一种旋转样品台

本发明涉及试验器具，尤其是一种旋转样品台。

背景技术：

1、pvd是英文physicalvapordeposition(物理气相沉积)的缩写，物理气相沉积技术是指在真空条件下，采用物理方法，将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体或等离子体过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。

2、目前无论是实验型还是工业生产型的pvd镀膜设备，单一的旋转样品台无法满足多尺寸及复杂表面形貌工件的镀膜需求，并且难以对样品台的高度进行调试，对于不同高度工件镀膜时存在局限性，降低加工效率，因此，如何用一套旋转样品台同时能够满足一系列尺寸形貌各异工件的沉积镀膜成为制约本行业快速发展的瓶颈问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种旋转样品台，以解决上述背景技术中提出现有设备无法满足多尺寸及复杂表面形貌工件的镀膜需求的问题，提出一种旋转样品台。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种旋转样品台，包括样品台总成、支撑平台、驱动总成、旋转轴、调节总成和定位总成，所述旋转轴一端穿过支撑平台与驱动总成连接，旋转轴另一端与样品台总成连接，所述驱动总成固定在支撑平台的底部。

4、优选的，所述样品台总成包括中部旋转架、旋转台架、隔板、磁铁卡槽和磁铁，中部旋转架套设在旋转轴上通过法兰固定在其一端上，其中旋转台架设置有6个，且其分别一端对称通过螺栓固定在中部旋转架上，相邻的旋转台架之间安装有隔板，隔板通过螺栓固定在中部旋转架上。

5、优选的，所述磁铁卡槽分别通过粘接安装在旋转台架上，磁铁分别通过粘接安装在磁铁卡槽内，隔板、磁铁卡槽和磁铁分别与旋转台架个数相对应，分别设置有6个。

6、优选的，所述驱动总成包括驱动支架、同步带、驱动电机、角位移传感器、第一带轮、第二带轮，所述角位移传感器和同步带，驱动支架通过螺栓固定在支撑平台底部，驱动电机通过螺栓固定在驱动支架上。

7、优选的，所述第一带轮套设在驱动电机的主轴上，第二带轮套设在旋转轴另一端，第一带轮和第二带轮通过同步带传动连接，角位移传感器安装在旋转轴另一端，所述同步带为同步齿形带，第一带轮和第二带轮为同步带轮，驱动电机为步进电机。

8、优选的，所述调节总成包括支撑罩，所述支撑罩的底面固定连接有安装板，所述安装板的上表面固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定安装有调节丝杆，所述调节丝杆的外表面螺纹连接有螺纹环，所述螺纹环的外表面固定连接有调节罩，所述调节罩的上表面与样品台总成的底面固定连接，所述调节丝杆的顶端固定连接有限位板。

9、优选的，所述定位总成包括定位板，两个所述定位板的正面分别与两个调节总成的外表面固定连接，所述定位板的上表面开设有两个定位孔，所述样品台总成的底面固定连接有两个定位杆，两个所述定位杆的底端均贯穿定位孔并延伸至定位孔的下方，且定位杆的外表面与定位孔的内壁滑动连接。

10、优选的，所述样品台总成的底面开设有安装槽，所述安装槽的内壁固定安装有超声波测距传感器，所述超声波测距传感器位于定位总成的上方。

11、优选的，所述旋转台架，每个所述旋转台架可以放置硅片的基底。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

13、1、本装置一种旋转样品台采用环形设计，分为6个平行样品台，每个样品台可以放置不同材料的基底，如fto，金属，硅片等，以此来观测合成物在不同材料上的沉积效果，该样品台采用单台和摇摆功能设计，保证了样品的沉积均匀性，提升实验效率的同时又能进行平行实验保证了实验参数调节的可靠性，此外，样品台另设有可放置磁铁的卡槽，安装强磁铁为组装实验提供更多维度的调控，各样品接受台间利用挡板隔开，以防止喷雾实验过程中不同样品台间相互沉积带来的污染。

14、2、本装置利用超声波测距传感器可以对样品台总成与定位总成之间的距离进行检测，便于对样品台总成的高度微调距离进行检测以及了解，通过支撑罩和伺服电机的设置，能够使伺服电机带动调节丝杆进行旋转，并与螺纹环的配合，将会通过螺纹环带动调节罩上下移动，继而可以带动样品台总成进行升降微调，避免对于不同高度工件镀膜时存在局限性的问题，提高加工效率。

