掩模配接器以及元件制造方法与流程

本发明涉及一种掩模配接器、掩模配接器安装工具、曝光装置以及元件制造方法。

背景技术：

1、例如，专利文献1中记载有对曝光装置中所使用的曝光掩模安装的掩模保持构件。在安装有此种掩模保持构件的状态下使用曝光掩模时，提高曝光装置的曝光精度成为问题。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本专利特开平11-288099号公报

技术实现思路

1、本发明的掩模配接器的一形态为一种掩模配接器，在对支撑于平台的掩模进行照明而将形成于所述掩模的图案曝光于基板上的曝光装置中使用，且安装于所述掩模，其包括：本体部，包括在形成有所述图案的区域外支撑所述掩模的支撑部、及支撑于所述平台的被支撑部；以及第一被检测部，在所述本体部上，能够利用所述曝光装置的检测部来检测，并且所述第一被检测部包含与所述掩模配接器相关的信息。

2、也可设为与所述掩模配接器相关的信息包含控制信息的结构，所述控制信息用以在所述曝光中，对所述平台的移动进行控制，所述平台将安装有所述掩模的所述掩模配接器加以支撑。

3、也可设为与所述掩模配接器相关的信息包含所述掩模配接器的刚性的结构。

4、也可设为所述第一被检测部为条码的结构。

5、本发明的掩模配接器的一形态是在对支撑于平台的掩模进行照明而将形成于所述掩模的图案曝光于基板上的曝光装置中使用，且安装于所述掩模的掩模配接器，其包括：本体部，包括在所述掩模中形成有所述图案的区域外安装的安装部、及支撑于所述平台的被支撑部；以及第二被检测部，在所述本体部上，能够利用所述曝光装置的检测部来检测，并且所述第二被检测部包含与安装于所述掩模配接器的所述掩模相关的信息。

6、也可设为如下结构：包括第二被检测部，所述第二被检测部在所述本体部上，能够利用所述曝光装置的检测部来检测，并且所述第二被检测部包含与安装于所述掩模配接器的所述掩模相关的信息。

7、也可设为如下结构：所述第一被检测部与所述第二被检测部相邻而配置。

8、也可设为如下结构：与所述掩模相关的信息包含所述掩模的平面度、形成于所述掩模的图案的种类、所述掩模的尺寸误差、所述掩模的重量误差、形成于所述掩模的图案的描画误差中的至少一者。

9、也可设为如下结构：包括以能变更的方式显示所述第二被检测部的显示部。

10、也可设为如下结构：所述显示部显示所述掩模所包含的与所述掩模相关的信息。

11、也可设为如下结构：所述第二被检测部为电子条码。

12、也可设为如下结构：若对所述掩模配接器安装与所述掩模不同的其他掩模，则所述显示部显示与所述其他掩模相关的信息。

13、本发明的掩模配接器的一形态是在对支撑于平台的掩模进行照明而将形成于所述掩模的图案曝光于基板上的曝光装置中使用，且安装于所述掩模的掩模配接器，其包括：本体部，包括在所述掩模中形成有所述图案的区域外安装的安装部、及支撑于所述平台的被支撑部；以及第一被辨别部，用以使所述曝光装置使用第一传感器来辨别如下情况：通过能将安装有所述掩模的所述掩模配接器及与所述掩模不同的其他掩模分别搬送的搬送装置，将安装有所述掩模的所述掩模配接器搬送至所述平台。

14、也可设为如下结构：还包括第一被辨别部，所述第一被辨别部用以使所述曝光装置使用第一传感器来辨别如下情况：通过能将安装有所述掩模的所述掩模配接器及所述其他掩模分别搬送的搬送装置，将安装有所述掩模的所述掩模配接器搬送至所述平台。

15、也可设为如下结构：所述第一被辨别部包括设置于所述本体部上且将从所述第一传感器射出的光反射的反射部，并且所述反射部将从所述第一传感器射出的光向与所述第一传感器所处的方向不同的方向反射。

