一种用于石墨舟的隔离环、石墨舟以及PECVD设备的制作方法

本技术涉及太阳能光伏，特别涉及一种用于石墨舟的隔离环、石墨舟以及pecvd设备。

背景技术：

1、等离子体增强化学气相沉积(pecvd)是在沉积室利用辉光放电使其电离后在衬底上进行化学反应沉积的半导体薄膜材料制备和其他材料薄膜的制备方法。pecvd设备可用于在硅片表面沉积一层或多层起钝化、减反射作用的均匀介质膜，pecvd设备中使用石墨舟作为承载硅片的载体。

2、现有技术中，石墨舟通常使用陶瓷杆作为支架，陶瓷杆上需加装陶瓷环来实现电绝缘，使石墨舟相邻正负极板间绝缘隔离。当工艺气体在pecvd设备的沉积室内从一侧流到另一侧的过程中，陶瓷环对工艺气体的流动有一定的阻挡作用，工艺气体流过陶瓷环后会在陶瓷环后端形成扰流，对距离陶瓷环较近位置的硅片上镀膜均匀性产生一定影响，进而影响硅片上镀膜质量。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型旨在提出一种用于石墨舟的隔离环、石墨舟以及pecvd设备，以解决现有的陶瓷环对工艺气体的流动有一定的阻挡作用，工艺气体流过陶瓷环后会在陶瓷环后端形成扰流，对距离陶瓷环较近位置的硅片上镀膜均匀性产生一定影响，进而影响硅片上镀膜质量的问题。

2、为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

3、第一方面，本实用新型实施例提供一种用于石墨舟的隔离环，该隔离环，包括隔离环本体；垂直于所述隔离环本体的厚度方向做截面，所述隔离环本体的外轮廓为曲线，且所述隔离环本体在第一方向的长度大于所述隔离环本体在第二方向的宽度；其中，所述第一方向和所述第二方向垂直，所述隔离环在使用的情况下，所述第一方向平行于工艺气体的流动方向。

4、可选的，垂直于所述隔离环本体的厚度方向做截面，所述隔离环本体具有第一对称轴，所述第一对称轴与所述第一方向平行，所述第一对称轴一侧的所述外轮廓和所述第一对称轴另一侧的所述外轮廓对称设置。

5、可选的，所述隔离环本体呈椭圆柱状结构。

6、可选的，所述隔离环本体呈水滴柱状结构，所述水滴柱状结构的大端用于面向所述工艺气体的来向。

7、可选的，垂直于所述隔离环本体的厚度方向做截面，所述隔离环本体在所述第一方向的两端的外轮廓均为弧形结构，且所述隔离环本体在所述第一方向的一端大于所述隔离环本体在所述第一方向的另一端，所述隔离环本体在所述第一方向的一端用于面向所述工艺气体的来向。

8、可选的，所述隔离环本体还包括安装孔，所述安装孔的轴线与所述隔离环本体的厚度方向平行。

9、可选的，所述隔离环本体设有隔离凹槽，所述隔离凹槽的槽口位于所述隔离环本体的侧壁，所述隔离凹槽的槽底位于所述隔离环本体内部；所述隔离环在使用的情况下，所述隔离凹槽的至少部分与所述工艺气体隔离。

10、可选的，所述隔离凹槽包括第一槽部和第二槽部，所述第一槽部与所述隔离环本体的厚度方向平行，所述第一槽部的开口端与所述第二槽部的一端连接，所述第二槽部的另一端位于所述隔离环本体的侧壁。

11、可选的，所述隔离环为陶瓷材料件。

12、第二方面，本实用新型实施例还提供一种石墨舟，石墨舟包括连接杆、多个石墨舟片和多个如上述的用于石墨舟的隔离环；多个所述石墨舟相间隔布置且通过所述连接杆连接；所述隔离环与所述连接杆连接，且位于与正极连接的所述石墨舟片和与负极连接的所述石墨舟片之间。

