一种用于大气无尘机械手的障碍物检测结构的制作方法

本技术涉及机械手，特别是一种用于大气无尘机械手的障碍物检测结构。

背景技术：

1、机械手是一种能模仿人手和臂的某些动作功能，用以按固定程序抓取、搬运物件或操作工具的自动操作装置，特点是可以通过编程来完成各种预期的作业，构造和性能上兼有人和机械手机器各自的优点。在半导体设备机械手中，主要采取负压式吸片的方式取片，即利用吸盘原理，将晶圆吸附于石英或者陶瓷手指上，并通过机械手臂的伸缩、旋转和升降等动作，按照工作环境，机械手可分为真空机械手和大气机械手，其中大气机械手是用于洁净的大气环境中，能够避免灰尘对大气机械手的影响，此类机械手对接精度要求较高，一般为10级，有些可达1级。

2、为了避免大气机械手在运动的过程中碰到障碍物，并且保证大气机械手的正常运行，通常采用视觉检测的方法来检测大气机械手在运动过程中是否存在障碍物，在通过视觉检测方法进行障碍物的检测工作时，需要调节视觉传感器至合适的角度和高度从而更好的来进行障碍物的检测工作，并且在调节工作完成后将视觉传感器固定安装在特定的位置，若大气机械手出现损坏进行维修后，大气机械手的安装位置发生改变，此时需要将视觉传感器拆下并重新调整视觉传感器至合适的高度和角度，使得整个调节过程较为麻烦，从而降低了调节视觉传感器的效率，因此需要一种用于大气无尘机械手的障碍物检测结构来解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的旨在至少解决所述技术缺陷之一。

2、为此，本实用新型的一个目的在于提出一种用于大气无尘机械手的障碍物检测结构，以解决背景技术中所提到的问题，克服现有技术中存在的不足。

3、为了实现上述目的，本实用新型一方面的实施例提供一种用于大气无尘机械手的障碍物检测结构，包括安装底座，所述安装底座的一侧固定安装有控制器和大气机械手本体，所述安装底座的一侧通过螺栓固定安装有l形支架，所述l形支架的顶端固定连接有连接块，所述连接块的一侧通过转轴转动连接有调节板，所述调节板的一侧开设有调节滑槽，所述调节滑槽的内壁固定连接有导向杆，所述导向杆的外表面滑动连接有调节滑块，所述调节滑块的一侧固定连接有安装板，所述安装板的一侧固定安装有视觉传感器，所述调节滑块的一侧固定连接有调节螺纹杆，所述调节螺纹杆的外表面螺纹连接有锁紧螺母，所述l形支架的一侧固定连接有支撑板，所述支撑板的一侧通过轴承转动连接有丝杆，所述丝杆的顶端固定连接有旋钮，所述丝杆的外表面螺纹连接有第一铰接座，所述第一铰接座的一端铰接有调节杆，所述调节杆远离第一铰接座的一端铰接有与调节板固定连接的第二铰接座。

4、由上述任一方案优选的是，所述调节板的一侧开设有限位槽，所述限位槽与调节滑槽相连通，所述调节螺纹杆从限位槽的内部穿过，所述调节螺纹杆的最大直径等于限位槽的宽度，所述调节螺纹杆与限位槽滑动连接，使得所述调节螺纹杆能够顺利的沿限位槽的方向进行移动。

5、由上述任一方案优选的是，所述l形支架的一侧开设有导向滑槽，所述第一铰接座与导向滑槽滑动连接，所述第一铰接座的宽度等于导向滑槽的宽度，通过所述导向滑槽对第一铰接座起导向作用，使所述第一铰接座只能够沿导向滑槽的方向进行直线运动。

6、由上述任一方案优选的是，所述视觉传感器与控制器电性连接，所述控制器与大气机械手本体电性连接，使得所述控制器能够根据视觉传感器的信号来控制大气机械手本体是否关闭。

