传感器装置的制作方法

本发明涉及传感器装置。

背景技术：

1、目前，在能源、采矿、航空航天等产业中，对严酷环境下的测量有要求。作为严酷环境中的测量方式，已知有使用表面弹性波的方式(例如，参照专利文献1、专利文献2及非专利文献1。)。使用包含表面弹性波的弹性波的方式(以下称为弹性波式)具有测量原理简单且与无线通信的亲和性良好的特征。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本专利特开2004-129185号公报

5、专利文献2：日本专利特开2009-42229号公报

6、非专利文献

7、非专利文献1：f.bartoli，thierry aubert，mohammed moutaouekkil，jeremystreque，philippe pigeat，s.tgoon，a.talbi，sami hage-ali，hamid m’jahed，omarelmama，“aln/gan/sapphire heterostructure for high-temperature packagelessacoustic wave devices”，sensors and actuators a physical pp9-16 283(2018)

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、作为在弹性波式中使用的弹性波传感器的结构，已知有在表面露出梳齿型的金属电极的第一类型、在传播弹性波的路径上成膜加载膜的第二类型、以及使用电极的背面的第三类型。

3、对于第一类型和第二类型，在将传感器设置在严酷环境中的情况下露出的情况下，有时不能确保露出的电极和加载膜的耐腐蚀性。另外，对于第三类型，除了确保压电体的耐腐蚀性之外，还存在保护其背面的问题。

4、这样，在以往的弹性波传感器中，存在弹性波传播的单面的耐环境性不充分的问题。另外，这里的耐环境性包括耐热性和耐腐蚀性等。

5、本发明是为了解决这样的课题而提出的，其目的在于提供一种具有充分的耐环境性的弹性波传感器。

6、解决问题的技术手段

7、本申请的传感器装置包括：弹性波在内部传播的一个以上的压电体的层、为了发送、接收或反射在所述压电体的层传播的弹性波而承担与电信号的变换的电极、用于反射弹性波的反射器、由检测物理量的感应部构成的传感器部、根据所述传感器部的电信号进行无线通信的天线部、以及保护所述天线部和所述传感器部的保护部，其中，所述电极、所述压电体的层和所述保护部是分别依次内包的结构，所述保护部的材料由耐腐蚀材料且耐热材料构成。

8、发明的效果

9、通过利用上述保护膜防止露出，能够将传感器的所有面暴露于传感器周围的介质中，能够提供具有充分的耐环境性的弹性波传感器。另外，这里所说的介质包括气体、液体、电磁波等。

技术特征：

1.一种传感器装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的传感器装置，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的传感器装置，其特征在于，

4.根据权利要求1或2所述的传感器装置，其特征在于，

5.根据权利要求1或2所述的传感器装置，其特征在于，

6.根据权利要求1或2所述的传感器装置，其特征在于，

7.根据权利要求1或2所述的传感器装置，其特征在于，

8.根据权利要求1或2所述的传感器装置，其特征在于，

9.根据权利要求1或2所述的传感器装置，其特征在于，

10.根据权利要求1或2所述的传感器装置，其特征在于，

技术总结本发明提供一种具有充分的耐环境性的弹性波传感器。实施方式的传感器装置包括：弹性波在内部传播的一个以上的压电体的层、为了发送、接收或反射在压电体的层中传播的弹性波而承担与电信号的变换的电极、用于反射弹性波的反射器、由检测物理量的感应部构成的传感器部、根据传感器部的电信号进行无线通信的天线部、以及保护天线部和传感器部的保护部，其中，电极、压电体的层和保护部是分别依次内包的结构，保护部的材料由耐腐蚀材料且耐热材料构成。技术研发人员：添田将受保护的技术使用者：阿自倍尔株式会社技术研发日：技术公布日：2024/10/10