防水装置及包括该防水装置的倒角机的制作方法

本技术涉及加工设备，具体涉及一种防水装置及包括该防水装置的倒角机。

背景技术：

1、航空航天，光导纤维等多种领域中，半导体晶圆是非常重要的材料。在晶片的加工过程中，从晶锭切成晶片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起晶片报废，因此在磨片之前需要对晶片进行倒角。

2、半导体晶圆除了硅晶圆，还有碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆等，现有的倒角机一般包括磨削装置、承载装置、机械手和防水装置，机械手能够将待加工的晶圆转移至承载装置上，由承载装置带着晶圆朝向磨削装置移动，通过磨削装置对晶圆进行倒角磨削的过程中，承载装置带着晶圆旋转，防水装置安装在承载装置上，防止出现磨削液(一般为纯净水)渗漏的情况，现有承载装置的主轴除了需要水平移动外，还需要竖直移动，然而，现有的防水装置仅能够随着承载装置的主轴水平移动，导致防水装置与承载装置的主轴之间的密封效果不佳，易出现漏水的情况。

3、相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决现有防水装置的防水效果不佳的技术问题。

2、在第一方面，本申请提供了一种防水装置，所述防水装置包括固定构件、安装在所述固定构件的上表面的防护罩组件以及固定安装在所述防护罩组件上的防护筒，所述防护罩组件能够相对于所述固定构件沿水平方向移动，所述固定构件上设有第一通孔，所述第一通孔沿竖直方向贯穿所述固定构件，所述防护罩组件在与所述第一通孔对应的位置设有第二通孔，所述第二通孔沿竖直方向贯穿所述防护罩组件，所述防护筒沿竖直方向设置且能够沿竖直方向伸缩，所述防护筒的底端与所述第二通孔连通。

3、在上述防水装置的优选技术方案中，所述防护罩组件包括安装在所述固定构件上的基层水平防护罩以及安装在所述基层水平防护罩上方的顶层水平防护罩，所述顶层水平防护罩的横向尺寸小于所述基层水平防护罩的横向尺寸，

4、所述第二通孔包括设于所述基层水平防护罩上的基层通孔以及设于所述顶层水平防护罩上的顶层通孔，所述基层通孔沿竖直方向贯穿所述基层水平防护罩，所述顶层通孔沿竖直方向贯穿所述顶层水平防护罩，所述防护筒固定安装在所述顶层水平防护罩上且所述防护筒的底端与所述顶层通孔连通，

5、所述基层水平防护罩的上表面围绕所述基层通孔设有止挡结构，所述顶层水平防护罩能够相对于所述基层水平防护罩移动且在与所述止挡结构抵靠后能够带着所述基层水平防护罩水平移动。

6、在上述防水装置的优选技术方案中，所述止挡结构设置为环形。

7、在上述防水装置的优选技术方案中，所述止挡结构的顶面与所述顶层水平防护罩的下表面贴合。

8、在上述防水装置的优选技术方案中，所述基层水平防护罩的上表面沿所述基层通孔的边缘设有第一环形挡水结构；和/或

9、所述顶层水平防护罩的上表面沿所述顶层通孔的边缘设有第二环形挡水结构。

10、在上述防水装置的优选技术方案中，所述基层水平防护罩的数量为多个且沿竖直方向分层排布，位于上方的所述基层水平防护罩的横向尺寸小于位于其下方的所述基层水平防护罩的横向尺寸，

11、位于上方的所述基层水平防护罩能够相对于位于其下方的所述基层水平防护罩移动且在与位于其下方的所述基层水平防护罩上的所述止挡结构抵靠后能够带着位于其下方的所述基层水平防护罩水平移动。

12、在上述防水装置的优选技术方案中，所述基层水平防护罩包括水平设置的第一板状基体和竖直设置的第一环形防护板，所述第一环形防护板的顶端与所述第一板状基体固定连接或一体设置，所述第一环形防护板的底端与所述固定构件的上表面贴合，所述基层通孔设于所述第一板状基体；和/或

13、所述顶层水平防护罩包括水平设置的第二板状基体和竖直设置的第二环形防护板，所述第二环形防护板的顶端与所述第二板状基体固定连接或一体设置，所述第二环形防护板的底端与所述基层水平防护罩的上表面贴合，所述顶层通孔设于所述第二板状基体。

14、在上述防水装置的优选技术方案中，所述固定构件包括水平固定板和环状固定板，所述环状固定板竖直设置且所述环状固定板的顶端与所述水平固定板固定连接或一体设置，所述第一通孔设于所述水平固定板，所述防护罩组件安装在所述水平固定板的上表面。

