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利用双稳态磁线进行物理量测量和/或位置测量的系统,测量方法与流程
本发明涉及激励元件和双稳态磁线的组合,其中制造该组合以利用双稳态磁线进行各种物理量和/或位置测量。该系统和方法的新颖性主要在于激励元件和实际双稳态磁线的磁场的特定不对称位置,由此显著提高了原始测量数据......
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双音叉振子、物理量传感器及惯性计测装置的制作方法
本发明涉及双音叉振子、物理量传感器及惯性计测装置等。背景技术:1、在专利文献1中公开了这样的双音叉振子,具备:一对基部;两条振动梁,相互平行地配置在一对基部之间,分别具有表面、背面、两个侧面;以及多个......
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物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法与流程
本发明涉及物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法等。背景技术:1、在专利文献1中,公开了具备至少1个转子和至少2个定子的物理量传感器。在该物理量传感器中,转子和定子的至少一部分从器件层的第一表面凹陷到......
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物理量检测传感器的制造方法、物理量检测传感器与流程
本发明涉及物理量检测传感器的制造方法和物理量检测传感器。背景技术:在专利文献1中公开有如下内容,即,使玻璃的覆盖层与机械硅层结合,由玻璃的覆盖层实现有源器件的气密密封。具体而言,硅的机械层中的传感器器......