一种磁控多弧镀膜机的制作方法

本发明涉及镀膜机领域，具体是一种磁控多弧镀膜机。

背景技术：

1、磁控多弧镀膜机是一种真空镀膜设备，它结合了磁控溅射技术和多弧离子镀膜技术。磁控溅射的原理是在垂直电场的方向上引入与电场正交的磁场，使电子在正交电磁场的作用下作摆线运动，从而增加与气体分子的碰撞几率，提高离子化率，并增加溅射速率。而多弧离子镀膜技术则是利用基冷阴极自持弧光放电结合脉冲技术，使沉积粒子细化，提高膜层的各项性能。

2、现有镀膜机在使用时存在一定的缺陷，镀膜机的转笼在送入送出时通常采用轨道式，但这种方式占地空间大，且灵活性较低，不方便转移转笼。

3、因此，本领域技术人员提供了一种磁控多弧镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种磁控多弧镀膜机，采用手推车组件来完成转笼的送入送出，相较于传统的轨道式，占地空间小，灵活性高，方便转移转笼，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种磁控多弧镀膜机，包括机体，所述机体的一侧设有真空泵机组，且机体的内部开设有镀膜腔，所述镀膜腔开口位置活动连接有开关门，且镀膜腔一侧设有手推车组件；

4、所述手推车组件的顶端活动连接有转笼组件，且转笼组件的一侧设有筒体，所述筒体内部开设有若干个插槽，且插槽内部活动连接有卫星轮轴。

5、作为本发明进一步的方案：所述手推车组件，具体包括：车体，所述车体的顶端面两侧边沿位置对称固定连接有条状凹型板，两个所述条状凹型板的一端之间固定连接有推杆，且条状凹型板的凹槽内壁上固定连接有侧杆，所述条状凹型板的凹槽中间位置固定连接有导向板，且导向板的一侧活动连接有与条状凹型板凹槽相匹配的移动块，所述移动块的一侧面顶端固定连接有定位杆，且定位杆顶端面与条状凹型板凹槽内壁之间设有限位件，所述条状凹型板与侧杆的连接点位于定位杆的下方，且定位杆底端面与侧杆不接触，所述移动块与导向板之间固定连接有弹簧柱，且弹簧柱内部贯穿设置有钢丝绳，所述钢丝绳一端与移动块固定连接，且钢丝绳另一端贯穿导向板并连接有收放线机构，所述镀膜腔内壁对应条状凹型板的位置固定连接有l型板，且l型板的端部固定连接有条形板。

6、作为本发明再进一步的方案：所述收放线机构，具体包括：开设在推杆内部上方中间位置的旋转槽，所述旋转槽内部转动连接有轴杆，且轴杆一端贯穿旋转槽内壁并固定连接有把手，所述轴杆的外侧面中间位置固定连接有与旋转槽相匹配的隔片，且旋转槽的两侧对称开设有与条状凹型板凹槽连通的腔道，两个所述钢丝绳分别沿着相应的腔道进入旋转槽并缠绕在隔片两侧的轴杆外侧面上。

7、作为本发明再进一步的方案：所述限位件，具体包括：开设在定位杆顶端面的限位槽，所述条状凹型板凹槽内壁对应限位槽的位置固定连接有限位轨，且限位轨与限位槽活动连接。

8、作为本发明再进一步的方案：所述转笼组件，具体包括：两个相对设置的支撑板，两个所述支撑板的相对面两侧转动连接有支撑轮，且两个所述支撑板之间固定连接有多个加强杆，两个所述支撑板上方分别设置有第一转笼端盖与第二转笼端盖，且第一转笼端盖与第二转笼端盖均通过相应的支撑轮托住，所述第一转笼端盖与第二转笼端盖之间固定连接有多个均匀分布的支撑杆，且第一转笼端盖一侧面转动连接有若干个安装座，所述第一转笼端盖另一侧面对应安装座的位置转动连接有第一齿轮，且第一齿轮与安装座固定连接，所述安装座外部第一转笼端盖侧面上固定连接有齿圈，且齿圈下方的支撑板侧壁上转动连接有与齿圈相啮合的第二齿轮，所述第二齿轮一端贯穿相应支撑板并固定连接有动力轴，所述第二转笼端盖的侧面对应安装座的位置转动连接有对接座，所述支撑轮下方的支撑板侧壁上转动连接有滚轮，且滚轮位于相应条状凹型板顶端面，所述镀膜腔内壁对应动力轴的位置开设有槽口，且镀膜腔内壁中间位置焊接固定有传动齿轮，所述传动齿轮与各个第一齿轮在转笼组件被推入镀膜腔后相互啮合，且各个所述第一齿轮绕传动齿轮进行公转的过程中沿着传动齿轮外圈齿牙进行自转。

9、作为本发明再进一步的方案：所述卫星轮轴的外侧面开设有两个并列的条形槽，且条形槽内部转动连接有旋臂，所述旋臂的一端固定连接有挂钩，所述条形槽内壁对应挂钩的位置开设有放置槽。

10、作为本发明再进一步的方案：所述镀膜腔内壁上固定连接有若干电弧蒸发离化源和若干磁控溅射源，且电弧蒸发离化源和磁控溅射源之间相互错开。

11、作为本发明再进一步的方案：所述机体的外侧面顶端固定连接有支撑座，且支撑座的外侧面固定连接有导杆，所述开关门顶端固定连接有与导杆活动连接的移动座，且开关门底端固定连接有滑块，所述机体的外侧面底端固定连接有轨道槽，且轨道槽与滑块活动连接。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

