金属膜 - 技术新讯

选择性沉积高导电性金属膜的方法与流程

本发明大体上涉及气相沉积的领域。具体说来，本发明涉及选择性沉积含钌前体，随后将各种金属大量沉积至微电子装置衬底上。优先权要求本发明要求申请日期为2022年2月3日的美国临时专利第63/306,287号......

2024-10-21 11

本发明涉及空间推进系统中液体推进剂的贮存与管理领域，具体地，涉及基于形状记忆合金的金属膜盒贮箱及实现方法。背景技术：1、形状记忆合金(shape memory alloys,sma)是通过温度变化促使......

2024-08-01 21

本技术涉及金属膜生产，尤其涉及一种金属膜清洗装置。背景技术：1、金属膜通常指的是一层薄薄的金属覆盖在其他基材上形成的薄膜结构。这种金属膜可以用于各种应用，包括电子、光学、包装、传感器等领域，在对其表面......

2024-07-29 43