清洗方法、计算机存储介质和基片处理系统与流程

本公开涉及一种清洗方法、计算机存储介质和基片处理系统。

背景技术：

1、日本特开第2003-218022号公报公开了，为了消除由于在与抗蚀剂喷嘴连接的抗蚀剂供给管中的气泡或抗蚀剂中的颗粒的存在而引起的缺陷，通过检测上述气泡或颗粒来执行抗蚀剂喷嘴的预喷(dummy dispensing)。

技术实现思路

1、本公开的一方面是一种对连接到向基片吐出处理液的吐出部的流路进行清洗的方法，该方法包括：步骤(a)，经由流路将清洗液供给到吐出部，并从吐出部吐出清洗液；以及步骤(b)，基于异物检测器的检测结果来估计清洗是否已经完成，异物检测器被配置为检测供给到流路的清洗液中的异物，其中，步骤(b)包括：步骤(c)，基于异物检测器的检测结果的历史，估计清洗液总吐出量增加时的异物检测器的检测结果稳定的清洗完成点；以及步骤(d)，基于所估计的清洗完成点，估计清洗是否已经完成。

技术特征：

1.一种用于供给流路的清洗方法，所述供给流路连接到向基片吐出处理液的吐出部，所述清洗方法包括：

2.根据权利要求1所述的清洗方法，其中：

3.根据权利要求2所述的清洗方法，其中

4.根据权利要求2所述的清洗方法，其中

5.根据权利要求4所述的清洗方法，其中

6.根据权利要求1所述的清洗方法，还包括：

7.根据权利要求6所述的清洗方法，其中

8.一种非瞬时性计算机可读存储介质，存储在控制装置的计算机上运行的程序，所述程序用于控制处理液供给装置以使所述处理液供给装置执行用于清洗连接到向基片吐出处理液的吐出部的供给流路的方法，

9.一种用于将处理液供给到向基片吐出处理液的吐出部的处理液供给装置的控制装置，

技术总结一种用于清洗连接到向基片吐出处理液的吐出部的供给流路的方法，包括：步骤(A)，经由供给流路将清洗液供给到吐出部，并从吐出部吐出清洗液；以及步骤(B)，基于异物检测器的检测结果来估计清洗是否已经完成，异物检测器被配置为检测供给到供给流路的清洗液中的异物，其中，步骤(B)包括：步骤(C)，基于异物检测器的检测结果的历史，估计清洗液的总吐出量增加时的异物检测器的检测结果达到稳定的清洗完成点；以及步骤(D)，基于所估计的清洗完成点，估计清洗是否已经完成。技术研发人员：菊池骏斗受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社技术研发日：技术公布日：2025/1/6