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一种半导体硅片酸腐蚀机的循环清洗装置及其使用方法与流程
本发明涉及半导体清洗,具体是涉及一种半导体硅片酸腐蚀机的循环清洗装置及其使用方法。背景技术:1、硅片是半导体集成电路制作所用的硅晶片,在硅晶片上可以加工成各种电路元件结构,而硅片半导体生产加工过程中,......
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一种分化零件的整版酸腐工艺制备方法与流程
本发明属于光学元件制备,具体涉及一种分化零件的整版酸腐工艺制备方法。背景技术:1、超精密光学元件的制备过程关键涉及微纳技术,这是一种通过微观和纳米级别的加工来生产微纳结构、特殊光学性能或呈现特殊视觉效......