双音叉振子、物理量传感器及惯性计测装置的制作方法

本发明涉及双音叉振子、物理量传感器及惯性计测装置等。

背景技术：

1、在专利文献1中公开了这样的双音叉振子，具备：一对基部；两条振动梁，相互平行地配置在一对基部之间，分别具有表面、背面、两个侧面；以及多个激励电极，设置在振动梁的长度方向上被分开的三个激励区域的各个面上。

2、专利文献1：日本特开2014-42242号公报

3、在专利文献1所公开的双音叉振子中，当为了降低从振动梁向基部的振动泄露，而将激励电极从振动梁的两端隔开距离配置的情况下，需要使连接激励电极和焊盘等的配线难以断线。

技术实现思路

1、本公开的一个方式涉及双音叉振子，

2、在把相互正交的三个方向设为第一方向、第二方向及第三方向时，所述双音叉振子包括：

3、第一基部及第二基部；以及

4、沿所述第一方向延伸的第一振动梁、以及沿所述第一方向延伸并与所述第一振动梁在所述第二方向上排列的第二振动梁，

5、所述第一基部与所述第一振动梁的一端及所述第二振动梁的一端连接，

6、所述第二基部与所述第一振动梁的另一端及所述第二振动梁的另一端连接，

7、所述第一振动梁及所述第二振动梁分别朝向所述第一方向依次配置有第一端部区域、第一激励区域、第一中继区域、第二激励区域、第二中继区域、第三激励区域及第二端部区域，

8、分别设置于所述第一振动梁及所述第二振动梁的多个激励电极被选择性地配置在所述第一激励区域、所述第二激励区域及所述第三激励区域各自的各个面上，

9、在把所述第一振动梁及所述第二振动梁各自的与所述第三方向正交的一面设为表面、把另一面设为背面时，

10、在所述第一中继区域的表面之上设有：

11、第三配线，连接配置于所述第一激励区域的第一激励电极、和配置于所述第二激励区域的第二激励电极；以及

12、第四配线，连接配置于所述第一激励区域的第三激励电极、和配置于所述第二激励区域的第四激励电极，

13、在所述第二中继区域的表面之上设有：

14、第七配线，连接所述第二激励电极、和配置于所述第三激励区域的第五激励电极；以及

15、第八配线，连接所述第四激励电极、和配置于所述第三激励区域的第六激励电极；

16、在所述第一中继区域的背面上设有：

17、第五配线，连接配置于所述第一激励区域的第七激励电极、和配置于所述第二激励区域的第八激励电极；以及

18、第六配线，连接配置于所述第一激励区域的第九激励电极、和配置于所述第二激励区域的第十激励电极，

19、在所述第二中继区域的背面上设有：

20、第九配线，连接所述第八激励电极、和配置于所述第三激励区域的第十一激励电极；以及

21、第十配线，连接所述第十激励电极、和配置于所述第三激励区域的第十二激励电极。

22、并且，本公开的另一个方式涉及物理量传感器，包括：如上所述的双音叉振子；固定部，与如上所述的双音叉振子的一端侧连接；可动部，与如上所述的双音叉振子的另一端侧连接；以及支承部，支承固定部。

23、并且，本公开的另一个方式涉及惯性计测装置，包括处理部，对从如上所述的物理量传感器输出的检测信号进行处理。

技术特征：

1.一种双音叉振子，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的双音叉振子，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的双音叉振子，其特征在于，

4.根据权利要求1或2所述的双音叉振子，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的双音叉振子，其特征在于，

6.根据权利要求3所述的双音叉振子，其特征在于，

7.根据权利要求4所述的双音叉振子，其特征在于，

8.一种物理量传感器，其特征在于，包括：

9.一种惯性计测装置，其特征在于，包括：

10.根据权利要求9所述的惯性计测装置，其特征在于，

技术总结本发明涉及双音叉振子、物理量传感器及惯性计测装置，提供一种双音叉振子等，能够使连接激励电极和焊盘的配线难以断线。在双音叉振子(1)中，两端与一对基部(B1、B2)连接的一对振动梁(V1、V2)，朝向第一方向(DR1)依次配置有第一端部区域(TA1)、第一激励区域(EA1)、第一中继区域(RA1)、第二激励区域(EA2)、第二中继区域(RA2)、第三激励区域(EA3)及第二端部区域(TA2)，在第一中继区域(RA1)的表面之上设有：配线(L3a)，连接第一激励区域(EA1)的激励电极(EL1a)和第二激励区域(EA2)的激励电极(EL2a)；以及配线(L4a)，连接第一激励区域(EA1)的激励电极(EL3a)和第二激励区域(EA2)的激励电极(EL4a)。技术研发人员：大户正之,佐藤健太受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社技术研发日：技术公布日：2024/10/10