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一种MEMS超声波传感器封装结构的制作方法
一种mems超声波传感器封装结构技术领域1.本实用新型涉及超声波传感器技术领域,尤其涉及一种mems超声波传感器封装结构。背景技术:2.超声波传感器是将超声波信号转换成其它能量信号(通常是电信号)的传......
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集成MEMS芯片以及ASIC芯片堆叠封装的超声波传感器的制作方法
集成mems芯片以及asic芯片堆叠封装的超声波传感器技术领域1.本实用新型涉及超声波传感器技术领域,尤其涉及一种集成mems芯片以及asic芯片堆叠封装的超声波传感器。背景技术:2.随着消费类电子、......
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一种集成MEMS芯片与ASIC芯片的超声波传感器的制作方法
一种集成mems芯片与asic芯片的超声波传感器技术领域1.本实用新型涉及超声波传感器技术领域,尤其涉及一种集成mems芯片与asic芯片的超声波传感器。背景技术:2.超声波传感器是将超声波信号转换成......
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集成MEMS-CMOS超声波传感器的制作方法
集成mems-cmos超声波传感器1.相关申请的交叉引用2.本技术要求以下申请的优先权,其全部内容通过应用结合在本技术中:3.2021年9月16日提交的优先权号为17/477,498、发明名称为“in......
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一种MEMS超声波传感器的封装结构的制作方法
本实用新型涉及微电子技术领域,尤其是一种mems超声波传感器的封装结构。背景技术:超声波传感器可以用于煤气表、天然气表中用于对煤气、天然气的流量进行测量,也可应用于汽车倒车防撞雷达。目前的超声波传感器......
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一种压电MEMS超声波传感器的制作方法
本实用新型涉及传感器技术领域,尤其是一种压电MEMS超声波传感器。背景技术:超声波传感器一般工作在20kHz-400kHz,在汽车的倒车雷达、工业中的液位仪和气体流量计等需要测距的场景中被广泛应用。目......