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物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法与流程
本发明涉及物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法等。背景技术:1、在专利文献1中,公开了具备至少1个转子和至少2个定子的物理量传感器。在该物理量传感器中,转子和定子的至少一部分从器件层的第一表面凹陷到......
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物理量检测传感器的制造方法、物理量检测传感器与流程
本发明涉及物理量检测传感器的制造方法和物理量检测传感器。背景技术:在专利文献1中公开有如下内容,即,使玻璃的覆盖层与机械硅层结合,由玻璃的覆盖层实现有源器件的气密密封。具体而言,硅的机械层中的传感器器......