一种石英坩埚表面打磨设备的制作方法

本技术属于石英坩埚设备，涉及一种石英坩埚表面打磨设备。

背景技术：

1、石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛，石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚，它具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

2、如授权公告号为cn114178948b一种石英坩埚打磨设备，包括传输装置、石英坩埚主体，传输装置由传输部件和动力装置组成，动力装置带动传输部件进行移动；传输装置的传输部件上形成有多组限位口，且石英坩埚主体放置在限位口内通过传输装置进行传输，传输装置的传输部件两侧还形成有外凸的抵压凸块；传输装置下部设置有支撑台，且支撑台上还固定有一个限位套，限位套与限位口直径相等；支撑台两侧处均设置有抵压条，抵压条是通过以连接架为圆心在支撑台上进行转动，并且抵压条的上端部可与抵压凸块摩擦碰触。通过设计有抵压条、夹持机构，从而可通过传输装置中的动力自动对其下落的石英坩埚主体进行夹持，并随后通过打磨机构对其石英坩埚主体进行打磨。

3、但在上诉方案中，打磨机构只能够对石英坩埚的底部以及侧壁进行打磨，而无法对石英坩埚底部的圆弧面进行打磨，因此，本领域技术人员提供了一种石英坩埚打磨设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种石英坩埚表面打磨设备。

2、本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种石英坩埚表面打磨设备，包括打磨箱，所述的打磨箱内设置有用于放置石英坩埚的放置板，所述的打磨箱内设置有用于驱动放置板旋转的转动组件，所述的打磨箱内腔的顶部还设置有打磨组件，所述的打磨组件包括安装板、用于驱动安装板竖直移动的竖直驱动组件、用于驱动安装板水平移动的水平驱动组件、转动连接于安装板的安装块、设置在安装块上的流石以及用于调节流石倾斜角度的调节组件。

3、在上述的一种石英坩埚表面打磨设备中，所述的水平驱动组件包括设置在打磨箱顶部的水平驱动气缸，所述的水平驱动气缸的输出端设置有水平滑动块。驱动水平驱动气缸用于调节安装块上流石的水平方向上的位置。

4、在上述的一种石英坩埚表面打磨设备中，所述的竖直驱动组件包括设置在水平滑动块底部的竖直驱动气缸，所述的安装板设置在竖直驱动气缸的输出端。驱动竖直驱动气缸用于调节安装块上流石的竖直方向上的位置

5、在上述的一种石英坩埚表面打磨设备中，所述的调节组件包括设置在安装板一侧的驱动电机，所述的驱动电机的输出端与安装块相连接。工作人员能够石英坩埚尺寸的不同，启动驱动电机，通过驱动电机调节安装板的倾斜角度，从而调节安装块上流石的倾斜角度，使流石与石英坩埚的圆弧面达到最大接触面积，从而提高流石对石英坩埚表面浮砂的清除效率。

6、在上述的一种石英坩埚表面打磨设备中，所述的转动组件包括设置在打磨箱中部的固定板，所述的固定板上设置有旋转电机，所述的旋转电机的输出端与放置板相连接。当流石与石英坩埚的圆弧面相接触时，启动旋转电机，旋转电机的输出端转动带动放置板转动，从而实现流石对石英坩埚的圆弧面360°打磨。

7、在上述的一种石英坩埚表面打磨设备中，所述的固定板与打磨箱内腔的底部形成储水室，所述的固定板的两侧与打磨箱两侧的内壁设有落水孔，所述的固定板呈中部朝两侧倾斜向下设置。落水孔的设置能够使喷头喷出的水从落水孔重新流至储水室内，从而实现水资源的重复利用；同时由于石英坩埚在打磨过程中处于旋转的状态，喷头喷出的水在触碰至石英坩埚后能够通过离心力朝两侧甩开，固定板呈中部朝两侧倾斜向下设置能够使落入固定板上的水能够自动流入储水室内，从而起到对固定板上旋转电机的防护；其中，储水室的一侧设置有换水口，当储水箱内的水在使用一段时间后，其内部的浮砂会增多，则需要工作人员通过工具对储水室内的水进行更换。

8、在上述的一种石英坩埚表面打磨设备中，所述的安装板的一侧还设置有清洗组件，所述的清洗组件包括设置在储水室内的抽水泵以及设置在固定板的一侧的喷头，所述的喷头与抽水泵之间通过输水管连接。抽水泵能够将储水室内的水通过输送管泵送至喷头内喷出，从而使流石在对石英坩埚的圆弧面进行打磨时起到降温作用，同时能够将从石英坩埚打磨下来的浮砂进行冲洗，避免其附着在石英坩埚的表面上。

