减少MEMS器件中的静摩擦力的系统和方法与流程

本公开总体上涉及微机电系统(mems)，并且更具体地涉及减少mems器件中的静摩擦力(stiction)的系统和方法。背景技术：1、微机电系统(mems)包括通常包含通过电信号控制的移动零件的显微器件......

2024-07-27 6

#静摩擦力#器件#流程