活性气体生成装置的制作方法

本发明涉及一种活性气体生成装置，具有平行平板方式的电极构造，利用介质阻挡放电来生成活性气体。

背景技术：

1、在具有平行平板方式的电极构造且利用了介质阻挡放电的以往的活性气体生成装置中，相互对置的金属电极(电极用导电膜)与介电膜(电极用介电膜)之间的空隙、或者相互对置的介电膜彼此之间的空隙成为放电空间。

2、以往的活性气体生成装置采用如下的平行平板方式介质阻挡放电：使放电空间产生介质阻挡放电，使向该放电空间中投入的原料气体活化而生成活性气体。

3、作为采用了平行平板方式介质阻挡放电的活性气体生成装置，例如存在专利文献1中公开的活性气体生成装置。

4、关于活性气体，一般来说，作为活性气体的寿命(活性气体保持较高反应性的时间)较短，需要在短时间内向使用活性气体的空间供给。另外，活性气体由于与其他物质碰撞也会失活，因此不优选经由弯曲的管等向使用活性气体的空间供给。

5、因此，在使用活性气体的处理空间中，在处理对象物(喷吹活性气体的对象)较大的情况下，在现有的活性气体生成装置中采用在离使用活性气体的处理空间比较近的位置设置多个气体喷出口的第一改进构造、具有与多个气体喷出口对应的多个放电空间的第二改进构造等。

6、现有技术文献

7、专利文献

8、专利文献1：国际公开第2019/138456号

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、对于上述第一改进构造，采用针对一个介电膜设置多个气体喷出口这样的方法。然而，从多个气体喷出口分别喷出的活性气体基本上仅具有一个方向性，因此存在无法向在内部载放了处理对象物的处理空间供给均匀的活性气体这样的问题点。

3、上述第二改进构造也与第一改进构造同样，从多个气体喷出口分别喷出的活性气体基本上仅具有一个方向性，因此存在无法向处理空间供给均匀的活性气体这样的问题点。

4、本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置，解决上述那样的问题点，能够向处理空间供给均匀的活性气体。

5、用于解决课题的手段

6、本发明的活性气体生成装置为，使供给到放电空间的原料气体活性化而生成活性气体，具备：电极单元；以及壳体，具有导电性，在壳体内空间收纳所述电极单元，所述壳体具有包括平坦面以及从所述平坦面向深度方向凹陷的导体收纳空间的壳体底部，所述电极单元具备：第一电极构成部；第二电极构成部，设置在所述第一电极构成部的下方；以及基准电位导体，设置在所述第二电极构成部的下方，被收纳在所述导体收纳空间内，所述第一电极构成部包括第一电极用介电膜以及形成在所述第一电极用介电膜的上表面上的第一电极用导电膜，所述第二电极构成部包括第二电极用介电膜以及形成在所述第二电极用介电膜的下表面上的第二电极用导电膜，所述基准电位导体的上部具有活性气体用缓冲空间，所述第二电极构成部配置成堵塞所述活性气体用缓冲空间，所述第二电极用介电膜在俯视时与所述活性气体用缓冲空间重叠的区域中具有贯通所述第二电极用介电膜的电介质贯通口，所述第二电极用导电膜在俯视时与所述活性气体用缓冲空间重叠的区域中具有导电膜开口部，所述导电膜开口部在俯视时与所述电介质贯通口重叠，所述第一电极用介电膜与所述第二电极用介电膜相对置的空间被规定为主要电介质空间，所述放电空间在所述主要电介质空间内包括所述第一以及第二电极用导电膜在俯视时重叠的区域即主要放电空间，所述第一电极用导电膜被施加交流电压，经由所述壳体以及所述基准电位导体而所述第二电极用导电膜被设定为基准电位，所述活性气体生成装置还具备多个气体喷出口，该多个气体喷出口分别从所述活性气体用缓冲空间的底面贯通所述基准电位导体地设置，所述多个气体喷出口在俯视时不与所述电介质贯通口重叠，所述放电空间除了所述主要放电空间之外，还具有包括所述电介质贯通口、以及所述活性气体用缓冲空间的一部分的辅助放电空间，从所述多个气体喷出口输出的活性气体被规定为多个局部活性气体，所述壳体的所述壳体底部在俯视时与所述活性气体用缓冲空间重叠的区域中具有壳体开口部，所述多个局部活性气体经由所述壳体开口部被向下方引导，所述壳体开口部包括随着朝向下方而开口面积变大的锥形状的锥形区域，所述多个气体喷出口以随着朝向下方而相互接近的方式设置、以使所述多个局部活性气体在碰撞区域中碰撞，而且，所述碰撞区域存在于所述锥形区域内或者比所述锥形区域靠上方的位置。

7、发明的效果

8、本发明的活性气体生成装置中的多个气体喷出口具有上述特征。因此，在碰撞区域中多个局部活性气体进行碰撞，因此多个局部活性气体各自的流动方向从一个方向分散为多个扩散方向。

9、碰撞区域存在于锥形区域内或者比锥形区域靠上方的位置，因此分别扩散的多个局部活性气体随着朝向下方而流向沿着锥形区域的锥形状的方向。

10、因而，包括多个局部活性气体的活性气体从锥形区域朝向下方的处理空间，在沿着锥形状的方向上一边扩散一边流动。其结果，本发明的活性气体生成装置能够向处理空间供给均匀的活性气体。

11、通过以下的详细说明以及附图，本发明的目的、特征、方案以及优点变得更明白。

技术特征：

1.一种活性气体生成装置，使供给到放电空间的原料气体活性化而生成活性气体，其特征在于，具备：

2.如权利要求1所述的活性气体生成装置，其中，

3.如权利要求1或2所述的活性气体生成装置，其中，

4.如权利要求1至3中任一项所述的活性气体生成装置，其中，

技术总结本发明的目的在于提供活性气体生成装置，能够向处理空间供给均匀的活性气体。本发明的活性气体生成装置(75)中的电极单元(55)具备设置在接地侧电极构成部(E2)下方的接地导体(60)。壳体(1)的壳体底部(1a)具有壳体开口部(41)，壳体开口部(41)包括随着朝向下方而开口面积变大的下方锥形区域(41t)与上方区域(41a)。设置于接地导体(60)的多个气体喷出口(70)以随着朝向下方而相互接近的方式设置、以使多个局部活性气体在碰撞区域(80)中碰撞，碰撞区域(80)存在于下方锥形区域(41t)内或者比下方锥形区域(41t)靠上方的上方区域(41a)内。技术研发人员：有田廉受保护的技术使用者：东芝三菱电机产业系统株式会社技术研发日：技术公布日：2025/1/6