技术特征：

1.一种旋转样品台，其特征在于：包括样品台总成(100)、支撑平台(200)、驱动总成(300)、旋转轴(400)、调节总成(500)和定位总成(600)，所述旋转轴(400)一端穿过支撑平台(200)与驱动总成(300)连接，旋转轴(400)另一端与样品台总成(100)连接，所述驱动总成(300)固定在支撑平台(200)的底部。

2.根据权利要求1所述的一种旋转样品台，其特征在于：所述样品台总成(100)包括中部旋转架(101)、旋转台架(102)、隔板(103)、磁铁卡槽(104)和磁铁(105)，中部旋转架(101)套设在旋转轴(400)上通过法兰固定在其一端上，其中旋转台架(102)设置有6个，且其分别一端对称通过螺栓固定在中部旋转架(101)上，相邻的旋转台架(102)之间安装有隔板(103)，隔板(103)通过螺栓固定在中部旋转架(101)上。

3.根据权利要求2所述的一种旋转样品台，其特征在于：所述磁铁卡槽(104)分别通过粘接安装在旋转台架(102)上，磁铁(105)分别通过粘接安装在磁铁卡槽(104)内，隔板(103)、磁铁卡槽(104)和磁铁(105)分别与旋转台架(102)个数相对应，分别设置有6个。

4.根据权利要求1所述的一种旋转样品台，其特征在于：所述驱动总成(300)包括驱动支架(301)、同步带(302)、驱动电机(303)、角位移传感器(304)、第一带轮(305)、第二带轮(306)，所述角位移传感器(304)和同步带(302)，驱动支架(301)通过螺栓固定在支撑平台(200)底部，驱动电机(303)通过螺栓固定在驱动支架(301)上。

5.根据权利要求4所述的一种旋转样品台，其特征在于：所述第一带轮(305)套设在驱动电机(303)的主轴上，第二带轮(306)套设在旋转轴(400)另一端，第一带轮(305)和第二带轮(306)通过同步带(302)传动连接，角位移传感器(304)安装在旋转轴(400)另一端，所述同步带(302)为同步齿形带，第一带轮(305)和第二带轮(306)为同步带轮，驱动电机(303)为步进电机。

6.根据权利要求1所述的一种旋转样品台，其特征在于：所述调节总成(500)包括支撑罩(501)，所述支撑罩(501)的底面固定连接有安装板(503)，所述安装板(503)的上表面固定安装有伺服电机(504)，所述伺服电机(504)的输出端固定安装有调节丝杆(506)，所述调节丝杆(506)的外表面螺纹连接有螺纹环(505)，所述螺纹环(505)的外表面固定连接有调节罩(502)，所述调节罩(502)的上表面与样品台总成(100)的底面固定连接，所述调节丝杆(506)的顶端固定连接有限位板(507)。

7.根据权利要求1所述的一种旋转样品台，其特征在于：所述定位总成(600)包括定位板(601)，两个所述定位板(601)的正面分别与两个调节总成(500)的外表面固定连接，所述定位板(601)的上表面开设有两个定位孔(602)，所述样品台总成(100)的底面固定连接有两个定位杆(603)，两个所述定位杆(603)的底端均贯穿定位孔(602)并延伸至定位孔(602)的下方，且定位杆(603)的外表面与定位孔(602)的内壁滑动连接。

8.根据权利要求1所述的一种旋转样品台，其特征在于：所述样品台总成(100)的底面开设有安装槽(700)，所述安装槽(700)的内壁固定安装有超声波测距传感器(800)，所述超声波测距传感器(800)位于定位总成(600)的上方。

9.根据权利要求2所述的一种旋转样品台，其特征在于：所述旋转台架(102)，每个所述旋转台架(102)可以放置硅片的基底。

技术总结本发明公开了一种旋转样品台，包括样品台总成、支撑平台、驱动总成、旋转轴、调节总成和定位总成，所述旋转轴一端穿过支撑平台与驱动总成连接，旋转轴另一端与样品台总成连接。本装置通过采用环形设计，分为6个平行样品台，每个样品台可以放置不同材料的基底，如FTO，金属，硅片等，以此来观测合成物在不同材料上的沉积效果，该样品台采用单台和摇摆功能设计，保证了样品的沉积均匀性，提升实验效率的同时又能进行平行实验保证了实验参数调节的可靠性，此外，样品台另设有可放置磁铁的卡槽，安装强磁铁为组装实验提供更多维度的调控，各样品接受台间利用挡板隔开，以防止喷雾实验过程中不同样品台间相互沉积带来的污染。技术研发人员：吴小峰,张媛,黄科科,冯守华受保护的技术使用者：吉林大学技术研发日：技术公布日：2024/6/5