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一种真空蒸镀机自翻面式镀锅结构的制作方法

  • 国知局
  • 2024-06-20 14:21:24

本发明涉及真空蒸镀机,具体为一种真空蒸镀机自翻面式镀锅结构。

背景技术:

1、真空蒸镀机是在真空条件下,利用电流加热等多种方式,将镀膜材料蒸发使其气化,同时使得气化的镀膜材料粒子飞射至镀锅上待镀膜的基材,并使其镀膜材料凝结固化,形成镀膜基材上的薄膜结构。

2、如公开号为cn215163067u的一种真空镀膜机的分体式镀锅,所述分体式镀锅位于真空镀膜机的腔室的顶部,所述分体式镀锅包括骨架、伞面件和固定件,所述骨架分别与伞面件和固定件连接,固定件与骨架固定并与驱动部件连接,骨架包括中心圆环部、边沿圆环部和伞骨,中心圆环部位于边沿圆环部的上方且中心处,伞骨的一端连接中心圆环部另一端连接边沿圆环部,伞骨有多个且均匀分布,中心圆环部和边沿圆环部之间被伞骨形成多个均匀的伞面室,伞骨、伞面件和伞面室的数量相同,中心圆环部的外边沿、伞骨的内边沿和伞骨的两个侧边沿均为梯形,伞面件的形状和大小与伞面室相对应,伞面件能够放置在伞面室上,伞面件包括通孔,通孔上能够放置被镀膜工件。

3、其中上述现有技术中存在以下技术问题:现有的镀锅在使用时不便于对基片的双面进行均匀镀膜,在将基片其中一面镀膜完成之后,需要将其基片取下后翻转重新安装,整体的操作较为繁琐,同时部分镀膜能够对基片进行自动翻转,但镀锅在转动后,其上的基片均同步翻转,但在实际蒸镀时,有时只需要部分基片进行翻转调整,同时在镀膜工件为熔点低的金属时,由于被镀膜工件的热量不便于及时散发,气态的膜料容易仅变为液态,而不是固态,并且温度高了之后,固态的膜料也容易熔化为液态,导致挂流情况严重,进而影响成品的导电性等性能。

4、所以我们提出了一种真空蒸镀机自翻面式镀锅结构,以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种真空蒸镀机自翻面式镀锅结构,以解决上述背景技术提出的目前市场上现有的镀锅在使用时不便于对基片的双面进行均匀镀膜,在将基片其中一面镀膜完成之后,需要将其基片取下后翻转重新安装,整体的操作较为繁琐,同时部分镀膜能够对基片进行自动翻转,但镀锅在转动后,其上的基片均同步翻转,但在实际蒸镀时,有时只需要部分基片进行翻转调整,同时在镀膜工件为熔点低的金属时,由于被镀膜工件的热量不便于及时散发,气态的膜料容易仅变为液态,而不是固态,并且温度高了之后,固态的膜料也容易熔化为液态,导致挂流情况严重,进而影响成品的导电性等性能的问题。

2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种真空蒸镀机自翻面式镀锅结构,包括镀锅本体,所述镀锅本体的中部固定连接有中心杆,且镀锅本体上安装有承载架,并且承载架的中部内侧固定连接有基片本体,所述镀锅本体位于蒸镀机的内部上端,且镀锅本体中部的中心杆贯穿安装在蒸镀机的上端中部;

3、还包括:

4、所述中心杆上固定连接有限位盘,且限位盘的下端通过轴承连接有套管,所述套管的周向固定连接有驱动杆,且套管上键连接有联动齿轮,所述联动齿轮的侧边啮合连接有从动齿轮,且从动齿轮固定在伺服电机的输出端上,所述伺服电机固定在限位盘上;

5、所述驱动杆远离套管的一端侧边设置有叶轮,且叶轮安装在传动杆上,并且传动杆固定在承载架的中部,所述叶轮的侧边对称安装有两个第一电动伸缩杆,且第一电动伸缩杆的伸缩端上固定连接有抱紧片,所述抱紧片的侧边固定连接有挤压块,且挤压块的内侧设置有衔接架,所述衔接架通过复位弹簧和传动杆的内部相互连接,且衔接架远离挤压块的一端外侧设置有卡孔,并且卡孔开设在镀锅本体上,所述中心杆的中部安装有减少基片本体挂流的水冷机构。

