一种用于旋转型蒸发源的冷却装置的制作方法

本技术属于蒸镀设备，尤其涉及一种用于旋转型蒸发源的冷却装置。

背景技术：

1、真空蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料并使之气化，粒子飞至基板表面凝聚成膜的方法。蒸发源为蒸镀机的主要组成部分，其中，配备多个坩埚，通过旋转驱动机构驱动而旋转，从而使坩埚移动到所需要的位置的蒸发源称为旋转型蒸发源。

2、但是其中单个蒸发源在高温环境下蒸镀时，非接触零部件之间通过热传递导致温度升高，零件表面吸附的材料将再次脱附，可能会沉积到基片上，影响镀膜质量；同时，还未升温工作的蒸镀源还会受其温度影响，材料蒸发沉积至挡板上，造成材料浪费；此外，当蒸发源内蒸镀材料消耗完毕或发生故障时需要降温开腔，若降温时间过长，会延长维护周期，降低产能。因此在使用旋转型蒸发源时，需要配备相应的适用于旋转型蒸发源的冷却装置。

3、现有技术cn201811070879.1提供的一种蒸发源装置，该蒸发源具备冷却液室，设置在遮热构造体内部，可供冷却液流动，提高冷却效率，但是该装置适用在单个蒸发源装置，无法适用在旋转型蒸发源上，并且该冷却液室是一端进水、一端出水，进水端温度低，出水端温度高，导致蒸发源装置温度不均匀，无法降低上下温差使蒸发源整体温度均衡，难以提升对蒸发源的冷却效果。

4、虽然现有技术cn202211555272.9提供的一种蒸发源装置，包含旋转台和蒸发源单元，单元与单元之间通过分隔板隔离，每个单元上方设有遮挡件，该装置能够保持长时间蒸镀并能够承接冷却阶段掉落的材料，但是仍然存在无法降低上下温差使蒸发源整体温度均衡，难以提升对蒸发源的冷却效果。

技术实现思路

1、本实用新型实施例的目的在于提供一种适用于旋转型蒸发源的冷却装置，旨在解决现有冷却装置冷却不均匀、蒸镀的蒸发源会传热给附近的蒸发源且不适用于旋转型蒸发源的问题。

2、本实用新型实施例是这样实现的，一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，包括用于承载旋转型蒸发源连接旋转台的底座、设置于所述底座上的第一固定座与第二固定座，所述第一固定座与所述第二固定座上均开设有用于放置坩埚的冷却槽，所述第一固定座与所述第二固定座上均盘绕设置有第一管段与第二管段，所述第一管段与所述第二管段均由下至上交替盘绕设置于所述第一固定座与所述第二固定座上，所述第一管段与所述第二管段之间通过弯折部相连接，所述第一固定座上的第一管段与冷却液进水端相连接，所述第一固定座上的第二管段与所述第二固定座上的第一管段通过冷却接管相连接，所述第二固定座上的第二管段与冷却液出水端相连接。

3、进一步的是，所述冷却液进水端的末端设有进水管接头，所述冷却液出水端的末端设有出水管接头，所述底座上开设有穿孔，所述穿孔内设置有用于将冷却液进水端与进水管接头相连接的进水管路，所述穿孔内设置有用于将冷却液出水端与出水管接头相连接的出水管路，所述进水管接头和出水管接头设于远离第一固定座与第二固定座的位置。

