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物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法与流程

本发明涉及物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法等。背景技术：1、在专利文献1中，公开了具备至少1个转子和至少2个定子的物理量传感器。在该物理量传感器中，转子和定子的至少一部分从器件层的第一表面凹陷到......

2024-07-27 34

#物理量#惯性#传感器
物理量检测传感器的制造方法、物理量检测传感器与流程

本发明涉及物理量检测传感器的制造方法和物理量检测传感器。背景技术：在专利文献1中公开有如下内容，即，使玻璃的覆盖层与机械硅层结合，由玻璃的覆盖层实现有源器件的气密密封。具体而言，硅的机械层中的传感器器......

2024-07-27 49

#物理量#传感器#流程