一种气体水洗用水箱的制作方法

本技术涉及气体水洗净化，具体为一种气体水洗用水箱。

背景技术：

1、半导体行业相关产品如芯片制造中，各阶段都会产生不同的废气，例如：薄膜沉积工艺的热氧化工艺中产生含有未反应的含卤素氧化剂的酸性废气，cvd工艺产生含有sih4、sicl4、sih2cl2、ph3、hf、hcl、nh3等的废气，刻蚀工艺会产生酸、碱、有机废气，还包括一些气态副产物(如h2、no、nh3等)，掺杂工艺会产生含磷烷、砷烷的酸性废气等。这些尾气普遍具有有毒、易燃等性质，处理不当会产生严重的安全事故，造成严重的经济损失，还会对环境造成严重污染。现有的半导体尾气处理设备基于原理的不同被划分为多种不同类型，如燃烧式尾气处理设备、等离子尾气处理设备、电加热尾气处理设备等，鉴于尾气成分复杂、前述处理设备处理能力有限且处理成本高，且有些尾气成分是可溶于水的，因而水洗尾气的方式具有必要性且经济效益好。现有的水洗尾气往往用水量大且尾气与水体的水洗效果不理想。

技术实现思路

1、本实用新型公开了一种气体水洗用水箱，它解决了现有技术中尾气水洗处理用水量大且水洗效果不理想的技术问题，具有结构合理、尾气水洗效果好且有利于节约用水的技术效果。所采用的技术方案如下：

2、一种气体水洗用水箱，包括箱本体和水泵，所述箱本体的内腔连通有进气管和排气管，所述进气管的末端向箱本体内腔延伸并伸入至箱本体水体液面下，液面上的气体可经排气管向外排出，所述水泵固设在箱本体上且包括进水口和出水口，用于驱使使箱本体内水体循环。

3、在上述技术方案的基础之上，所述进气管包括套设的第一外管和第一内管，所述第一外管向上与气源连通，所述第一内管向下延伸并伸入至箱本体水体液面下，所述第一外管和第一内管间围合形成底端封闭且上端与第一内管连通的冷却腔，所述冷却腔连通有进水管，所述进水管与水泵的出水口连通，水体可在冷却腔内自下而上地蓄积并经第一内管回流至箱本体内。

4、在上述技术方案的基础之上，所述进水管靠近冷却腔的底部设置，且所述进水管被设计为，水体以切线方向进入冷却腔内并沿第一外管的内壁面螺旋形爬升。

5、在上述技术方案的基础之上，所述冷却腔与箱本体之间的第一内管上周向设有若干第一喷淋头，所述第一喷淋头出水口朝向第一内管的中心轴设置。

6、在上述技术方案的基础之上，所述排气管与进气管设于箱本体的上方且并列设置，所述排气管内可拆卸地设有若干孔板，若干孔板轴向间隔布置将排气管的内腔分隔为若干子腔室内，至少一所述子腔室内设有第一雾化器和/或冷凝吸附球，且所述第一雾化器的进口与水泵的出水口连通。

7、在上述技术方案的基础之上，所述进气管和排气管的内腔通过一横管连通，且所述横管的侧壁上设有第二喷淋头或第二雾化器，所述第二喷淋头或第二雾化器的进水口与水泵的出水口连通。

8、在上述技术方案的基础之上，所述横管自进气管向排气管具有向上倾斜的角度。

9、在上述技术方案的基础之上，所述箱本体的内底面固设有若干竖向设置的若干挡板，若干挡板和箱本体内壁面将箱本体底部区域分隔为若干子区域，以降低气压变化对箱本体内水体的扰动。

10、在上述技术方案的基础之上，所述水泵的进水口处设有滤网，所述进水口对应一子区域设置且进水口低于形成该子区域的挡板高度。

11、在上述技术方案的基础之上，所述箱本体上设有多个视窗，所述视窗采用透明亚克力板封闭。

12、有益效果

13、本实用新型结构合理，进气管伸入至箱本体内液面下方，如此可使气体充分与水接触后经排气管排出，有利于提高气体水洗效果。此外进气管和排气管间还连通有横管，避免故障情况下箱本体内气压过大导致水体进入排气管的情形，同时在进气管内气压大时还可及时分流进气管内的尾气，保证箱本体和进气管内具有相对稳定的气压，使用安全性好。

