一种晶圆容纳装置的制作方法

本技术涉及晶圆容纳或运输，具体涉及一种晶圆容纳装置。

背景技术：

1、现有的半导体晶圆片在生产制造过程中需要经过多道工序，在不同的工序，需要将晶圆片运输到不同的设备上，因而晶圆片运输储存容纳装置也起着较为重要的作用。

2、在不同的生产工序中，有的涉及搬运，有的涉及储存，有的还涉及清洗，当在对晶圆片装置整体进行清洗时，会采用喷淋或者整体清洗，为了尽可能快速将清洗液从晶圆片容纳装置的周围排出，会在装置壳体上设计一些相应的结构。

技术实现思路

1、为了优化上述现有的晶圆容纳装置，本申请提出了一种晶圆容纳装置，用于容纳平行放置的多个晶圆，包括，

2、第一盒体，其位于所述晶圆容纳装置的上部，所述第一盒体具有向下的开口；

3、第二盒体，其位于所述晶圆容纳装置的下部，所述第二盒体具有向上的开口，所述第二盒体外周设置有向下延伸的翻边结构，所述翻边结构的顶部向所述第二盒体的侧壁延伸形成凹槽；所述翻边结构上设置有多个排水口，多个所述排水口的顶端与所述凹槽的底端平齐；

4、晶圆支撑单元，其设置在所述第一盒体和第二盒体内，所述晶圆支撑单元对所述多个晶圆进行支撑。

5、具体地，上述晶圆容纳装置中，所述凹槽内设置有多个连接所述翻边结构与所述第二盒体的肋筋，所述肋筋将所述凹槽分隔成若干段，每一段所述凹槽内设有至少一个排水口。

6、可选地，上述晶圆容纳装置中，在所述第一盒体的开口端面周向上设置有第一环形凹槽，所述第二盒体的开口端面周向上设置有第二环形凹槽，其中，所述第一环形凹槽与所述第二环形凹槽相配合形成一放置空间，一密封圈收纳于所述放置空间内。

7、可选地，上述晶圆容纳装置中，所述翻边结构形成的凹槽内具有台阶结构，所述台阶结构沿所述翻边结构延伸；所述排水口开设在所述台阶结构位置处，并从所述凹槽的顶端向下，横向断开所述台阶结构。

8、可选地，上述晶圆容纳装置中，所述第一盒体的开口端面沿垂直方向向下设置有凸出的卡扣结构，所述第二盒体外壁上设置有锁舌结构，所述锁舌结构与所述卡扣结构相匹配。

9、可选地，上述晶圆容纳装置中，所述卡扣结构设置有两组，两组所述卡扣结构对称设置于所述第一盒体的两边，所述卡扣结构上设置有孔，所述孔用于容纳所述锁 舌结构。

10、可选地，上述晶圆容纳装置中，所述晶圆支撑单元包括顶部支撑架和侧面支撑架，所述顶部支撑架卡接于所述第一盒体顶部的内壁上，所述顶部支撑架上设置有与所述晶圆外形匹配的第一支撑凹槽，所述侧面支撑架的内壁上设置有与所述第一支撑凹槽对应的第二支撑凹槽，所述第一支撑凹槽和所述第二支撑凹槽同时对所述多个晶圆进行支撑。

11、可选地，上述晶圆容纳装置中，所述第一支撑凹槽设置有多个，所述第一支撑凹槽呈弧形。

12、可选地，上述晶圆容纳装置中，所述侧面支撑架由四个面组成适于容纳所述晶圆的容纳空间，所述侧面支撑架具有相对的上开口和下开口，所述上开口大于所述下开口，所述上开口朝向所述顶部支撑架。

13、可选地，上述晶圆容纳装置中，所述第二支撑凹槽设置有多组，多组所述第二支撑凹槽对称设置于所述侧面支撑架内壁上，所述第二支撑凹槽包括弧形部和垂直部；所述第二支撑凹槽位于所述第一支撑凹槽所在弧形结构的延伸方向上，所述第二支撑凹槽占据所述侧面支撑架的四个面中相对的两个面，另外两个面中，一个为封闭面，另一个为h型连接结构面。

14、可选地，上述晶圆容纳装置中，相邻所述第一支撑凹槽之间的距离与相邻所述第二支撑凹槽之间的距离相等。

15、可选地，上述晶圆容纳装置中，所述第一盒体顶部上设置有限位结构，所述限位结构对所述侧面支撑架进行限位。

16、可选地，上述晶圆容纳装置中，所述第一盒体顶部的内壁上设置有凸起组件，所述凸起组件对所述顶部支撑架进行卡接。

17、可选地，上述晶圆容纳装置中，所述第二盒体内设置有凸起结构，所述侧面支撑架与所述第二盒体抵接的部分设置有卡槽结构，所述凸起结构对所述卡槽结构进行限位。

18、本实用新型提供的一个或多个技术方案，至少产生以下有益效果：

19、本申请提出的一种晶圆容纳装置，包括第一盒体、第二盒体、晶圆支撑单元，当使用晶圆容纳装置容纳晶圆时上述晶圆支撑单元对晶圆进行支撑，防止搬运晶圆过程中出现损伤；上述第二盒体的开口端面上设置有翻边结构，上述翻边结构上对称设置有多个排水口，在进行晶圆容纳装置翻转清洗的过程中，多个排水口的顶端与凹槽的底端平齐，通过排水口进行快速排出清洗液体，有利于保持晶圆容纳装置整体的干燥性，干燥效率高，提高晶圆的性能。