9、在上述的一种石英坩埚表面打磨设备中，所述的打磨箱的顶部开设有可供水平滑动块滑动的滑槽。

10、在上述的一种石英坩埚表面打磨设备中，所述的水平滑动块的两侧均设置有第一防水罩，所述的第一防水罩的另一端与打磨箱的内壁相连接，所述的水平滑动块与安装板之间设置有第二防水罩。水平驱动气缸位于第一防水罩内，竖直驱动气缸位于第二防水罩内，第一防水罩与第二防水罩能够分别对水平驱动气缸和竖直驱动气缸起到防水作用，从而避免水平驱动气缸和竖直驱动气缸进水影响水平驱动气缸和竖直驱动气缸的使用，提高水平驱动气缸和竖直驱动气缸的使用寿命。

11、与现有技术相比，本实用新型通过设置竖直驱动组件、水平驱动组件以及调节组件，使工作人员能够给根据不同尺寸的石英坩埚对流石的位置进行调节，使流石在对石英坩埚的圆弧面进行打磨过程中始终与石英坩埚相接触，从而提高打磨效率。

技术特征：

1.一种石英坩埚表面打磨设备，包括打磨箱(1)，其特征在于，所述的打磨箱(1)内设置有用于放置石英坩埚的放置板(2)，所述的打磨箱(1)内设置有用于驱动放置板(2)旋转的转动组件(3)，所述的打磨箱(1)内腔的顶部还设置有打磨组件(4)，所述的打磨组件(4)包括安装板(41)、用于驱动安装板(41)竖直移动的竖直驱动组件(42)、用于驱动安装板(41)水平移动的水平驱动组件(43)、转动连接于安装板(41)的安装块(44)、设置在安装块(44)上的流石(45)以及用于调节流石(45)倾斜角度的调节组件(46)。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面打磨设备，其特征在于：所述的水平驱动组件(43)包括设置在打磨箱(1)顶部的水平驱动气缸(431)，所述的水平驱动气缸(431)的输出端设置有水平滑动块(432)。

3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚表面打磨设备，其特征在于：所述的竖直驱动组件(42)包括设置在水平滑动块(432)底部的竖直驱动气缸，所述的安装板(41)设置在竖直驱动气缸的输出端。

4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面打磨设备，其特征在于：所述的调节组件(46)包括设置在安装板(41)一侧的驱动电机，所述的驱动电机的输出端与安装块(44)相连接。

5.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面打磨设备，其特征在于：所述的转动组件(3)包括设置在打磨箱(1)中部的固定板(31)，所述的固定板(31)上设置有旋转电机(32)，所述的旋转电机(32)的输出端与放置板(2)相连接。

6.根据权利要求5所述的一种石英坩埚表面打磨设备，其特征在于：所述的固定板(31)与打磨箱(1)内腔的底部形成储水室(5)，所述的固定板(31)的两侧与打磨箱(1)两侧的内壁设有落水孔，所述的固定板(31)呈中部朝两侧倾斜向下设置。

7.根据权利要求6所述的一种石英坩埚表面打磨设备，其特征在于：所述的安装板(41)的一侧还设置有清洗组件(7)，所述的清洗组件(7)包括设置在储水室(5)内的抽水泵(71)以及设置在固定板(31)的一侧的喷头(72)，所述的喷头(72)与抽水泵(71)之间通过输水管连接。

8.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面打磨设备，其特征在于：所述的打磨箱(1)的顶部开设有可供水平滑动块(432)滑动的滑槽(10)。

技术总结本技术涉及一种石英坩埚表面打磨设备，包括打磨箱，所述的打磨箱内设置有用于放置石英坩埚的放置板，所述的打磨箱内设置有用于驱动放置板旋转的转动组件，所述的打磨箱内腔的顶部还设置有打磨组件，所述的打磨组件包括安装板、用于驱动安装板竖直移动的竖直驱动组件、用于驱动安装板水平移动的水平驱动组件、转动连接于安装板的安装块、设置在安装块上的流石以及用于调节流石倾斜角度的调节组件，本技术通过设置竖直驱动组件、水平驱动组件以及调节组件，使工作人员能够给根据不同尺寸的石英坩埚对流石的位置进行调节，使流石在对石英坩埚的圆弧面进行打磨过程中始终与石英坩埚相接触，从而提高打磨效率。技术研发人员：陶飞,周勇,吴伟华,毛炳全受保护的技术使用者：浙江美晶新材料股份有限公司技术研发日：20231023技术公布日：2024/6/11