14、此外，箱本体内的水体可在水泵作用下循环，以满足冷却腔内、喷淋管和雾化器的用水需求，有利于节约用水，降低成本。同时箱本体内底部区域被挡板分隔为若干子区域，一方面，若干挡板的设置可降低气流对水体的扰动，避免沉积在箱本体内的杂质等进入水泵中，另一方面由挡板围合形成的子区域使水泵的进水口与进气管的出口相对隔离。

技术特征：

1.一种气体水洗用水箱，其特征在于，包括箱本体(1)和水泵(2)，所述箱本体(1)的内腔连通有进气管(3)和排气管(4)，所述进气管(3)的末端向箱本体(1)内腔延伸并伸入至箱本体(1)水体液面下，液面上的气体可经排气管(4)向外排出，所述水泵(2)固设在箱本体(1)上且包括进水口和出水口，用于驱使使箱本体(1)内水体循环。

2.根据权利要求1所述的气体水洗用水箱，其特征在于，所述进气管(3)包括套设的第一外管(31)和第一内管(32)，所述第一外管(31)向上与气源连通，所述第一内管(32)向下延伸并伸入至箱本体(1)水体液面下，所述第一外管(31)和第一内管(32)间围合形成底端封闭且上端与第一内管(32)连通的冷却腔(35)，所述冷却腔(35)连通有进水管(33)，所述进水管(33)与水泵(2)的出水口连通，水体可在冷却腔(35)内自下而上地蓄积并经第一内管(32)回流至箱本体(1)内。

3.根据权利要求2所述的气体水洗用水箱，其特征在于，所述进水管(33)靠近冷却腔(35)的底部设置，且所述进水管(33)被设计为，水体以切线方向进入冷却腔(35)内并沿第一外管(31)的内壁面螺旋形爬升。

4.根据权利要求2所述的气体水洗用水箱，其特征在于，所述冷却腔(35)与箱本体(1)之间的第一内管(32)上周向设有若干第一喷淋头(34)，所述第一喷淋头(34)出水口朝向第一内管(32)的中心轴设置。

5.根据权利要求1～4中任一所述的气体水洗用水箱，其特征在于，所述排气管(4)与进气管(3)设于箱本体(1)的上方且并列设置，所述排气管(4)内可拆卸地设有若干孔板(41)，若干孔板(41)轴向间隔布置将排气管(4)的内腔分隔为若干子腔室内，至少一所述子腔室内设有第一雾化器(42)和/或冷凝吸附球，且所述第一雾化器(42)的进口与水泵的出水口连通。

6.根据权利要求5所述的气体水洗用水箱，其特征在于，所述进气管(3)和排气管(4)的内腔通过一横管(5)连通，且所述横管(5)的侧壁上设有第二喷淋头(51)或第二雾化器，所述第二喷淋头(51)或第二雾化器的进水口与水泵(2)的出水口连通。

7.根据权利要求6所述的气体水洗用水箱，其特征在于，所述横管(5)自进气管(3)向排气管(4)具有向上倾斜的角度。

8.根据权利要求6或7所述的气体水洗用水箱，其特征在于，所述箱本体(1)的内底面固设有若干竖向设置的若干挡板(6)，若干挡板(6)和箱本体(1)内壁面将箱本体(1)底部区域分隔为若干子区域，以降低气压变化对箱本体(1)内水体的扰动。

9.根据权利要求8所述的气体水洗用水箱，其特征在于，所述水泵(2)的进水口处设有滤网，所述进水口对应一子区域设置且进水口低于形成该子区域的挡板(6)高度。

10.根据权利要求9所述的气体水洗用水箱，其特征在于，所述箱本体(1)上设有多个视窗(7)，所述视窗(7)采用透明亚克力板封闭。

技术总结本技术公开了一种气体水洗用水箱，包括箱本体和水泵，所述箱本体的内腔连通有进气管和排气管，所述进气管的末端向箱本体内腔延伸并伸入至箱本体水体液面下，液面上的气体可经排气管向外排出，所述水泵固设在箱本体上且包括进水口和出水口，用于驱使使箱本体内水体循环。本技术结构合理、尾气水洗效果好且有利于节约用水。技术研发人员：崔汉博,崔汉宽,陈刚,王占杰受保护的技术使用者：上海高笙集成电路设备有限公司技术研发日：20240311技术公布日：2024/12/12