一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒的制作方法

本技术涉及镀膜滚筒，尤其涉及一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒。

背景技术：

1、磁控溅射镀膜主要用于电子工业、磁性材料及记录介质、光学及光导通信等，是真空镀膜的方法之一，其是通过将涂层材料作为靶阴极，利用氩离子轰击靶材结构，产生阴极溅射，把靶材结构原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术，而滚筒是镀膜过程中常用的工件。

2、现有的滚筒如中国专利公开号cn211142147u以及cn211142147u其为了提高产品与成膜物质之间均匀混合度，利用倾斜的混合板进行混合，但是混合过程中，一旦产品堆积的厚度较厚，比如堆积厚度超过混合板的厚度，位于滚筒边缘(即混合板层级)的产品被滚筒中心层级的产品阻挡干涉，不易混合，且混合板之间的产品也因为被阻挡降低了流动性，混合效率降低。

3、为此，我们提出一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒。

技术实现思路

1、本实用新型主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案，一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，包括滚筒壁，所述滚筒壁的内部固定安装有多组外拨板，所述外拨板对称分布在滚筒壁的两端且外拨板均匀地倾斜分布在滚筒壁内壁面，两端的外拨板之间留有空隙形成通槽，所述滚筒壁的后端面开设有槽且槽内活动安装有可在槽内旋转的内堵板，所述内堵板只延伸至最靠近的外拨板的中部且内堵板的外壁面均匀固定安装有多组内拨板，所述内拨板位于外拨板的内环，所述内拨板均匀倾斜设置在内堵板外壁面，所述外拨板与内拨板的倾斜方向相反，所述滚筒壁的外壁面固定安装有中齿轮，所述内堵板延伸至滚筒壁外部的位置固定安装有侧齿轮。

3、作为优选，所述滚筒壁的内部轴向固定安装有多组安装杆，所述安装杆贯穿滚筒壁的两端，所述安装杆远离内堵板的一端可拆卸安装有盖板，所述盖板的中部安装有可拆卸的上料板。

4、作为优选，所述内堵板上安装的内拨板远离内堵板的一端固定安装有内连环，所述内连环的另一侧同样固定安装有多组内拨板，所述内连环左右两侧的内拨板与左右两侧的外拨板相互对应。

5、作为优选，所述内连环的外环端面对应通槽的位置均匀固定安装有多组刮板，所述刮板可在通槽内滑动且刮板与滚筒壁内壁面贴合。

6、作为优选，所述外拨板与内拨板不仅沿滚筒壁轴向方向倾斜其自身也与滚筒壁的内壁面倾斜设置。

7、有益效果

8、本实用新型提供了一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒。具备以下有益效果：

9、通过外部驱动机构，连接中齿轮和侧齿轮后，滚筒壁带动外拨板正向翻料，内堵板带动内拨板在滚筒壁内部反向翻料，并且外拨板和内拨板同时推动不同层级的物料，利用外拨板和内拨板倾斜方向相反且位于相邻的不同层级中，使物料在滚筒壁内混合的更加均匀。

技术特征：

1.一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，包括滚筒壁(1)，其特征在于：所述滚筒壁(1)的内部固定安装有多组外拨板(2)，所述外拨板(2)对称分布在滚筒壁(1)的两端且外拨板(2)均匀地倾斜分布在滚筒壁(1)内壁面，两端的外拨板(2)之间留有空隙形成通槽(6)，所述滚筒壁(1)的后端面开设有槽且槽内活动安装有可在槽内旋转的内堵板(3)，所述内堵板(3)只延伸至最靠近的外拨板(2)的中部且内堵板(3)的外壁面均匀固定安装有多组内拨板(4)，所述内拨板(4)位于外拨板(2)的内环，所述内拨板(4)均匀倾斜设置在内堵板(3)外壁面，所述外拨板(2)与内拨板(4)的倾斜方向相反，所述滚筒壁(1)的外壁面固定安装有中齿轮(8)，所述内堵板(3)延伸至滚筒壁(1)外部的位置固定安装有侧齿轮(9)。

2.根据权利要求1所述的一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，其特征在于：所述滚筒壁(1)的内部轴向固定安装有多组安装杆(10)，所述安装杆(10)贯穿滚筒壁(1)的两端，所述安装杆(10)远离内堵板(3)的一端可拆卸安装有盖板(11)，所述盖板(11)的中部安装有可拆卸的上料板。

3.根据权利要求1所述的一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，其特征在于：所述内堵板(3)上安装的内拨板(4)远离内堵板(3)的一端固定安装有内连环(5)，所述内连环(5)的另一侧同样固定安装有多组内拨板(4)，所述内连环(5)左右两侧的内拨板(4)与左右两侧的外拨板(2)相互对应。

4.根据权利要求3所述的一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，其特征在于：所述内连环(5)的外环端面对应通槽(6)的位置均匀固定安装有多组刮板(7)，所述刮板(7)可在通槽(6)内滑动且刮板(7)与滚筒壁(1)内壁面贴合。

5.根据权利要求1所述的一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，其特征在于：所述外拨板(2)与内拨板(4)不仅沿滚筒壁(1)轴向方向倾斜其自身也与滚筒壁(1)的内壁面倾斜设置。

技术总结本技术涉及镀膜滚筒技术领域，且公开了一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，包括滚筒壁，所述滚筒壁的内部固定安装有多组外拨板，所述外拨板对称分布在滚筒壁的两端且外拨板均匀的倾斜分布在滚筒壁内壁面，两端的外拨板之间留有空隙形成通槽，所述滚筒壁的后端面开设有槽且槽内活动安装有可在槽内旋转的内堵板，所述内堵板只延伸至最靠近的外拨板的中部且内堵板的外壁面均匀固定安装有多组内拨板，所述内拨板位于外拨板的内环，所述内拨板均匀倾斜设置在内堵板外壁面，所述外拨板与内拨板的倾斜方向相反。本技术中，利用外拨板和内拨板倾斜方向相反且位于相邻的不同层级中，使物料在滚筒壁内混合得更加均匀。技术研发人员：舒波,李均平,洪滔,程浩东,包瑞受保护的技术使用者：安合鑫光电科技（苏州）有限公司技术研发日：20230919技术公布日：2024/6/13