柔性供应结构、定位模块和光刻设备的制作方法

本发明涉及一种柔性供应结构和包括这种柔性供应结构的定位模块。本发明还涉及一种包括定位模块的光刻设备。

背景技术：

1、光刻设备是构造成将期望的图案施加到衬底上的机器。光刻设备可以用于例如制造集成电路（ic）。光刻设备可以例如将图案形成装置（例如掩模）处的图案投影到设置于衬底上的辐射敏感材料（抗蚀剂）层上。

2、为了将图案投影于衬底上，光刻设备可以使用电磁辐射。该辐射的波长确定可以形成于衬底上的特征的最小尺寸。相比于可以例如使用波长为193 nm的辐射的光刻设备，使用波长在4-20 nm的范围内（例如6.7 nm或13.5 nm）的极紫外（euv）辐射的光刻设备可以用于在衬底上形成较小特征。

3、光刻设备包括需要供应体的可移动物体。例如，这些供应体包括流体（例如，冷却流体或真空）、电力（诸如，电功率或控制和测量信号）、和/或光学信号。为了使这些供应体到可移动物体上，可以提供包括供应软管和/或供应电缆的柔性供应结构，以允许供应软管和/或供应电缆在可移动物体和另一物体之间的柔性连接。

4、在一实施例中，柔性供应结构可以例如是包括供应软管和/或供应电缆的c形电缆板，该电缆板至少部分地支撑在支撑件上。支撑件可以是滑动板，供应软管和/或供应电缆被机械地支撑在滑动板上。通常，c形电缆板沿可移动物体的移动方向定向，即供应软管和/或供应电缆都在沿可移动物体的主移动方向和竖直方向上延伸的平面内延伸。当可移动物体沿主移动方向移动时，c形电缆板可以前后滚动，其中电缆板的较小或较大部分由支撑件支撑。

5、在一些实施例中，可移动物体被布置为至少能够在第一水平方向上移动，并且可移动物体被支撑在能够在第二水平方向上移动的第二可移动物体上。第二可移动物体在第二水平方向上的加速度可能导致电缆板在第二水平方向上的惯性力。这些惯性力可能导致电缆板在支撑件的支撑表面上滑动，这可能导致支撑表面、供应软管和/或供应电缆的磨损。这种磨损可能会对供应软管和/或供应电缆的最长使用寿命产生严重的负面影响。此外，由于磨损而从支撑表面、供应软管和/或供应电缆释放的颗粒可能会在光刻过程中造成衬底缺陷。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种改进的柔性供应结构。特别地，本发明的目的是提供一种不易磨损的和/或其中由于柔性供应结构和/或其支撑件的磨损而产生的颗粒大大减少的柔性供应结构。

2、根据本发明的一方面，提供了一种柔性供应结构（例如电缆板），所述柔性供应结构用于将第一可移动物体与第二物体连接，

3、其中所述柔性供应结构包括具有第一磁场取向的第一永磁体，

4、其中所述柔性供应结构被布置为至少部分地由支撑件支撑，所述支撑件包括具有第二磁场取向的第二磁体，使得当所述第一永磁体和所述第二磁体彼此面对时，所述第一永磁体和所述第二磁体排斥，以在所述柔性供应结构上施加力（例如举升力）。

5、根据本发明的一方面，提供一种定位模块，包括：

6、第一可移动物体；

7、第二物体；

8、根据权利要求1-7中任一项所述的柔性供应结构，其中所述柔性供应结构的第一端连接到所述第一物体，并且所述柔性供应结构的第二端连接到所述第二物体；和

9、支撑件，其中所述支撑件包括具有第二磁场取向的第二磁体，使得当第一永磁体和所述第二磁体彼此面对时，所述第一永磁体和所述第二磁体排斥，以在所述柔性供应结构上施加力（例如举升力）。