16、也可设为如下结构：所述第一被辨别部包括从所述第一传感器射出的光所穿过的第一穿过部。

17、也可设为如下结构：所述第一被辨别部是利用设置于所述曝光装置的所述搬送装置的所述第一传感器来检测。

18、本发明的掩模配接器的一形态为在对支撑于平台的掩模进行照明而将形成于所述掩模的图案曝光于基板上的曝光装置中使用，且安装于所述掩模的掩模配接器，其包括：本体部，包括在所述掩模中形成有所述图案的区域外安装的安装部、及支撑于所述平台的被支撑部；以及第二被辨别部，用以使所述曝光装置使用第二传感器来辨别如下情况：在能将安装有所述掩模的所述掩模配接器及与所述掩模不同的其他掩模分别支撑的所述平台，支撑有所述掩模配接器。

19、也可设为如下结构：包括第二被辨别部，所述第二被辨别部用以使所述曝光装置使用第二传感器来辨别如下情况：在能将安装有所述掩模的所述掩模配接器及所述其他掩模分别支撑的所述平台，支撑有所述掩模配接器。

20、也可设为如下结构：所述第二被辨别部包括从所述第二传感器射出的光所穿过的第二穿过部。

21、也可设为如下结构：所述第二穿过部为设置于所述本体部的贯穿孔。

22、也可设为如下结构：所述第二被辨别部是利用设置于所述平台的所述第二传感器来检测。

23、也可设为如下结构：所述本体部具有将所述掩模的周围包围的框状的形状。

24、本发明的曝光装置的一形态包括：照明光学系统，对安装于所述掩模配接器的所述掩模进行照明；以及投影光学系统，将由所述照明光学系统所照明的所述掩模的图案投影至所述基板上。

25、本发明的元件制造方法的一形态包括：利用所述曝光装置对基板进行曝光处理；以及对经曝光的所述基板进行显影处理。

26、本发明的元件制造方法的一形态包括：对安装于所述掩模配接器的掩模进行照明；通过将经照明的所述掩模的图案的像投影至基板上，而对所述基板进行曝光；以及对经曝光的所述基板进行显影处理。

27、本发明的掩模配接器安装工具的一形态在所述掩模配接器安装所述掩模。

28、本发明的掩模配接器安装工具的一形态是对掩模配接器安装所述掩模，所述掩模配接器在将形成于掩模上的图案曝光于基板上的曝光装置中使用，所述掩模配接器安装工具包括：写入部，使包含与安装于所述掩模配接器的所述掩模相关的信息的第二被检测部，显示于设置在所述掩模配接器的显示部。

29、也可设为如下结构：包括第二检测部，所述第二检测部对设置于所述掩模的包含与所述掩模相关的信息的第三被检测部进行检测，并且所述写入部基于利用所述第二检测部而从所述第三被检测部中检测到的信息，在所述显示部显示所述第二被检测部。

30、也可设为如下结构：可为将所述掩模从所述掩模配接器上拆卸的工具，包括对所述掩模从所述掩模配接器上拆卸的情况进行检测的拆卸检测部，并且若通过所述拆卸检测部，检测到所述掩模已从所述掩模配接器上拆卸，则所述写入部删除所述显示部的显示。

31、也可设为如下结构：包括第二检测部，对设置于所述掩模的包含与所述掩模相关的信息的第三被检测部进行检测。

32、本发明的掩模配接器安装工具的一形态是一种对将形成于掩模上的图案曝光于基板上的曝光装置中所使用的掩模配接器，安装所述掩模的掩模配接器安装工具，其包括第二检测部，所述第二检测部对设置于所述掩模的包含与所述掩模相关的信息的第三被检测部进行检测。

33、也可设为如下结构：包括升降装置，所述升降装置使所述掩模相对于所述掩模配接器而在上下方向移动，并且所述升降装置使位于所述掩模配接器的上方的所述掩模下降，配置于所述掩模配接器。

34、也可设为如下结构：所述升降装置使所述掩模配置于俯视时具有将所述掩模的周围包围的框状的所述掩模配接器。

35、本发明的曝光装置的一形态包括：照明光学系统，利用所述掩模配接器安装工具，对安装于所述掩模配接器的所述掩模进行照明；以及投影光学系统，将由所述照明光学系统进行照明的所述掩模的图案投影至所述基板上。

36、本发明的元件制造方法的一形态包括：使用所述掩模配接器安装工具来对掩模配接器安装掩模；对安装于所述掩模配接器的所述掩模进行照明；通过将经照明的所述掩模的图案的像投影至基板上，对所述基板进行曝光；以及对经曝光的所述基板进行显影处理。