体指一种双腔真空干燥装置及电池加工设备。

背景技术：

1、在当前的太阳能电池片制备技术中，通常需要在基底上涂布溶液，在oled器件制备过程中，通常需要在器件制备过程先喷墨打印，之后都需要在真空气盒中进行干燥以控制结晶。而在干燥结晶过程中，溶液会形成晶核，再结晶变为晶体。晶核会直接影响能量转换效果，晶核含量高的区域结晶比例更高，从而导致局域能量转换效率更高，为了保证电池片使用过程中的稳定性及寿命，需要电池片不同区域之间结晶程度均匀。

2、针对太阳能电池、oled器件这类半导体器件制备过程中需要湿法涂敷然后干燥的工艺，通常需要在真空环境中快速干燥结晶。

3、因此，控制结晶的一致性对器件的质量至关重要。目前，行业内通常会使用真空气盒vcd设备来控制结晶过程。具体方法是将基底放入vcd内，然后用真空泵快速抽真空，形成一个中间相的薄膜结晶。接着，通过热退火过程形成高质量的钙钛矿薄膜。然而，如果这一步骤控制不到位，晶体生长的质量将会出现问题，进而影响钙钛矿层的质量。一旦钙钛矿层质量受损，后续提升光电转换效率将变得非常困难。

技术实现思路

1、为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中结晶过程不稳定的问题，提供一种双腔真空干燥装置及电池加工设备。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种双腔真空干燥装置，其包括：第一真空发生机构，所述第一真空发生机构包括预抽发生器及第一控制阀，所述第一控制阀连通所述预抽发生器；第二真空发生机构，所述第二真空发生机构包括真空泵体及第二控制阀，所述第二控制阀连通所述真空泵体，且所述真空泵体工作真空度高于所述预抽发生器工作真空度；工作机构，所述工作机构包括壳体，所述壳体连通所述第一控制阀和/或所述第二控制阀，所述壳体内部为工作腔，待加工器件设置于所述工作腔内部，所述壳体表面设有至少一个微波接收口，至少一个所述微波接收口连接外部微波发生设备。

3、在本实用新型的一个实施例中，其还包括连通管路，所述连通管路包括三个接口，三个所述接口分别连接所述第一控制阀、所述第二控制阀以及所述壳体。

4、在本实用新型的一个实施例中，所述连通管路上设有第三控制阀，所述第三控制阀靠近所述工作机构设置，以控制抽气速度。

5、在本实用新型的一个实施例中，所述第三控制阀包括夹持部及驱动器，所述夹持部套设于所述连通管上，所述驱动器连接所述夹持部。

6、在本实用新型的一个实施例中，其还包括中控机构，所述中控机构分别连接所述第一控制阀、所述第二控制阀以及所述微波发生设备。

7、在本实用新型的一个实施例中，所述工作机构包括挡门，所述壳体一侧设有通口，所述挡门连接于所述通口处以控制所述工作腔启闭。

8、在本实用新型的一个实施例中，所述挡门信号连接所述第一控制阀。

9、在本实用新型的一个实施例中，所述壳体还包括观察窗口。

10、在本实用新型的一个实施例中，所述工作腔内部设有承载台。

11、本实用新型还提供一种电池加工设备，其包括上述的双腔真空干燥装置。

12、本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

13、本实用新型所述的双腔真空干燥装置及电池加工设备，将待加工器件的干燥结晶过程分为两部分，首先通过第一真空发生机构对工作机构内部的待加工器件进行预抽真空加工，此种加工方式能够在短时间内使待加工器件进入低真空结晶环境中，由此使电池片产生初步结晶过程，同时，低结晶度能够使电池片表面各部分的结晶程度均一稳定，杜绝了常规操作时由于难以控制真空程度对电池片表面结晶均匀性造成的破坏；之后通过第二真空发生机构及微波发生设备提升大尺寸钙钛矿结晶均匀性的同时使其快速完成结晶过程。相比于传统抽真空的结晶加工方式来说，本申请能够大幅提升电池片结晶的均匀程度，由此确保高效的光电转化率，是一种兼具短时高效、操作过程布局合理、产品质量稳定等显著优势的新型双腔真空干燥装置及电池加工设备。

技术特征：

1.一种双腔真空干燥装置，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的双腔真空干燥装置，其特征在于：其还包括连通管路，所述连通管路包括三个接口，三个所述接口分别连接所述第一控制阀、所述第二控制阀以及所述壳体。

3.根据权利要求2所述的双腔真空干燥装置，其特征在于：所述连通管路上设有第三控制阀，所述第三控制阀靠近所述工作机构设置，以控制抽气速度。

4.根据权利要求3所述的双腔真空干燥装置，其特征在于：所述第三控制阀包括夹持部及驱动器，所述夹持部套设于所述连通管上，所述驱动器连接所述夹持部。

5.根据权利要求1所述的双腔真空干燥装置，其特征在于：其还包括中控机构，所述中控机构分别连接所述第一控制阀、所述第二控制阀以及所述微波发生设备。

6.根据权利要求1所述的双腔真空干燥装置，其特征在于：所述工作机构包括挡门，所述壳体一侧设有通口，所述挡门连接于所述通口处以控制所述工作腔启闭。

7.根据权利要求6所述的双腔真空干燥装置，其特征在于：所述挡门信号连接所述第一控制阀。

8.根据权利要求1所述的双腔真空干燥装置，其特征在于：所述壳体还包括观察窗口。

9.根据权利要求1所述的双腔真空干燥装置，其特征在于：所述工作腔内部设有承载台。

10.一种电池加工设备，其特征在于：包括权利要求1～9中任意一项所述的双腔真空干燥装置。

技术总结本技术提供一种双腔真空干燥装置及电池加工设备包括：第一真空发生机构，其包括预抽发生器及第一控制阀；第二真空发生机构，其包括真空泵体及第二控制阀，真空泵体工作真空度高于预抽发生器工作真空度；工作机构，其包括壳体，壳体内部为工作腔，工作腔内设有微波接收口，所述微波接收口连接外部微波发生设备。本申请杜绝了常规操作时由于难以控制真空程度对电池片表面结晶均匀性造成的破坏，提升大尺寸钙钛矿结晶均匀性的同时使其快速完成结晶过程。相比于传统抽真空的结晶加工方式来说，本申请能够大幅提升电池片结晶的均匀程度，由此确保高效的光电转化率，兼具短时高效、操作过程布局合理、产品质量稳定等显著优势。技术研发人员：秦勋,祝晓钊,张天强,朱颖辉受保护的技术使用者：苏州方昇光电股份有限公司技术研发日：20240307技术公布日：2024/11/21