加热结构及包括加热结构的气溶胶生成装置的制作方法

本公开涉及一种利用表面等离子体共振(surface plasmon resonance，spr)产生热量的加热结构，例如，包括所述加热结构的气溶胶生成装置。

背景技术：

1、目前，正在开发一种通过产生热量来加热对象的技术。例如，可以通过向电阻元件供电来产生热量。作为另一示例，可以通过线圈和基座之间的电磁耦合来产生热量。上述描述是发明人在开发本公开的过程中掌握或习得的，不应被理解为必须是本申请的申请日前公开的一般公知技术。

技术实现思路

1、技术问题

2、本公开的一方面可提供一种利用表面等离子体共振(spr)而产生热量的加热结构以及包括加热结构的气溶胶生成装置。

3、解决问题的技术方案

4、一种配置成利用表面等离子体共振(spr)而产生热量的加热结构，所述加热结构可以包括基板；多个金属颗粒，所述多个金属颗粒布置在所述基板上，并配置成通过表面等离子体共振产生热量；以及分隔壁，该分隔壁设置在相邻的金属颗粒之间。

5、所述多个金属颗粒中至少一个金属颗粒的大小可以与另一金属颗粒的大小不同。

6、所述分隔壁可以布置成用于防止所述相邻的金属颗粒发生结合。

7、所述多个金属颗粒可以具有由所述分隔壁形成的边界部。

8、所述多个金属颗粒可以具有纳米级尺寸。

9、所述分隔壁可以从所述基板突出。

10、所述分隔壁可以包括多个柱。

11、所述分隔壁可以包括网格部。

12、所述分隔壁可以包括耐热材料。

13、一种气溶胶生成装置可以包括：光源；以及加热结构，该加热结构配置成接收来自所述光源的光，其中，所述加热结构可以是配置成利用表面等离子体共振而产生热量的加热结构，所述加热结构可以包括：基板；多个金属颗粒，所述多个金属颗粒设置在所述基板上，并配置成通过表面等离子体共振而产生热量；以及分隔壁，该分隔壁设置在相邻的金属颗粒之间。

14、一种制造加热结构的方法，该方法包括：在基板的一面上形成分隔壁；在所述基板的所述面上形成金属层；以及通过对所述金属层进行退火，形成具有随机大小的多个金属颗粒。

15、对所述金属层进行退火可以包括：在所述基板上的形成有所述分隔壁的位置处形成边界部。

16、对所述金属层进行退火可以包括：以约160℃或大于160℃的温度对所述金属层进行加热。

17、对所述金属层进行退火可以包括：加热所述金属层以引起对所述金属层的脱湿(dewetting)。

18、形成所述金属层可以包括：以小于10nm且等于约10nm的厚度沉积所述金属层。

19、发明的有益效果

20、根据一实施例，当用加热结构加热对象时，可以局部加热对象或对多个对象中的至少一部分进行加热。根据一实施例，可以保持或改善加热结构的加热效率。根据一实施例的加热结构和包括加热结构的气溶胶生成装置的效果并不受限于上述效果，未言及的其他效果将通过下面的记载由本领域普通技术人员明确理解。

技术特征：

1.一种加热结构，所述加热结构包括，

2.根据权利要求1所述的加热结构，其中，

3.根据权利要求1所述的加热结构，其中，

4.根据权利要求1所述的加热结构，其中，

5.根据权利要求1所述的加热结构，其中，

6.根据权利要求1所述的加热结构，其中，

7.根据权利要求1所述的加热结构，其中，

8.根据权利要求1所述的加热结构，其中，

9.根据权利要求1所述的加热结构，其中，

10.一种气溶胶生成装置，所述气溶胶生成装置包括：

11.一种制造加热结构的方法，所述方法包括：

12.根据权利要求11所述的方法，其中，

13.根据权利要求11所述的方法，其中，

14.根据权利要求11所述的方法，其中，

15.根据权利要求11所述的方法，其中，

技术总结一种配置成利用表面等离子体共振(SPR)产生热量的加热结构，该加热结构包括基板、多个金属颗粒以及分隔壁，多个金属颗粒设置在所述基板上，并配置成通过表面等离子体共振而产生热量，分隔壁设置在相邻的金属颗粒之间。技术研发人员：李源暻,鲜于准,李文相受保护的技术使用者：韩国烟草人参公社技术研发日：技术公布日：2024/3/21