一种应变片蚀刻装置的制作方法

本技术涉及蚀刻设备，特别涉及一种应变片蚀刻装置。

背景技术：

1、金属箔式应变片作为应变式压力传感器的敏感元件，用于应力测量和结构应力分析。箔式应变片是利用光刻工艺技术把金属电阻箔蚀刻成各种敏感栅。蚀刻设备为该工艺的主要设备。在现有技术中，在对应变片进行蚀刻工艺后，便通过人工手动在原工位对应变片进行清洗，使得蚀刻液和清洗液混合而导致无法回收再利用的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的是提出一种应变片蚀刻装置，以解决现有技术中蚀刻液和清洗液混合而无法回收再利用的问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种应变片蚀刻装置，包括机舱、横移机构、夹持机构、隔离机构、蚀刻机构和清洗机构，所述隔离机构包括隔离电机以及与所述隔离电机连接的隔板，所述隔离电机安装于所述机舱内并用于驱动所述隔板升降，所述隔板将所述机舱内部分隔为蚀刻腔体和清洗腔体，所述蚀刻机构安装于所述蚀刻腔体内，所述清洗机构安装于所述清洗腔体内，所述横移机构安装于所述机舱并与所述夹持机构连接，所述横移机构用于驱动所述夹持机构在所述蚀刻腔体与所述清洗腔体之间移动，所述夹持机构用于夹持应变片。

3、在一实施例中，所述蚀刻机构包括依次相连的蚀刻液回收箱、蚀刻液喷淋泵、蚀刻液喷淋管和蚀刻液喷淋架，所述蚀刻液喷淋架位于所述蚀刻腔体内，所述蚀刻液回收箱用于存储蚀刻液，所述蚀刻液喷淋泵位于所述蚀刻液回收箱内。

4、在一实施例中，所述蚀刻液回收箱设有与其内部连通的第一注液孔和第一排液孔。

5、在一实施例中，所述蚀刻液回收箱还设有连通其内部以及所述蚀刻腔体的第一过滤孔。

6、在一实施例中，所述清洗机构包括依次相连的清洗液回收箱、清洗液喷淋泵、清洗液喷淋管和清洗液喷淋架，所述清洗液喷淋架位于所述清洗腔体内，所述清洗液回收箱用于存储清洗液，所述清洗液喷淋泵位于所述清洗液回收箱内。

7、在一实施例中，所述清洗液回收箱设有与其内部连通的第二注液孔和第二排液孔。

8、在一实施例中，所述清洗液回收箱还设有连通其内部以及所述清洗腔体的第二过滤孔。

9、在一实施例中，所述清洗机构还包括依次相连的喷气架、喷气管和气泵，所述喷气架安装于所述清洗液喷淋架，所述气泵安装于所述机舱外。

10、在一实施例中，所述横移机构包括相连的横移电机和横移丝杆，所述横移丝杆与所述夹持机构连接。

11、本实用新型的有益效果在于：本实用新型提供的应变片蚀刻装置通过设置隔离机构将机舱分隔为蚀刻腔体和清洗腔体，并通过横移机构驱动夹持机构在蚀刻腔体与清洗腔体之间移动，使得应变片能够在不同的腔体中进行蚀刻工序和清洗工序，避免了蚀刻液和清洗液混合的现象，使得蚀刻液以及清洗液能够多次回收利用，降低了生产成本。

技术特征：

1.一种应变片蚀刻装置，其特征在于，包括机舱、横移机构、夹持机构、隔离机构、蚀刻机构和清洗机构，所述隔离机构包括隔离电机以及与所述隔离电机连接的隔板，所述隔离电机安装于所述机舱内并用于驱动所述隔板升降，所述隔板将所述机舱内部分隔为蚀刻腔体和清洗腔体，所述蚀刻机构安装于所述蚀刻腔体内，所述清洗机构安装于所述清洗腔体内，所述横移机构安装于所述机舱并与所述夹持机构连接，所述横移机构用于驱动所述夹持机构在所述蚀刻腔体与所述清洗腔体之间移动，所述夹持机构用于夹持应变片。

2.根据权利要求1所述的应变片蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻机构包括依次相连的蚀刻液回收箱、蚀刻液喷淋泵、蚀刻液喷淋管和蚀刻液喷淋架，所述蚀刻液喷淋架位于所述蚀刻腔体内，所述蚀刻液回收箱用于存储蚀刻液，所述蚀刻液喷淋泵位于所述蚀刻液回收箱内。

3.根据权利要求2所述的应变片蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻液回收箱设有与其内部连通的第一注液孔和第一排液孔。

4.根据权利要求2所述的应变片蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻液回收箱还设有连通其内部以及所述蚀刻腔体的第一过滤孔。

5.根据权利要求1所述的应变片蚀刻装置，其特征在于，所述清洗机构包括依次相连的清洗液回收箱、清洗液喷淋泵、清洗液喷淋管和清洗液喷淋架，所述清洗液喷淋架位于所述清洗腔体内，所述清洗液回收箱用于存储清洗液，所述清洗液喷淋泵位于所述清洗液回收箱内。

6.根据权利要求5所述的应变片蚀刻装置，其特征在于，所述清洗液回收箱设有与其内部连通的第二注液孔和第二排液孔。

7.根据权利要求5所述的应变片蚀刻装置，其特征在于，所述清洗液回收箱还设有连通其内部以及所述清洗腔体的第二过滤孔。

8.根据权利要求5所述的应变片蚀刻装置，其特征在于，所述清洗机构还包括依次相连的喷气架、喷气管和气泵，所述喷气架安装于所述清洗液喷淋架，所述气泵安装于所述机舱外。

9.根据权利要求1所述的应变片蚀刻装置，其特征在于，所述横移机构包括相连的横移电机和横移丝杆，所述横移丝杆与所述夹持机构连接。

技术总结本技术公开了一种应变片蚀刻装置，包括机舱、横移机构、夹持机构、隔离机构、蚀刻机构和清洗机构，隔离机构包括隔离电机以及与隔离电机连接的隔板，隔离电机安装于机舱内并用于驱动隔板升降，隔板将机舱内部分隔为蚀刻腔体和清洗腔体，蚀刻机构安装于蚀刻腔体内，清洗机构安装于清洗腔体内，横移机构安装于机舱并与夹持机构连接，横移机构用于驱动夹持机构在蚀刻腔体与清洗腔体之间移动，夹持机构用于夹持应变片；通过设置隔离机构将机舱分隔为蚀刻腔体和清洗腔体，横移机构驱动夹持机构在蚀刻腔体与清洗腔体之间移动，使得应变片在不同的腔体中进行蚀刻工序和清洗工序，使得蚀刻液以及清洗液能够多次回收利用，降低了生产成本。技术研发人员：张丁山,王钦,虞成城受保护的技术使用者：深圳市信维通信股份有限公司技术研发日：20231009技术公布日：2024/6/11