15、在上述防水装置的优选技术方案中，所述环状固定板的底端边缘设有向外延伸的导水板，所述导水板上设有排水孔且所述导水板朝向所述排水孔倾斜设置。

16、在第二方面，本申请还提供了一种倒角机，所述倒角机包括上述技术方案所述的防水装置。

17、在采用上述技术方案的情况下，本实用新型的防水装置通过在防护罩组件上设置防护筒，防护筒能够套在主轴上且能够随着主轴的升降进行伸缩，这样一来，便可以将防护筒的顶端与主轴固定连接，便于提高防护筒与主轴之间的密封效果，从而提高防水装置的防水效果。

18、进一步地，本实用新型的防水装置通过将止挡结构设置为环形，使得止挡结构还能够起到挡水的作用，进一步提高防水装置的防水效果。

19、又进一步地，本实用新型的防水装置通过使止挡结构的顶面与顶层水平防护罩的下表面贴合，能够起到更好的挡水作用。

20、又进一步地，本实用新型的防水装置通过沿竖直方向设置多层基层水平防护罩，使得防护罩组件的移动范围更大。

21、又进一步地，本实用新型的防水装置通过在基层水平防护罩的上表面围绕基层通孔设置一圈环形挡水结构，如果基层水平防护罩的上表面有水渗入，第一环形挡水结构能够防止水流入基层通孔内。

22、又进一步地，本实用新型的防水装置通过在顶层水平防护罩的上表面围绕顶层通孔设置一圈环形挡水结构，能够防止顶层水平防护罩的上表面的水流入顶层通孔内。

23、又进一步地，本实用新型的防水装置通过设置导水板并使导水板朝向排水孔倾斜设置，便于尽快将水排出。

技术特征：

1.一种防水装置，其特征在于，所述防水装置包括固定构件、安装在所述固定构件的上表面的防护罩组件以及固定安装在所述防护罩组件上的防护筒，所述防护罩组件能够相对于所述固定构件沿水平方向移动，所述固定构件上设有第一通孔，所述第一通孔沿竖直方向贯穿所述固定构件，所述防护罩组件在与所述第一通孔对应的位置设有第二通孔，所述第二通孔沿竖直方向贯穿所述防护罩组件，所述防护筒沿竖直方向设置且能够沿竖直方向伸缩，所述防护筒的底端与所述第二通孔连通。

2.根据权利要求1所述的防水装置，其特征在于，所述防护罩组件包括安装在所述固定构件上的基层水平防护罩以及安装在所述基层水平防护罩上方的顶层水平防护罩，所述顶层水平防护罩的横向尺寸小于所述基层水平防护罩的横向尺寸，

3.根据权利要求2所述的防水装置，其特征在于，所述止挡结构设置为环形。

4.根据权利要求3所述的防水装置，其特征在于，所述止挡结构的顶面与所述顶层水平防护罩的下表面贴合。

5.根据权利要求2所述的防水装置，其特征在于，所述基层水平防护罩的上表面沿所述基层通孔的边缘设有第一环形挡水结构；和/或

6.根据权利要求2所述的防水装置，其特征在于，所述基层水平防护罩的数量为多个且沿竖直方向分层排布，位于上方的所述基层水平防护罩的横向尺寸小于位于其下方的所述基层水平防护罩的横向尺寸，

7.根据权利要求2所述的防水装置，其特征在于，所述基层水平防护罩包括水平设置的第一板状基体和竖直设置的第一环形防护板，所述第一环形防护板的顶端与所述第一板状基体固定连接或一体设置，所述第一环形防护板的底端与所述固定构件的上表面贴合，所述基层通孔设于所述第一板状基体；和/或

8.根据权利要求1至7中任一项所述的防水装置，其特征在于，所述固定构件包括水平固定板和环状固定板，所述环状固定板竖直设置且所述环状固定板的顶端与所述水平固定板固定连接或一体设置，所述第一通孔设于所述水平固定板，所述防护罩组件安装在所述水平固定板的上表面。

9.根据权利要求8所述的防水装置，其特征在于，所述环状固定板的底端边缘设有向外延伸的导水板，所述导水板上设有排水孔且所述导水板朝向所述排水孔倾斜设置。

10.一种倒角机，其特征在于，所述倒角机包括权利要求1至9中任一项所述的防水装置。

技术总结本技术涉及加工设备技术领域，具体涉及一种防水装置及包括该防水装置的倒角机。本申请旨在解决现有防水装置的防水效果不佳的问题。为此，本申请的防水装置包括固定构件、防护罩组件及防护筒，防护罩组件能够相对于固定构件沿水平方向移动，固定构件上设有第一通孔，防护罩组件在与第一通孔对应的位置设有第二通孔，防护筒沿竖直方向设置且能够沿竖直方向伸缩，防护筒的底端与第二通孔连通。通过在防护罩组件上设置防护筒，防护筒能够套在主轴上且能够随着主轴的升降伸缩，这样一来，便可以将防护筒的顶端与主轴固定连接，便于提高防护筒与主轴之间的密封效果。技术研发人员：牛银星,宋玉玮,张笑笑受保护的技术使用者：青岛高测科技股份有限公司技术研发日：20231010技术公布日：2024/6/5