10、根据本发明的一方面，提供一种光刻设备，所述光刻设备包括根据权利要求8-17中任一项所述的定位模块。

技术特征：

1.一种柔性供应结构，所述柔性供应结构用于将第一可移动物体与第二物体连接，

2.根据权利要求1所述的柔性供应结构，其中所述力是举升力。

3.根据权利要求1或2所述的柔性供应结构，其中所述柔性供应结构包括一个或多个夹持支架，每个夹持支架夹持一个或多个供应软管和/或供应电缆，其中所述第一永磁体布置在所述一个或多个夹持支架之一中或所述一个或多个夹持支架之一上。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的柔性供应结构，其中所述柔性供应结构被设计为以具有下部、中部和上部的c形布置，其中至少所述下部包括所述第一永磁体。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的柔性供应结构，其中所述第一永磁体和所述第二磁体被设计为以浮动状态支撑所述柔性供应结构。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的柔性供应结构，其中所述柔性供应结构包括具有第一磁场取向的多个第一永磁体，每个第一永磁体与布置在所述支撑件中或所述支撑件上并具有第二磁场取向的多个第二磁体中的一个相关联，使得当相应的第一永磁体和相应的第二磁体彼此面对时，每个第一永磁体和相关联的第二磁体排斥，以在所述柔性供应结构上施加举升力。

7.根据权利要求6所述的柔性供应结构，其中所述柔性供应结构包括多个夹持支架，每个夹持支架夹持一个或多个供应软管和/或供应电缆，其中两个或更多个夹持元件设置有一个或多个第一永磁体。

8.一种定位模块，包括：

9.根据权利要求8所述的定位模块，其中所述力是举升力。

10.根据权利要求8或9所述的定位模块，其中所述柔性供应结构包括一个或多个供应软管和/或供应电缆，其中所述支撑件被布置为在所述支撑件和所述一个或多个供应软管和/或供应电缆之间没有机械接触的情况下，支撑所述柔性供应结构。

11.根据权利要求8-10中任一项所述的定位模块，其中所述第一永磁体和所述第二磁体被设计为以浮动状态支撑所述柔性供应结构。

12.根据权利要求8-11中任一项所述的定位模块，其中所述第二磁体是永磁体。

13.根据权利要求8-12中任一项所述的定位模块，其中所述第二磁体是电磁体。

14.根据权利要求8-13中任一项所述的定位模块，其中所述第二磁场取向的主轴线被竖直地布置。

15.根据权利要求8-14中任一项所述的定位模块，其中所述柔性供应结构以具有下部、中部和上部的c形布置，其中至少所述下部由所述支撑件支撑。

16.根据权利要求8-15中任一项所述的定位模块，其中所述柔性供应结构包括具有第一磁场取向的多个第一永磁体，其中所述支撑件包括具有第二磁场取向的多个第二磁体，其中每个第一永磁体与所述第二磁体中的一个相关联，使得当相应的第一永磁体和相应的第二磁体彼此面对时，每个第一永磁体和相关联的第二磁体排斥，以在所述柔性供应结构上施加举升力。

17.根据权利要求8至16中任一项所述的定位模块，其中所述第一可移动物体由所述第二物体支撑，其中所述第一可移动物体能够在第一水平方向上移动，并且所述第二物体能够在第二水平方向上移动，其中所述第一水平方向和所述第二水平方向不平行。

18.一种光刻设备，所述光刻设备包括根据权利要求8-17中任一项所述的定位模块。

技术总结本发明提供一种柔性供应结构，用于将第一可移动物体与第二物体连接，其中柔性供应结构包括具有第一磁场取向的第一永磁体，其中柔性供应结构被布置为至少部分地由支撑件支撑，该支撑件包括具有第二磁场取向的第二磁体，使得当第一永磁体和第二磁体彼此面对时，第一永磁体和第二磁体排斥，以在柔性供应结构上施加力。技术研发人员：V·F·克鲁斯特曼,M·A·W·苏吉皮尔斯,G·J·P·尼希受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司技术研发日：技术公布日：2025/1/6