4、进一步的是，所述第一管段和第二管段为金属管，所述进水管路、出水管路和冷却接管为金属软管。

5、进一步的是，所述的进水管路上设有流量开关。

6、进一步的是，所述第一固定座和第二固定座是焊接于底座上的圆筒座。

7、进一步的是，所述底座包括底盘和支撑轴，所述支撑轴通过第一螺栓均布安装于底盘下方，所述底盘用于承载第一固定座、第二固定座和旋转型蒸发源连接的旋转台。

8、进一步的是，所述第一固定座与所述第二固定座上可拆卸有至少两个反射板，所述两个反射板之间留有0.5～2mm的间隙。

9、进一步的是，所述反射板下端固定设置有底板，所述底板为圆环形状，所述底板与底盘之间通过第二螺栓相连接。

10、进一步的是，所述反射板为金属钛或金属钽或金属钼板。

11、进一步的是，所述两个反射板之间留有0.5～2mm的间隙。

12、本实用新型实施例提供的一种适用于旋转型蒸发源的冷却装置，带来的有益效果是：

13、在需要对第一固定座上位于冷却槽内的坩埚进行冷却时，旋转台驱动底座转动以带动第一固定座移动至需要的位置，冷却液从进水管路进入第一管段中自下而上沿着环绕在固定座外壁上进行冷却，接着升温的冷却液在固定座顶端折弯部处折返进入螺旋盘绕在固定座上的第二管段，自上而下流动的冷却液继续对固定座外壁进行冷却，从而第一管段和第二管段内两种温度的冷却液交替对固定座外壁进行冷却；在需要对第二固定座上位于冷却槽内的坩埚进行冷却时，旋转台驱动底座转动以带动第二固定座移动至需要的位置，此时由于第一固定座未产生热量，冷却液经过第一固定座后进入第二固定座的第一管段中，通过相同的冷却方式对固定座外壁进行冷却。从而降低上下温差使蒸发源整体温度均衡，可提升对蒸发源的冷却效果。

14、进一步的效果是：由于第一管段和第二管段采用的是导热性能强的材料，冷却管之间也会进行热传导，进一步使得冷却槽内的蒸发源温度均匀，提高冷却效果。

15、进一步的效果是：冷却液从冷却液进水管路进入到第一固定座上的第一管段内再流入到第一固定座上的第二管段内后，通过连接接管流入到第二固定座上的第一管段内，以此类推，再流入到第二固定座的第二管段内，而后通过连接在第二固定座上的第二管段的出水接口，流入冷却装置，因此固定座之间形成冷却液流动通道，当冷凝液对其中的一个蒸发源进行冷却时，在各冷却单元流动的冷却液同时也对其他蒸发源进行冷却，避免位于正在蒸镀的蒸发源附近的坩埚内材料也受热蒸发。冷却管的包裹同时对各蒸发源起到隔离隔热作用，又实现各单元蒸发源冷却液互通。

技术特征：

1.一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：包括用于承载旋转型蒸发源连接旋转台的底座、设置于所述底座上的第一固定座与第二固定座，所述第一固定座与所述第二固定座上均开设有用于放置坩埚的冷却槽，所述第一固定座与所述第二固定座上均盘绕设置有第一管段与第二管段，所述第一管段与所述第二管段均由下至上交替盘绕设置于所述第一固定座与所述第二固定座上，所述第一管段与所述第二管段之间通过弯折部相连接，所述第一固定座上的第一管段与冷却液进水端相连接，所述第一固定座上的第二管段与所述第二固定座上的第一管段通过冷却接管相连接，所述第二固定座上的第二管段与冷却液出水端相连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述冷却液进水端的末端设有进水管接头，所述冷却液出水端的末端设有出水管接头，所述底座上开设有穿孔，所述穿孔内设置有用于将冷却液进水端与进水管接头相连接的进水管路，所述穿孔内设置有用于将冷却液出水端与出水管接头相连接的出水管路，所述进水管接头和出水管接头设于远离第一固定座与第二固定座的位置。

3.根据权利要求2所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述第一管段和第二管段为金属管，所述进水管路、出水管路和冷却接管为金属软管。

4.根据权利要求3所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述的进水管路上设有流量开关。

5.根据权利要求1所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述第一固定座和第二固定座是焊接于底座上的圆筒座。

6.根据权利要求1所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述底座包括底盘和支撑轴，所述支撑轴通过第一螺栓均布安装于底盘下方，所述底盘用于承载第一固定座、第二固定座和旋转型蒸发源连接的旋转台。

7.根据权利要求1所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述第一固定座与所述第二固定座上可拆卸有至少两个反射板，所述两个反射板之间留有0.5～2mm的间隙。

8.根据权利要求7所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述反射板下端固定设置有底板，所述底板为圆环形状，所述底板与底盘之间通过第二螺栓相连接。

9.根据权利要求7所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述反射板为金属钛或金属钽或金属钼板。

技术总结本技术适用于蒸镀设备技术领域，提供了一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，包括用于承载旋转型蒸发源连接旋转台的底座、与底座连接的冷却组件，所述冷却组件包含有底座上的至少两个的固定座，以及盘绕在固定座上的第一管段和第二管段，冷却液从冷却管进水端进入第一管段中自下而上沿着环绕在固定座外壁上进行冷却，接着升温的冷却液在固定座顶端折弯处折返进入螺旋盘绕在固定座上的第二管段，自上而下流动的冷却液继续对固定座外壁进行冷却，从而第一管段和第二管段内两种温度的冷却液交替对固定座外壁进行冷却，因此固定座上的温度基本为上下均匀的冷却温度，使得冷却槽内的蒸发源上下温度均衡。技术研发人员：曹景博,刘权受保护的技术使用者：合肥欣奕华智能机器股份有限公司技术研发日：20231017技术公布日：2024/6/11