13、第三方面，本实用新型实施例还提供一种pecvd设备，该pecvd设备包括设备主体和如上述的石墨舟；所述设备主体设有沉积室，所述石墨舟设于所述沉积室内。

14、本实用新型公开了一种用于石墨舟的隔离环中，垂直于隔离环本体的厚度方向做截面，隔离环本体的外轮廓为曲线，且隔离环本体在第一方向的长度大于隔离环本体在第二方向的宽度。隔离环在使用的情况下，第一方向平行于工艺气体的流动方向，工艺气体流向隔离环本体位于第一方向的一端，并继续流经隔离环本体，工艺气体在流经隔离环本体位于第一方向的另一端时，会在隔离环本体位于第一方向的另一端处形成近似的真空部位；由于隔离环本体在第一方向的长度大于隔离环本体在第二方向的宽度，且隔离环本体的外轮廓为曲线，可以减小该真空部位的体积，从而减小真空部位附近的工艺气体流向该真空部位形成的扰流。也即，本申请实施例的用于石墨舟的隔离环可以减小隔离环本体对工艺气体流动的阻挡作用，从而减小工艺气体流过隔离环本体后在隔离环本体后端形成的扰流，进而提高距离隔离环本体较近位置的硅片的镀膜均匀性，提高硅片的镀膜质量。

15、上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本实用新型的具体实施方式。

技术特征：

1.一种用于石墨舟的隔离环，其特征在于，包括隔离环本体(10)；垂直于所述隔离环本体(10)的厚度方向做截面，所述隔离环本体(10)的外轮廓为曲线，且所述隔离环本体(10)在第一方向的长度大于所述隔离环本体(10)在第二方向的宽度；

2.根据权利要求1所述的用于石墨舟的隔离环，其特征在于，垂直于所述隔离环本体(10)的厚度方向做截面，所述隔离环本体(10)具有第一对称轴(11)，所述第一对称轴(11)与所述第一方向平行，所述第一对称轴(11)一侧的所述外轮廓和所述第一对称轴(11)另一侧的所述外轮廓对称设置。

3.根据权利要求2所述的用于石墨舟的隔离环，其特征在于，所述隔离环本体(10)呈椭圆柱状结构。

4.根据权利要求2所述的用于石墨舟的隔离环，其特征在于，所述隔离环本体(10)呈水滴柱状结构，所述水滴柱状结构的大端用于面向所述工艺气体的来向。

5.根据权利要求2所述的用于石墨舟的隔离环，其特征在于，垂直于所述隔离环本体(10)的厚度方向做截面，所述隔离环本体(10)在所述第一方向的两端的外轮廓均为弧形结构，且所述隔离环本体(10)在所述第一方向的一端大于所述隔离环本体(10)在所述第一方向的另一端，所述隔离环本体(10)在所述第一方向的一端用于面向所述工艺气体的来向。

6.根据权利要求1所述的用于石墨舟的隔离环，其特征在于，所述隔离环本体(10)还包括安装孔(12)，所述安装孔(12)的轴线与所述隔离环本体(10)的厚度方向平行。

7.根据权利要求1所述的用于石墨舟的隔离环，其特征在于，所述隔离环本体(10)设有隔离凹槽(13)，所述隔离凹槽(13)的槽口位于所述隔离环本体(10)的侧壁，所述隔离凹槽(13)的槽底位于所述隔离环本体(10)内部；

8.根据权利要求7所述的用于石墨舟的隔离环，其特征在于，所述隔离凹槽(13)包括第一槽部(14)和第二槽部(15)，所述第一槽部(14)与所述隔离环本体(10)的厚度方向平行，所述第一槽部(14)的开口端与所述第二槽部(15)的一端连接，所述第二槽部(15)的另一端位于所述隔离环本体(10)的侧壁。

9.根据权利要求1所述的用于石墨舟的隔离环，其特征在于，所述隔离环(40)为陶瓷材料件。

10.一种石墨舟，其特征在于，包括连接杆(20)、多个石墨舟片(30)和多个如权利要求1至9任一项所述的用于石墨舟的隔离环；

11.一种pecvd设备，其特征在于，包括设备主体和如权利要求10所述的石墨舟；所述设备主体设有沉积室，所述石墨舟设于所述沉积室内。

技术总结本技术涉及太阳能光伏技术领域，特别涉及一种用于石墨舟的隔离环、石墨舟以及PECVD设备。隔离环，包括隔离环本体；垂直于隔离环本体的厚度方向做截面，隔离环本体的外轮廓为曲线，且隔离环本体在第一方向的长度大于隔离环本体在第二方向的宽度；其中，第一方向和第二方向垂直，隔离环在使用的情况下，第一方向平行于工艺气体的流动方向。石墨舟的隔离环可以减小隔离环本体对工艺气体流动的阻挡作用，从而减小工艺气体流过隔离环本体后在隔离环本体后端形成的扰流，进而提高距离隔离环本体较近位置的硅片的镀膜均匀性，提高硅片的镀膜质量。技术研发人员：刘庆平,丁超,董广斌,童洪波受保护的技术使用者：泰州隆基乐叶光伏科技有限公司技术研发日：20230915技术公布日：2024/6/11