技术新讯 > 金属材料,冶金,铸造,磨削,抛光设备的制造及处理,应用技术 > 真空镀膜机的热蒸发机构的制作方法  >  正文

真空镀膜机的热蒸发机构的制作方法

  • 国知局
  • 2024-06-20 15:10:37

本技术涉及热蒸发机构,更具体地说是真空镀膜机的热蒸发机构。

背景技术:

1、真空镀膜腔的底部并列设置有多个热蒸发单元,每个热蒸发单元的正极和负极会夹持一个蒸发舟。当镀膜腔被抽真空,且正负极通电后,蒸发舟发热,随着金属丝进给并解除蒸发舟后,金属丝蒸发并凝结于基体表面而形成薄膜。

2、如公开号为cn217127519u的中国专利文件中,包括正极单元、负极单元以及蒸发舟;正极单元设有多个,各正极单元平行且间隔设置;设定各正极单元的间隔方向为第一方向,与第一方向垂直的水平方向为第二方向;每个正极单元上均具有第一搭接平台;负极单元上具有第二搭接平台,第二搭接平台沿着第一方向设置,且沿着第二方向与各第一搭接平台间隔设置;蒸发舟设有多个,各蒸发舟与各正极单元一一对应设置,每个蒸发舟均位于在对应的正极单元及负极单元之间,且两端分别搭设在对应的第一搭接平台及第二搭接平台上。该技术方案提供的用于真空镀膜机的热蒸发机构可在一定程度上提高蒸发舟更换的效率,降低劳动力,其结构简单,实用性强。

3、但是,上述技术方案中正极单元上的多个套管处于未被支撑和分散的状况,由此导致套管会因稳定性不足和受力不均衡而出现扭曲倾塌的情况,由此会影响该技术方案的使用效果。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷,本实用新型提供真空镀膜机的热蒸发机构,通过支撑板上多个卡座和多个固定页的设置,可以对蒸发组件进行支撑固定,避免蒸发组件出现稳定性不足、受力不均衡而扭曲倾塌的情况,又因固定页与卡座之间通过铰链进行连接,使得工作人员可以翻转固定页对单个套管进行检修维护,避免对整体进行拆卸,提高检修维护和更换的便捷性,以解决上述背景技术中出现的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:真空镀膜机的热蒸发机构,包括安装于真空镀膜机上的热蒸发组件;

3、所述热蒸发组件外部设有用于增强稳定性的支撑组件;

4、所述支撑组件包括支撑板,所述支撑板设于热蒸发组件底部,所述支撑板顶部安装有多个卡座,所述卡座顶部设有固定页,所述固定页与卡座之间设有两个间隔分布的铰链,所述固定页与卡座通过两个铰链活动连接。

5、在一个优选地实施方式中,所述热蒸发组件包括负极单元,所述负极单元设于支撑板前侧,所述负极单元后侧设有正极单元,所述正极单元顶部安装有多个蒸发舟,所述蒸发舟后端设有连接端头,所述连接端头后侧安装有滑筒,所述滑筒后端外部套设有套管,所述连接端头前端安装有搭接平台,所述搭接平台顶部与蒸发舟相连接,所述套管设于卡座和固定页之间,正极单元分别设置搭接平台,可保证各蒸发舟的搭设,进而防止蒸发舟因热变形而发生掉落,而且可保证蒸发舟的使用寿命。

6、在一个优选地实施方式中,所述固定页远离两个铰链的一端顶部设有两个固定螺栓,两个固定螺栓关于固定页中心轴线对称分布,所述固定页靠近固定螺栓的一侧开设有固定孔,所述固定螺栓底端贯穿固定孔并延伸至卡座内部,所述固定螺栓与卡座螺纹连接,通过固定螺栓与卡座的连接,可以增强固定页与卡座之间的连接强度,避免固定页脱离卡座,保障固定页的稳定性。

7、在一个优选地实施方式中,所述支撑板两端顶部均设有两个间隔分布的紧固螺栓,所述支撑板靠近紧固螺栓的一侧开设有支撑孔,所述紧固螺栓底端贯穿支撑孔并延伸至支撑板底部,通过紧固螺栓的设置,便于对支撑板进行安装固定,保障支撑板上卡座和固定页的稳定性。