技术特征：

1.一种晶圆容纳装置，用于容纳平行放置的多个晶圆，其特征在于，包括，

2.根据权利要求1所述的晶圆容纳装置，其特征在于，所述凹槽内设置有多个连接所述翻边结构与所述第二盒体的肋筋，所述肋筋将所述凹槽分隔成若干段，每一段所述凹槽内设有至少一个排水口。

3.根据权利要求2所述的晶圆容纳装置，其特征在于，在所述第一盒体的开口端面周向上设置有第一环形凹槽，所述第二盒体的开口端面周向上设置有第二环形凹槽，其中，所述第一环形凹槽与所述第二环形凹槽相配合形成一放置空间，一密封圈收纳于所述放置空间内。

4.根据权利要求3所述的晶圆容纳装置，其特征在于，所述翻边结构形成的凹槽内具有台阶结构，所述台阶结构沿所述翻边结构延伸；所述排水口开设在所述台阶结构位置处，并从所述凹槽的顶端向下，横向断开所述台阶结构。

5.根据权利要求4所述的晶圆容纳装置，其特征在于，所述第一盒体的开口端面沿垂直方向向下设置有凸出的卡扣结构，所述第二盒体外壁上设置有锁舌结构，所述锁舌结构与所述卡扣结构相匹配。

6.根据权利要求5所述的晶圆容纳装置，其特征在于，所述卡扣结构设置有两组，两组所述卡扣结构对称设置于所述第一盒体的两边，所述卡扣结构上设置有孔，所述孔用于容纳所述锁舌结构。

7.根据权利要求6所述的晶圆容纳装置，其特征在于，所述晶圆支撑单元包括顶部支撑架和侧面支撑架，所述顶部支撑架卡接于所述第一盒体顶部的内壁上，所述顶部支撑架上设置有与所述晶圆外形匹配的第一支撑凹槽，所述侧面支撑架的内壁上设置有与所述第一支撑凹槽对应的第二支撑凹槽，所述第一支撑凹槽和所述第二支撑凹槽同时对所述多个晶圆进行支撑；所述第一支撑凹槽设置有多个，所述第一支撑凹槽呈弧形；所述侧面支撑架由四个面组成适于容纳所述晶圆的容纳空间，所述侧面支撑架具有相对的上开口和下开口，所述上开口大于所述下开口，所述上开口朝向所述顶部支撑架。

8.根据权利要求7所述的晶圆容纳装置，其特征在于，所述第二支撑凹槽设置有多组，多组所述第二支撑凹槽对称设置于所述侧面支撑架内壁上，所述第二支撑凹槽包括弧形部和垂直部；所述第二支撑凹槽位于所述第一支撑凹槽所在弧形结构的延伸方向上，所述第二支撑凹槽占据所述侧面支撑架的四个面中相对的两个面，另外两个面中，一个为封闭面，另一个为h型连接结构面。

9.根据权利要求8所述的晶圆容纳装置，其特征在于，相邻所述第一支撑凹槽之间的距离与相邻所述第二支撑凹槽之间的距离相等；所述第一盒体顶部上设置有限位结构，所述限位结构对所述侧面支撑架进行限位；所述第一盒体顶部的内壁上设置有凸起组件，所述凸起组件对所述顶部支撑架进行卡接。

10.根据权利要求9所述的晶圆容纳装置，其特征在于，所述第二盒体内设置有凸起结构，所述侧面支撑架与所述第二盒体抵接的部分设置有卡槽结构，所述凸起结构对所述卡槽结构进行限位。

技术总结本技术涉及晶圆容纳或运输技术领域，具体涉及一种晶圆容纳装置。上述晶圆容纳装置，包括第一盒体、第二盒体、晶圆支撑单元，在上述第一盒体开口的端面上设有第一环形凹槽以及凸出的卡扣结构；上述第二盒体的开口端面上设置有第二环形凹槽，上述第二盒体外壁上设置有锁舌结构及翻边结构，上述翻边结构上对称设置有多个排水口，翻边结构与第二盒体的侧壁之间形成凹槽；上述锁舌结构与上述卡扣结构相匹配，多个上述排水口的顶端与上述凹槽的底端平齐。通过上述晶圆容纳装置，在进行晶圆容纳装置翻转清洗的过程中，排水口的底端与凹槽的底端平齐，通过排水口进行快速排出清洗液体，有利于保持晶圆容纳装置整体的干燥性，提高晶圆的性能。技术研发人员：王征受保护的技术使用者：北京今京泰科技有限公司技术研发日：20240507技术公布日：2024/12/23