一种双腔负压压力平衡机构的制作方法

本技术涉及压力平衡机构，特别是涉及一种双腔负压压力平衡机构。

背景技术：

1、双腔lpcvd设备用于半导体材料、功能材料、新材料的工艺生长，其特点是利用双腔结构实现装料（冷腔）和工艺腔（热腔）在负压状态下连续生产。以往的双腔设备虽然能实现负压状态连续生长，但由于两个腔室之间的压力有一定的压差，导致两个腔室之间的插板阀在开启关闭时，会产生较大的震动，存在很大的隐患，对设备及配件的寿命影响过大。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是两个腔室之间的压力有一定的压差，导致两个腔室之间的插板阀在开启关闭时，会产生较大的震动，存在很大的隐患，对设备及配件的寿命影响过大。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种双腔负压压力平衡机构，包括炉体，所述炉体的表面一侧固定连接有第一支撑板，所述第一支撑板的表面上固定安装有第一干泵，所述第一干泵的输出端固定安装有第一气动挡板阀，所述第一气动挡板阀的一端与炉体的表面相连接，所述炉体的表面一侧固定连接有第二支撑板，且第二支撑板位于第一支撑板的上方，所述第二支撑板的表面上固定安装有第二干泵，所述第二干泵的输出端固定安装有第二气动挡板阀，所述第二气动挡板阀的一端与炉体的表面相连接，所述炉体的内部设置有石英反应腔和送料腔，所述送料腔的内部设置有传送杆，所述炉体的底部固定连接有两个驱动气缸，两个所述驱动气缸的输出端贯穿延伸至炉体的内部与传送杆的底部为固定连接；

3、所述石英反应腔和送料腔之间设置有插板阀，所述炉体的表面一侧设置有驱动组件，所述炉体的表面另一侧固定安装有第一压阻规和第二压阻规，所述第二压阻规位于第一压阻规的上方，所述炉体的表面一侧固定安装有卸荷阀，所述炉体的表面一侧固定安装有第一薄膜规和第二薄膜规，所述第二薄膜规位于第一薄膜规的上方，所述第二薄膜规的表面上安装有腔体压力平衡阀，所述腔体压力平衡阀的一端与炉体的表面一侧相连接。

4、优选的，所述炉体的内部固定连接有两个固定块，两个所述固定块的表面一侧开设有滑槽，所述插板阀的滑动连接在滑槽的内部。

5、优选的，所述驱动组件包括连接架，所述连接架固定连接在炉体的表面一侧，所述连接架的内侧壁固定连接有电动推杆，所述电动推杆的输出端固定连接有推板，所述插板阀的一端贯穿延伸至炉体的外部与推板的表面一侧为固定连接。

6、优选的，所述第一压阻规和第一薄膜规均位于送料腔的两侧，所述第二压阻规和第二薄膜规均位于石英反应腔的两侧。

7、优选的，所述炉体的表面上安装有炉门，所述炉门的表面的表面上固定连接有把手。

8、优选的，所述炉体的顶部固定连接有进气管，所述进气管的内部安装有封堵塞。

9、优选的，所述炉体的底部固定连接有多个底座。

10、本实用新型的有益效果如下：

11、本实用新型在石英反应腔与送料腔中间增加腔体压力平衡阀，工艺结束后石英反应腔内充入氮气对工艺气体进行吹扫，吹扫完成后石英反应腔内气体压力大于送料腔内气体压力，此时打开压力平衡阀，使石英反应腔与送料腔之间的压力达到平衡状态，保证插板阀能够安全打开。

技术特征：

1.一种双腔负压压力平衡机构，包括炉体（9），其特征在于：所述炉体（9）的表面一侧固定连接有第一支撑板（4），所述第一支撑板（4）的表面上固定安装有第一干泵（3），所述第一干泵（3）的输出端固定安装有第一气动挡板阀（2），所述第一气动挡板阀（2）的一端与炉体（9）的表面相连接，所述炉体（9）的表面一侧固定连接有第二支撑板（5），且第二支撑板（5）位于第一支撑板（4）的上方，所述第二支撑板（5）的表面上固定安装有第二干泵（7），所述第二干泵（7）的输出端固定安装有第二气动挡板阀（8），所述第二气动挡板阀（8）的一端与炉体（9）的表面相连接，所述炉体（9）的内部设置有石英反应腔（18）和送料腔（24），所述送料腔（24）的内部设置有传送杆，所述炉体（9）的底部固定连接有两个驱动气缸，两个所述驱动气缸的输出端贯穿延伸至炉体（9）的内部与传送杆的底部为固定连接；

2.根据权利要求1所述的一种双腔负压压力平衡机构，其特征在于：所述炉体（9）的内部固定连接有两个固定块（20），两个所述固定块（20）的表面一侧开设有滑槽，所述插板阀（21）的滑动连接在滑槽的内部。

3.根据权利要求1所述的一种双腔负压压力平衡机构，其特征在于：所述驱动组件包括连接架（11），所述连接架（11）固定连接在炉体（9）的表面一侧，所述连接架（11）的内侧壁固定连接有电动推杆（17），所述电动推杆（17）的输出端固定连接有推板（16），所述插板阀（21）的一端贯穿延伸至炉体（9）的外部与推板（16）的表面一侧为固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种双腔负压压力平衡机构，其特征在于：所述第一压阻规（15）和第一薄膜规（23）均位于送料腔（24）的两侧，所述第二压阻规（19）和第二薄膜规（22）均位于石英反应腔（18）的两侧。

5.根据权利要求1所述的一种双腔负压压力平衡机构，其特征在于：所述炉体（9）的表面上安装有炉门（13），所述炉门（13）的表面的表面上固定连接有把手（12）。

6.根据权利要求1所述的一种双腔负压压力平衡机构，其特征在于：所述炉体（9）的顶部固定连接有进气管（10），所述进气管（10）的内部安装有封堵塞。

7.根据权利要求1所述的一种双腔负压压力平衡机构，其特征在于：所述炉体（9）的底部固定连接有多个底座（1）。

技术总结本技术公开了一种双腔负压压力平衡机构，包括炉体，所述炉体的表面一侧固定连接有第一支撑板，所述第一支撑板的表面上固定安装有第一干泵，所述第一干泵的输出端固定安装有第一气动挡板阀，所述第一气动挡板阀的一端与炉体的表面相连接，所述炉体的表面一侧固定连接有第二支撑板，且第二支撑板位于第一支撑板的上方，所述第二支撑板的表面上固定安装有第二干泵。本技术在石英反应腔与送料腔中间增加腔体压力平衡阀，工艺结束后石英反应腔内充入氮气对工艺气体进行吹扫，吹扫完成后石英反应腔内气体压力大于送料腔内气体压力，此时打开压力平衡阀，使石英反应腔与送料腔之间的压力达到平衡状态，保证插板阀能够安全打开。技术研发人员：刘洋,姜洪斌,陈学超受保护的技术使用者：青岛华旗科技有限公司技术研发日：20231010技术公布日：2024/6/13