7、由上述任一方案优选的是，所述l形支架的顶端弯折，所述l形支架顶端的弯折角度为钝角。

8、由上述任一方案优选的是，所述调节滑块与调节滑槽滑动连接，所述调节滑块与调节滑槽的大小相适配，使得所述调节滑块能够沿调节滑槽的方向顺利的进行滑动。

9、与现有技术相比，本实用新型所具有的优点和有益效果为：

10、通过所述l形支架、连接块、调节板、调节滑槽、调节滑块、安装板、视觉传感器、调节螺纹杆、锁紧螺母、支撑板、丝杆、旋钮、第一铰接座、调节杆和第二铰接座的配合设置，当所述大气机械手本体位置出现移动时能够快速的对视觉传感器进行调节工作，使得调节所述视觉传感器高度和角度的操作较为简便，从而能够快速的使所述视觉传感器继续进行检测工作，保证了调节所述视觉传感器的效率。

技术特征：

1.一种用于大气无尘机械手的障碍物检测结构，其特征在于：包括安装底座（1），所述安装底座（1）的一侧固定安装有控制器（2）和大气机械手本体（3），所述安装底座（1）的一侧通过螺栓固定安装有l形支架（4），所述l形支架（4）的顶端固定连接有连接块（5），所述连接块（5）的一侧通过转轴转动连接有调节板（6），所述调节板（6）的一侧开设有调节滑槽（7），所述调节滑槽（7）的内壁固定连接有导向杆（8），所述导向杆（8）的外表面滑动连接有调节滑块（9），所述调节滑块（9）的一侧固定连接有安装板（10），所述安装板（10）的一侧固定安装有视觉传感器（11），所述调节滑块（9）的一侧固定连接有调节螺纹杆（12），所述调节螺纹杆（12）的外表面螺纹连接有锁紧螺母（13），所述l形支架（4）的一侧固定连接有支撑板（14），所述支撑板（14）的一侧通过轴承转动连接有丝杆（15），所述丝杆（15）的顶端固定连接有旋钮（16），所述丝杆（15）的外表面螺纹连接有第一铰接座（17），所述第一铰接座（17）的一端铰接有调节杆（18），所述调节杆（18）远离第一铰接座（17）的一端铰接有与调节板（6）固定连接的第二铰接座（19）。

2.根据权利要求1所述的一种用于大气无尘机械手的障碍物检测结构，其特征在于：所述调节板（6）的一侧开设有限位槽（20），所述限位槽（20）与调节滑槽（7）相连通，所述调节螺纹杆（12）从限位槽（20）的内部穿过，所述调节螺纹杆（12）的最大直径等于限位槽（20）的宽度，所述调节螺纹杆（12）与限位槽（20）滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于大气无尘机械手的障碍物检测结构，其特征在于：所述l形支架（4）的一侧开设有导向滑槽（21），所述第一铰接座（17）与导向滑槽（21）滑动连接，所述第一铰接座（17）的宽度等于导向滑槽（21）的宽度。

4.根据权利要求3所述的一种用于大气无尘机械手的障碍物检测结构，其特征在于：所述视觉传感器（11）与控制器（2）电性连接，所述控制器（2）与大气机械手本体（3）电性连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于大气无尘机械手的障碍物检测结构，其特征在于：所述l形支架（4）的顶端弯折，所述l形支架（4）顶端的弯折角度为钝角。

6.根据权利要求5所述的一种用于大气无尘机械手的障碍物检测结构，其特征在于：所述调节滑块（9）与调节滑槽（7）滑动连接，所述调节滑块（9）与调节滑槽（7）的大小相适配。

技术总结本技术涉及机械手技术领域，特别是一种用于大气无尘机械手的障碍物检测结构，包括安装底座，所述安装底座的一侧固定安装有控制器和大气机械手本体，所述安装底座的一侧通过螺栓固定安装有L形支架，所述L形支架的顶端固定连接有连接块。本技术的优点在于：通过L形支架、连接块、调节板、调节滑槽、调节滑块、安装板、视觉传感器、调节螺纹杆、锁紧螺母、支撑板、丝杆、旋钮、第一铰接座、调节杆和第二铰接座的配合设置，当大气机械手本体位置出现移动时能够快速的对视觉传感器进行调节工作，使得调节视觉传感器高度和角度的操作较为简便，从而能够快速的使视觉传感器继续进行检测工作，保证了调节视觉传感器的效率。技术研发人员：刘伟受保护的技术使用者：深圳市冠乔科技有限公司技术研发日：20231016技术公布日：2024/5/29