13、1、本申请通过手推车组件来完成转笼的送入送出，相较于传统的轨道式，占地空间小，灵活性高，方便转移转笼。

14、2、本申请的手推车组件通过设置的收放线机构能够让工作人员在推车阶段放出钢丝绳，从而利用弹簧柱的弹性势能弹出定位杆，用定位杆来与镀膜腔中的l型板对接，不仅能够帮助手推车组件实现快速准确的对接定位，还能够在不需要时隐藏定位杆方便使用。

15、3、本申请的转笼组件，相较于传统的转笼，结构简单，稳定性高，且整个转笼组件采用底部支撑来进行垂直旋转，传动方式简单高效。

16、4、本申请的卫星轮轴与转笼组件可拆卸连接，方便工作人员取下卫星轮轴进行维护，此外，在卫星轮轴的外表面上设置了两个隐藏式的挂钩，可在安装卫星轮轴前将两个挂钩旋出，并将工件两端分别与挂钩连接，从而提前完成工件的安装，避免后续在转笼组件上连接工件时空间复杂不方便。

技术特征：

1.一种磁控多弧镀膜机，其特征在于，包括机体（1），所述机体（1）的一侧设有真空泵机组（2），且机体（1）的内部开设有镀膜腔（3），所述镀膜腔（3）开口位置活动连接有开关门（9），且镀膜腔（3）一侧设有手推车组件（4）；

2.根据权利要求1所述的一种磁控多弧镀膜机，其特征在于，所述限位件，具体包括：开设在定位杆（404）顶端面的限位槽（4015），所述条状凹型板（403）凹槽内壁对应限位槽（4015）的位置固定连接有限位轨（4014），且限位轨（4014）与限位槽（4015）活动连接。

3.根据权利要求2所述的一种磁控多弧镀膜机，其特征在于，所述转笼组件（5），具体包括：两个相对设置的支撑板（501），两个所述支撑板（501）的相对面两侧转动连接有支撑轮（502），且两个所述支撑板（501）之间固定连接有多个加强杆（5011），两个所述支撑板（501）上方分别设置有第一转笼端盖（503）与第二转笼端盖（504），且第一转笼端盖（503）与第二转笼端盖（504）均通过相应的支撑轮（502）托住，所述第一转笼端盖（503）与第二转笼端盖（504）之间固定连接有多个均匀分布的支撑杆（505），且第一转笼端盖（503）一侧面转动连接有若干个安装座（506），所述第一转笼端盖（503）另一侧面对应安装座（506）的位置转动连接有第一齿轮（507），且第一齿轮（507）与安装座（506）固定连接，所述安装座（506）外部第一转笼端盖（503）侧面上固定连接有齿圈（509），且齿圈（509）下方的支撑板（501）侧壁上转动连接有与齿圈（509）相啮合的第二齿轮（5010），所述第二齿轮（5010）一端贯穿相应支撑板（501）并固定连接有动力轴（5013），所述第二转笼端盖（504）的侧面对应安装座（506）的位置转动连接有对接座（508），所述支撑轮（502）下方的支撑板（501）侧壁上转动连接有滚轮（5012），且滚轮（5012）位于相应条状凹型板（403）顶端面，所述镀膜腔（3）内壁对应动力轴（5013）的位置开设有槽口（17），且镀膜腔（3）内壁中间位置焊接固定有传动齿轮（15），所述传动齿轮（15）与各个第一齿轮（507）在转笼组件（5）被推入镀膜腔（3）后相互啮合，且各个所述第一齿轮（507）绕传动齿轮（15）进行公转的过程中沿着传动齿轮（15）外圈齿牙进行自转。

4.根据权利要求1所述的一种磁控多弧镀膜机，其特征在于，所述卫星轮轴（14）的外侧面开设有两个并列的条形槽（20），且条形槽（20）内部转动连接有旋臂（21），所述旋臂（21）的一端固定连接有挂钩（23），所述条形槽（20）内壁对应挂钩（23）的位置开设有放置槽（22）。

5.根据权利要求1所述的一种磁控多弧镀膜机，其特征在于，所述镀膜腔（3）内壁上固定连接有若干电弧蒸发离化源（24）和若干磁控溅射源（16），且电弧蒸发离化源（24）和磁控溅射源（16）之间相互错开。

6.根据权利要求1所述的一种磁控多弧镀膜机，其特征在于，所述机体（1）的外侧面顶端固定连接有支撑座（6），且支撑座（6）的外侧面固定连接有导杆（7），所述开关门（9）顶端固定连接有与导杆（7）活动连接的移动座（10），且开关门（9）底端固定连接有滑块（11），所述机体（1）的外侧面底端固定连接有轨道槽（8），且轨道槽（8）与滑块（11）活动连接。

技术总结本发明公开了一种磁控多弧镀膜机，属于镀膜机领域，包括机体，所述机体的一侧设有真空泵机组，且机体的内部开设有镀膜腔，所述镀膜腔开口位置活动连接有开关门，且镀膜腔一侧设有手推车组件；所述手推车组件的顶端活动连接有转笼组件，且转笼组件的一侧设有筒体，所述筒体内部开设有若干个插槽，且插槽内部活动连接有卫星轮轴，所述手推车组件具体包括：车体，所述车体的顶端面两侧边沿位置对称固定连接有条状凹型板，两个所述条状凹型板的一端之间固定连接有推杆，且条状凹型板的凹槽内壁上固定连接有侧杆。本发明，采用手推车组件来完成转笼的送入送出，相较于传统的轨道式，占地空间小，灵活性高，方便转移转笼。技术研发人员：王达受保护的技术使用者：上海朗太精密机械有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/11