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一种晶圆片清洗用载盒的制作方法
本技术涉及晶圆片,具体为一种晶圆片清洗用载盒。背景技术:1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨......
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一种晶圆片清洗用载盒的制作方法
本技术涉及晶圆片,具体为一种晶圆片清洗用载盒。背景技术:1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨......