一种用于半导体制造的辅助工装的制作方法

本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种用于半导体制造的辅助工装。

背景技术：

1、半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，电导率容易受控制的半导体，可作为信息处理的元件材料。

2、但在传统的光刻工序中，半导体芯片在进行表面光刻纹路时，因为半导体芯片较小较轻，容易被外界因素干扰，稍微产生一点风就会被吹动，使半导体芯片偏移，从而使得光刻产生偏差，半导体芯片报废，且刻完多个芯片后工作台容易残留大量废屑，过量废屑容易影响下一次半导体光刻，需要进行扫除，故而我们需要全新的一种用于半导体制造的辅助工装。

技术实现思路

1、为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种用于半导体制造的辅助工装，目的是为了解决现有技术中半导体芯片在光刻中容易跑动不稳定，产品光刻偏差且多次刻纹后工作台容易产生废屑，过量废屑容易影响下一次刻纹的问题，而提出的一种用于半导体制造的辅助工装。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种用于半导体制造的辅助工装，包括工作台，所述工作台的顶部中侧固定连接有定位座，所述定位座的顶端两侧设置有两个契合槽，所述契合槽的内部设置有契合柱，所述契合柱的顶端固定连接有放置体，所述放置体的前端内部开设有放置槽，所述放置体的内部两侧均等距固定连接有多个伸缩杆，所述伸缩杆的顶端固定连接有固定板，所述伸缩杆的外壁设置有弹簧。

3、作为上述技术方案的进一步描述：

4、所述工作台顶部两侧固定连接有支撑架，两个所述支撑架的后端上部相近一侧均固定连接有横板，所述横板的内部两侧均贯穿有丝杆，两个所述丝杆的顶端均固定连接有皮带轮，左侧所述皮带轮的顶端通过转轴固定连接有电机的驱动端，两个所述皮带轮通过皮带相连。

5、作为上述技术方案的进一步描述：

6、两个所述丝杆的外壁均螺纹连接有活动块，所述活动块的外壁前侧固定连接有接板，所述接板的内部固定连接有直线导轨，所述直线导轨的内部设置有导轨滑块。

7、作为上述技术方案的进一步描述：

8、所述导轨滑块的外壁固定连接有连接件，所述连接件的内部中侧通过螺栓螺纹连接有清扫板，所述清扫板的底部设置有多个软毛。

9、作为上述技术方案的进一步描述：

10、所述工作台的顶部后方两侧固定连接有保护壳，所述丝杆的底端转动连接在保护壳的内部中侧底端。

11、作为上述技术方案的进一步描述：

12、两个所述支撑架的顶端相近一侧通过安装板固定连接有光刻器。

13、作为上述技术方案的进一步描述：

14、所述放置体的顶部中侧设置有便于半导体芯片光刻的开槽。

15、本实用新型具有如下有益效果：

16、1、本实用新型中，通过工作台、定位座、契合槽、契合柱、放置体、伸缩杆、固定板、弹簧和放置槽的配合设置，通过设有的定位座，使得放置体能够较为准确的放置在刻蚀工作台的正上方，利用弹簧、伸缩杆和固定板的配合，能够将半导体芯片夹持住，较好的避免了芯片跑动，使得半导体芯片在刻纹中不易产生偏差。

17、2、本实用新型中，通过支撑架、横板、丝杆、皮带轮、电机、活动块、接板、直线导轨、导轨滑块、连接件和清扫板的配合设置，利用丝杆、皮带轮和电机之间的配合，使得活动块可以带动接板进行上下移动，再利用直线导轨和导轨滑块的设置，使得通过连接件相连的清扫板可以左右移动，从而便于清扫板对工作台上残留的废屑进行扫除。

技术特征：

1.一种用于半导体制造的辅助工装，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部中侧固定连接有定位座(2)，所述定位座(2)的顶端两侧设置有两个契合槽(3)，所述契合槽(3)的内部设置有契合柱(4)，所述契合柱(4)的顶端固定连接有放置体(5)，所述放置体(5)的前端内部开设有放置槽(9)，所述放置体(5)的内部两侧均等距固定连接有多个伸缩杆(6)，所述伸缩杆(6)的顶端固定连接有固定板(7)，所述伸缩杆(6)的外壁设置有弹簧(8)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造的辅助工装，其特征在于：所述工作台(1)顶部两侧固定连接有支撑架(11)，两个所述支撑架(11)的后端上部相近一侧均固定连接有横板(12)，所述横板(12)的内部两侧均贯穿有丝杆(13)，两个所述丝杆(13)的顶端均固定连接有皮带轮(14)，左侧所述皮带轮(14)的顶端通过转轴固定连接有电机(15)的驱动端，两个所述皮带轮(14)通过皮带相连。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体制造的辅助工装，其特征在于：两个所述丝杆(13)的外壁均螺纹连接有活动块(16)，所述活动块(16)的外壁前侧固定连接有接板(17)，所述接板(17)的内部固定连接有直线导轨(18)，所述直线导轨(18)的内部设置有导轨滑块(19)。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体制造的辅助工装，其特征在于：所述导轨滑块(19)的外壁固定连接有连接件(20)，所述连接件(20)的内部中侧通过螺栓螺纹连接有清扫板(21)，所述清扫板(21)的底部设置有多个软毛。

5.根据权利要求2所述的一种用于半导体制造的辅助工装，其特征在于：所述工作台(1)的顶部后方两侧固定连接有保护壳(22)，所述丝杆(13)的底端转动连接在保护壳(22)的内部中侧底端。

6.根据权利要求2所述的一种用于半导体制造的辅助工装，其特征在于：两个所述支撑架(11)的顶端相近一侧通过安装板固定连接有光刻器(10)。

7.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造的辅助工装，其特征在于：所述放置体(5)的顶部中侧设置有便于半导体芯片光刻的开槽。

技术总结技术涉及半导体制造技术领域，公开了一种用于半导体制造的辅助工装，包括工作台，所述工作台的顶部中侧固定连接有定位座，所述定位座的顶端两侧设置有两个契合槽，所述契合槽的内部设置有契合柱，所述契合柱的顶端固定连接有放置体，所述放置体的前端内部开设有放置槽，所述放置体的内部两侧均等距固定连接有多个伸缩杆，所述伸缩杆的顶端固定连接有固定板，所述伸缩杆的外壁设置有弹簧。本技术中，通过工作台、定位座、契合槽、契合柱、放置体、伸缩杆、固定板、弹簧和放置槽的配合设置，能够将半导体芯片夹持住，较好的避免了芯片跑动，使得半导体芯片在刻纹中不易产生偏差。技术研发人员：王科峰,朱谨超,钟厅受保护的技术使用者：陕西晶奕芯原科技有限公司技术研发日：20230914技术公布日：2024/4/29