8、在一个优选地实施方式中,所述支撑板底部设有磨砂片,所述磨砂片顶部与支撑板底部相连接,所述磨砂片套设于紧固螺栓外部,通过磨砂片的设置,可以增强支撑板与设备之间的摩擦力,保障支撑板的稳定性,避免支撑板出现松动的情况。

9、在一个优选地实施方式中,多个卡座之间均匀间隔分布,多个卡座的设置,便于对多个套管进行支撑固定。

10、本实用新型的技术效果和优点:

11、通过支撑板上多个卡座和多个固定页的设置,可以对蒸发组件进行支撑固定,避免蒸发组件出现稳定性不足、受力不均衡而扭曲倾塌的情况,又因固定页与卡座之间通过铰链进行连接,使得工作人员可以翻转固定页对单个套管进行检修维护,避免对整体进行拆卸,提高检修维护和更换的便捷性。

技术特征:

1.真空镀膜机的热蒸发机构,其特征在于:包括安装于真空镀膜机上的热蒸发组件;

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的热蒸发机构,其特征在于:所述固定页(3)远离两个铰链的一端顶部设有两个固定螺栓(4),两个固定螺栓(4)关于固定页(3)中心轴线对称分布,所述固定页(3)靠近固定螺栓(4)的一侧开设有固定孔(5),所述固定螺栓(4)底端贯穿固定孔(5)并延伸至卡座(2)内部,所述固定螺栓(4)与卡座(2)螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机的热蒸发机构,其特征在于:所述支撑板(1)两端顶部均设有两个间隔分布的紧固螺栓(6),所述支撑板(1)靠近紧固螺栓(6)的一侧开设有支撑孔(7),所述紧固螺栓(6)底端贯穿支撑孔(7)并延伸至支撑板(1)底部。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜机的热蒸发机构,其特征在于:所述支撑板(1)底部设有磨砂片(8),所述磨砂片(8)顶部与支撑板(1)底部相连接,所述磨砂片(8)套设于紧固螺栓(6)外部。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜机的热蒸发机构,其特征在于:多个卡座(2)之间均匀间隔分布。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜机的热蒸发机构,其特征在于:所述热蒸发组件包括负极单元(9),所述负极单元(9)设于支撑板(1)前侧,所述负极单元(9)后侧设有正极单元(10),所述正极单元(10)顶部安装有多个蒸发舟(11),所述蒸发舟(11)后端设有连接端头(12),所述连接端头(12)后侧安装有滑筒(13),所述滑筒(13)后端外部套设有套管(14),所述连接端头(12)前端安装有搭接平台(15),所述搭接平台(15)顶部与蒸发舟(11)相连接,所述套管(14)设于卡座(2)和固定页(3)之间。

技术总结本技术公开了真空镀膜机的热蒸发机构,具体涉及热蒸发机构技术领域,包括安装于真空镀膜机上的热蒸发组件;所述热蒸发组件外部设有用于增强稳定性的支撑组件;所述支撑组件包括支撑板,所述支撑板设于热蒸发组件底部,所述支撑板顶部安装有多个卡座,所述卡座顶部设有固定页,所述固定页与卡座之间设有两个间隔分布的铰链。本技术通过支撑板上多个卡座和多个固定页的设置,可以对蒸发组件进行支撑固定,避免蒸发组件出现稳定性不足、受力不均衡而扭曲倾塌的情况,又因固定页与卡座之间通过铰链进行连接,使得工作人员可以翻转固定页对单个套管进行检修维护,避免对整体进行拆卸,提高检修维护和更换的便捷性。技术研发人员:钟文森,姚建可,唐杰受保护的技术使用者:蓝湖光电(惠州)有限公司技术研发日:20231013技术公布日:2024/6/11

本文地址:https://www.jishuxx.com/zhuanli/20240619/11616.html

版权声明:本文内容由互联网用户自发贡献,该文观点仅代表作者本人。本站仅提供信息存储空间服务,不拥有所有权,不承担相关法律责任。如发现本站有涉嫌抄袭侵权/违法违规的内容, 请发送邮件至 YYfuon@163.com 举报,一经查实,本站将立刻删除。