一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销及基板支撑结构的制作方法

本技术涉及干蚀刻机，尤其涉及一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销及基板支撑结构。

背景技术：

1、现有的液晶面板干蚀刻机真空准备室的基板支撑结构如图1所示，包括底座10，在底座10的顶部设置有六列的支撑销组件，每列支撑销组件均包含8个支撑销20。因此，液晶面板干蚀刻机的真空准备室共有48颗支撑销。支撑销20由防静电的铁氟龙材质制成，现有的支撑销的结构如图2所示，支撑销的下部为具有螺纹的螺纹段21，用于旋入到底座10内，支撑销20的顶部为圆弧面。

2、在底座的每个角部均布置有一个定位气缸30。基板先从大气手臂传送进来后放置在支撑销上，然后四周定位气缸30做动对基板进行归正(底座右侧的定位气缸30先做动，左侧的定位气缸30后做动)，再由真空搬运室的手臂取出放进基板处理室进行蚀刻。

3、支撑销在使用过程中与基板背面发生摩擦，圆弧面逐渐磨损成平面，且随着支撑销磨损程度，气缸归正基板时候的作用力也会慢慢变大，容易发生基板破片，导致机台停机处理，严重影响产线推移，造成重大损失。

4、为减少破片，现有采取的手段是缩短支撑销更换周期，但却大大增加成本，且在更换支撑销时，产线也必须停下，影响机台稼动率和产线推移。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题，在于提供一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销及基板支撑结构，能够延长支撑销的更换周期，且减少基板的破片率，以提高机台的稼动率。

2、本实用新型是这样实现的：

3、第一方面，本实用新型提供了一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销，包括有基座、滚珠以及衬套，所述基座由第一螺纹段和设置在第一螺纹段顶部的座体组成，所述座体的顶部开设有容纳槽，所述滚珠容纳在容纳槽内，所述衬套可拆卸连接在基座的顶部，所述衬套的中部开设有圆孔，所述圆孔的直径小于滚珠的直径，所述滚珠的上部穿过圆孔位于容纳槽的外部，在所述容纳槽内还设置有复数个钢珠，复数个所述钢珠填充在滚珠与容纳槽侧壁的间隙之中。

4、进一步地，所述滚珠由聚酰亚胺材质制成，所述衬套由塑料材质制成，所述基座由金属材质制成。

5、进一步地，所述座体的外侧壁设置有卡槽，所述衬套的内侧设置有卡接凸起，所述座体通过卡槽和卡接凸起与所述衬套可拆卸连接。

6、进一步地，所述座体的外侧壁设置有两个第一平面，两个所述第一平面设置在卡槽的下方。

7、进一步地，所述容纳槽的底壁为弧形面。

8、第二方面，本实用新型提供了一种用于液晶面板干蚀刻机的基板支撑结构，包括有底座以及第一方面中所述的支撑销，所述支撑销的数量设置有四十个，所述底座设置有六列孔位，每列所述孔位均包括八个安装孔；

9、所述基板支撑结构还包括有八个支撑柱，八个所述支撑柱均分为两组，两组所述支撑柱分别安装在位于边缘的两列孔位中；且两组所述支撑柱分别在对应列的孔位的中部位置；

10、所述底座上的其余安装孔分别安装有支撑销。

11、进一步地，所述支撑柱由第二螺纹段和设置在第二螺纹段顶部的主体组成，所述主体的顶部为圆弧面，所述主体的侧壁设置有两个第二平面。

12、本实用新型的优点在于：本实用新型中的支撑销为万向滚动型，在定位气缸对基板归正时，能够大大减小基板与支撑销之间的阻力，减少了支撑销的磨损，延长了支撑销的使用寿命，从而提高机台的稼动率。

技术特征：

1.一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销，其特征在于：包括有基座、滚珠以及衬套，所述基座由第一螺纹段和设置在第一螺纹段顶部的座体组成，所述座体的顶部开设有容纳槽，所述滚珠容纳在容纳槽内，所述衬套可拆卸连接在基座的顶部，所述衬套的中部开设有圆孔，所述圆孔的直径小于滚珠的直径，所述滚珠的上部穿过圆孔位于容纳槽的外部，在所述容纳槽内还设置有复数个钢珠，复数个所述钢珠填充在滚珠与容纳槽侧壁的间隙之中。

2.如权利要求1所述的一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销，其特征在于：所述滚珠由聚酰亚胺材质制成，所述衬套由塑料材质制成，所述基座由金属材质制成。

3.如权利要求1所述的一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销，其特征在于：所述座体的外侧壁设置有卡槽，所述衬套的内侧设置有卡接凸起，所述座体通过卡槽和卡接凸起与所述衬套可拆卸连接。

4.如权利要求1所述的一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销，其特征在于：所述座体的外侧壁设置有两个第一平面，两个所述第一平面设置在卡槽的下方。

5.如权利要求1所述的一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销，其特征在于：所述容纳槽的底壁为弧形面。

6.一种用于液晶面板干蚀刻机的基板支撑结构，其特征在于：包括有底座以及权利要求1-5任一项所述的支撑销，所述支撑销的数量设置有四十个，所述底座设置有六列孔位，每列所述孔位均包括八个安装孔；

7.如权利要求6所述的一种用于液晶面板干蚀刻机的基板支撑结构，其特征在于：所述支撑柱由第二螺纹段和设置在第二螺纹段顶部的主体组成，所述主体的顶部为圆弧面，所述主体的侧壁设置有两个第二平面。

技术总结本技术提供一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销及基板支撑结构，所述支撑销包括基座、滚珠以及衬套，基座由第一螺纹段和设置在第一螺纹段顶部的座体组成，座体的顶部开设有容纳槽，滚珠容纳在容纳槽内，衬套可拆卸连接在基座的顶部，衬套的中部开设有圆孔，圆孔的直径小于滚珠的直径，滚珠的上部穿过圆孔位于容纳槽的外部，在容纳槽内还设置有复数个钢珠，复数个钢珠填充在滚珠与容纳槽侧壁的间隙之中。本技术中的支撑销为万向滚动型，在定位气缸对基板归正时，能够大大减小基板与支撑销之间的阻力，减少了支撑销的磨损，延长了支撑销的使用寿命，从而提高机台的稼动率。技术研发人员：李世雄,杨朝胜,董浩,程辉,胡斌受保护的技术使用者：福建华佳彩有限公司技术研发日：20240514技术公布日：2024/12/23