真空镀膜仓的制作方法

本技术涉及真空镀膜，特别是涉及一种真空镀膜仓。

背景技术：

1、在真空镀膜时，镀件(金属、半导体或绝缘体)容纳至真空镀膜仓的真空腔内，在真空腔处于高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件的表面。

2、为了便于观察真空腔内蒸发舟的情况，需要在真空镀膜仓上设置观察窗，而为了防止高温发热的蒸发舟对人眼的伤害，一般会在观察窗的内侧安装挡光筒，挡光筒与真空镀膜仓的仓体之间设有轴承，挡光筒通过轴承相对于仓体旋转。挡光筒上开设漏光缝隙，在挡光筒旋转时设置漏光缝隙的旋转间隔时间小于人眼的分辨时间，就能完整地观察到被挡光筒遮挡的蒸发舟。

3、在蒸发镀膜时，真空腔内会有很多灰尘(灰尘由金属或者非金属蒸发形成)，灰尘进入轴承并慢慢累积，而由于轴承在真空侧，不便于做润滑，显著缩短了轴承的使用寿命。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对灰尘累积显著缩短轴承使用寿命的问题，提供一种能够提高轴承使用寿命的真空镀膜仓。

2、一种真空镀膜仓，包括：

3、仓体及观察窗，所述观察窗安装于所述仓体上；所述仓体内设有真空腔，所述仓体与所述观察窗共同形成安装腔，所述仓体还设有连通所述真空腔与所述安装腔的连通口；

4、设于所述安装腔内的挡光筒，所述挡光筒通过轴承相对于所述仓体绕自身轴线旋转，所述挡光筒上设有漏光缝隙；

5、设于所述连通口的挡尘板，所述挡尘板上设有透光孔，所述挡尘板能够阻挡所述真空腔内的灰尘流向所述轴承。

6、上述真空镀膜仓，挡尘板位于灰尘经真空腔流向轴承的流动路径上，起到了阻挡灰尘流向轴承的作用，如此，能够减小灰尘在轴承上累积的量，从而提高了轴承的使用寿命。同时，挡尘板的设置也能够阻挡真空腔中的灰尘流入安装腔，而沉积在观察窗上影响观察效果。

7、在其中一个实施例中，在所述挡光筒的径向上，所述挡尘板包括至少两层相互间隔设置的挡尘部，每层所述挡尘部上设有所述透光孔。

8、在其中一个实施例中，所述挡尘板包括两层所述挡尘部。

9、在其中一个实施例中，在所述挡光筒的周向上，所述挡光筒上间隔分布有至少两组所述漏光缝隙，每组所述漏光缝隙在所述挡光筒的轴向上设有至少两个漏光孔。

10、在其中一个实施例中，在所述挡光筒的周向上，所述挡光筒上均匀间隔分布有三组所述漏光缝隙。

11、在其中一个实施例中，所述真空镀膜仓还包括防尘盖，所述防尘盖在所述挡光筒的轴向上设于所述轴承与所述安装腔连通的端部，以防止灰尘流向所述轴承。

12、在其中一个实施例中，所述挡光筒包括筒体及第一转轴，在所述挡光筒的轴向上，所述第一转轴设于所述筒体的一端，所述第一转轴穿设于所述仓体并能够与驱动件相连；所述漏光缝隙设于所述筒体上，所述第一转轴与所述仓体之间设有所述轴承，且所述第一转轴位于所述轴承远离所述安装腔的一端与所述仓体之间设有油封结构；

13、所述防尘盖套设于所述第一转轴外并与所述仓体相连，设于所述第一转轴外的所述防尘盖上开设有连通所述轴承与所述挡尘板的连通通道。

14、在其中一个实施例中，所述连通通道在所述防尘盖内弯折延伸。

15、在其中一个实施例中，所述连通通道沿所述挡光筒的轴向及径向依次交错延伸。

16、在其中一个实施例中，所述仓体相对的两侧均设有所述观察窗，每侧的所述观察窗与所述仓体共同形成所述安装腔，所述仓体的两侧均设有所述连通口，每个所述连通口连通所述真空腔与相对应侧的所述安装腔；

17、每个所述安装腔内设有所述挡光筒，每个所述连通口设有所述挡尘板。

技术特征：

1.一种真空镀膜仓，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空镀膜仓，其特征在于，在所述挡光筒(40)的径向上，所述挡尘板(60)包括至少两层相互间隔设置的挡尘部(61)，每层所述挡尘部(61)上设有所述透光孔(62)。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜仓，其特征在于，所述挡尘板(60)包括两层所述挡尘部(61)。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜仓，其特征在于，在所述挡光筒(40)的周向上，所述挡光筒(40)上间隔分布有至少两组所述漏光缝隙(41)，每组所述漏光缝隙(41)在所述挡光筒(40)的轴向上设有至少两个漏光孔(411)。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜仓，其特征在于，在所述挡光筒(40)的周向上，所述挡光筒(40)上均匀间隔分布有三组所述漏光缝隙(41)。

6.根据权利要求1-5任一项所述的真空镀膜仓，其特征在于，所述真空镀膜仓还包括防尘盖(70)，所述防尘盖(70)在所述挡光筒(40)的轴向上设于所述轴承(50)与所述安装腔(30)连通的端部，以防止灰尘流向所述轴承(50)。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜仓，其特征在于，所述挡光筒(40)包括筒体(42)及第一转轴(43)，在所述挡光筒(40)的轴向上，所述第一转轴(43)设于所述筒体(42)的一端，所述第一转轴(43)穿设于所述仓体(10)并能够与驱动件(90)相连；所述漏光缝隙(41)设于所述筒体(42)上，所述第一转轴(43)与所述仓体(10)之间设有所述轴承(50)，且所述第一转轴(43)位于所述轴承(50)远离所述安装腔(30)的一端与所述仓体(10)之间设有油封结构(80)；

8.根据权利要求7所述的真空镀膜仓，其特征在于，所述连通通道(71)在所述防尘盖(70)内弯折延伸。

9.根据权利要求8所述的真空镀膜仓，其特征在于，所述连通通道(71)沿所述挡光筒(40)的轴向及径向依次交错延伸。

10.根据权利要求1所述的真空镀膜仓，其特征在于，所述仓体(10)相对的两侧均设有所述观察窗(20)，每侧的所述观察窗(20)与所述仓体(10)共同形成所述安装腔(30)，所述仓体(10)的两侧均设有所述连通口(12)，每个所述连通口(12)连通所述真空腔(11)与相对应侧的所述安装腔(30)；

技术总结本技术涉及一种真空镀膜仓，包括：仓体及观察窗，观察窗安装于仓体上；仓体内设有真空腔，仓体与观察窗共同形成安装腔，仓体还设有连通真空腔与安装腔的连通口；设于安装腔内的挡光筒，挡光筒通过轴承相对于仓体绕自身轴线旋转，挡光筒上设有漏光缝隙；设于连通口处的挡尘板，挡尘板上设有透光孔，且能够阻挡真空腔内的灰尘流向轴承。上述真空镀膜仓，挡尘板位于灰尘经真空腔流向轴承的流动路径上，起到了阻挡灰尘流向轴承的作用，如此，能够减小灰尘在轴承上累积的量，从而提高了轴承的使用寿命。同时，挡尘板的设置也能够阻挡真空腔中的灰尘流入安装腔而沉积在观察窗上影响观察效果。技术研发人员：请求不公布姓名,请求不公布姓名受保护的技术使用者：无锡先导智能装备股份有限公司技术研发日：20230927技术公布日：2024/6/5