6、优选的,所述驱动杆在套管的周向等角度均匀分布有多个,且套管周向上均匀分布的驱动杆与叶轮构成啮合传动结构。

7、通过采用上述技术方案,当套管转动后能够利用其上均匀分布的驱动杆使其叶轮进行同步旋转。

8、优选的,所述叶轮和传动杆为转动连接,且传动杆的内部和承载架的内部相互连通,并且承载架的内部设置为空心结构。

9、通过采用上述技术方案,通过叶轮在传动杆上的转动从而能够方便加快基片本体周围空气流速,同时传动杆和承载架相互连通,便于传动杆内部的水源进入至承载架的内部。

10、优选的,所述抱紧片设置为弧形结构,且抱紧片侧边固定连接的挤压块设置为半圆形结构。

11、通过采用上述技术方案,通过抱紧片的弧形结构,从而能够使其抱紧片在移动后能够与传动杆相互抵触。

12、优选的,所述衔接架的纵截面设置为“u”形结构,且衔接架通过复位弹簧和传动杆构成弹性伸缩结构。

13、通过采用上述技术方案,利用复位弹簧的设置能够使其在传动杆上移动后的衔接架复位回弹。

14、优选的,所述衔接架靠近挤压块的一端设置为球形结构,且衔接架远离挤压块的一端外壁和卡孔的内壁相互贴合。

15、通过采用上述技术方案,衔接架的端部外壁和卡孔的内壁相互贴合,从而能够保证衔接架在卡孔内部的稳定性。

16、优选的,所述水冷机构包括输送管,且输送管的下端与第一分流盘相互连接,输送管的上端与外界带有制冷设备的水箱相互连接,并且第一分流盘的侧边通过导流管和承载架一侧的传动杆相互连接,所述承载架另一侧的传动杆中部通过回流管和第二分流盘相互连接,且第二分流盘固定安装在镀锅本体的下端,所述第二分流盘通过对接管和储蓄腔相互连通,且储蓄腔开设在中心杆的内部,所述储蓄腔的内部安装有活塞块,且活塞块固定安装在第二电动伸缩杆的伸缩端上。

17、通过采用上述技术方案,通过储蓄腔的设置能够方便将外界的冷水源吸入承载架的内部,通过承载架内部流动的水源即可对基片本体进行降温。

18、优选的,所述导流管和回流管均通过密封轴承与承载架两侧的传动杆中部相互连接。

19、通过采用上述技术方案,通过导流管和回流管与传动杆的轴承连接,从而不会影响到承载架和传动杆正常的旋转。

20、优选的,所述活塞块通过周向固定的密封圈与储蓄腔构成滑动连接结构,且活塞块的横截面设置为圆形结构。

21、通过采用上述技术方案,通过活塞块周向固定的密封圈,从而能够保证活塞块在储蓄腔内部移动时的密封性。

22、与现有技术相比,本发明的有益效果是:该真空蒸镀机自翻面式镀锅结构,能够方便对镀锅上的基片进行具有选择性的自动翻面,避免在翻面时所有的基片同时翻转,且能够方便对镀膜工件的热量及时散发,降低挂流情况发生的概率;

23、1、设置有驱动杆,通过套管的转动能够使其周向均匀分布的驱动杆进行同步旋转,利用驱动杆的旋转能够使得啮合连接的叶轮进行同步转动,通过叶轮侧边第一电动伸缩杆使其抱紧片与传动杆相互抱紧,此时叶轮旋转时即可带动传动杆和承载架进行同步翻转,当抱紧片与传动杆脱离时,叶轮只会在传动杆上转动,并不会带动传动杆和承载架进行同步旋转,由此即可实现对承载架上的基片本体进行选择性的翻面;

24、2、设置有衔接架,当抱紧片与传动杆相互贴紧后,抱紧片侧边的挤压块对衔接架的球形端部进行挤压,此时衔接架朝向传动杆的内侧移动,衔接架的端部与镀锅本体上的卡孔相互脱离,从而解除传动杆的限位,使其进行正常旋转,当抱紧片与传动杆相互后,挤压块解除对衔接架挤压,衔接架在复位弹簧的作用下复位回弹,衔接架的端部插入至镀锅本体上的卡孔内部,从而保证衔接架的稳定性;

25、3、设置有叶轮,在进行镀膜的过程中,基片本体翻转完成之后,第一电动伸缩杆控制抱紧片与传动杆相互远离,此时套管周向的驱动杆旋转后能够使其啮合连接的叶轮进行同步旋转,通过叶轮的旋转来加快基片本体周围的空气流速,提高基片本体的换热降温效果;

26、4、设置有活塞块,通过活塞块在储蓄腔内部的往复移动,能够通过输送管对外界水箱中的水源吸取,并通过第一分流盘、导流管、传动杆进入承载架的内部,利用承载架内部进入的水源来与基片本体进行换热,从而带走基片本体的热量,避免镀膜工件的热量不能及时散发,导致出现挂流的现象。

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