一种镀膜材料制备的抽真空烤箱的制作方法

本技术涉及镀膜材料制备用烤箱，具体为一种镀膜材料制备的抽真空烤箱。

背景技术：

1、镀膜材料一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜，而在镀膜材料制备的过程中，会使用到专用的烤箱。

2、现有的用于镀膜材料制备的烤箱，在使用时，无法对烤箱箱体内部进行抽真空处理，导致烤箱箱体内部含有的气体成分在加热过程中对镀膜材料造成影响，另外不能便捷的对烤网架进行拆卸和安装，致使对烤网架的清洗难度大，因此迫切的需要一种镀膜材料制备的抽真空烤箱来解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种镀膜材料制备的抽真空烤箱，以解决上述背景技术中提出的现有的用于镀膜材料制备的烤箱，在使用时，无法对烤箱箱体内部进行抽真空处理，导致烤箱箱体内部含有的气体成分在加热过程中对镀膜材料造成影响，另外不能便捷的对烤网架进行拆卸和安装，致使对烤网架的清洗难度大的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种镀膜材料制备的抽真空烤箱，包括烤箱箱体，所述烤箱箱体的底部设置有底座，所述底座的底部连接有四个呈两两相对的支撑脚，所述烤箱箱体的前端一侧通过铰链件连接有防爆箱门，所述烤箱箱体的前端面上一侧设置有操控按键区，所述烤箱箱体的内部两侧壁上均开设有凹槽，多个所述凹槽中均设置有导向轨道，两侧的所述导向轨道中插设有烤网架，所述烤箱箱体的内部底端安装有发热器，所述烤箱箱体的右上侧连接有支撑台，所述支撑台的上端安装有真空箱，所述真空箱的内部设置有真空泵，所述真空泵的一端通过抽真空管道穿过真空箱的顶部与烤箱箱体相连通，所述抽真空管道上安装有真空表。

4、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述防爆箱门上嵌设有防爆透明玻璃。

5、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述导向轨道的横截面形状为凹槽型结构。

6、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述凹槽和导向轨道的数量均设置为六个。

7、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述烤网架的数量设置为三个，三个所述烤网架呈等间距竖直分布在烤箱箱体的内部。

8、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述真空箱的右侧壁上开设有透气孔，所述铰链件的数量设置为两个，两个所述铰链件关于防爆箱门呈上下轴对称设置。

9、与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：

10、1、本实用新型通过设置支撑台、真空箱、抽真空管道、真空泵和真空表，利用它们之间的相互配合作用，从而可以实现对烤箱箱体内部进行抽真空处理，避免气体成分在加热过程中对镀膜材料造成影响。

11、2、本实用新型通过在烤箱箱体的内部开设凹槽，以及在凹槽中设置导向轨道，从而可以便捷的对烤网架进行拆卸和安装，降低了对烤网架的清洗难度。

技术特征：

1.一种镀膜材料制备的抽真空烤箱，包括烤箱箱体(1)，其特征在于：所述烤箱箱体(1)的底部设置有底座(2)，所述底座(2)的底部连接有四个呈两两相对的支撑脚(3)，所述烤箱箱体(1)的前端一侧通过铰链件(5)连接有防爆箱门(4)，所述烤箱箱体(1)的前端面上一侧设置有操控按键区(7)，所述烤箱箱体(1)的内部两侧壁上均开设有凹槽(8)，多个所述凹槽(8)中均设置有导向轨道(9)，两侧的所述导向轨道(9)中插设有烤网架(10)，所述烤箱箱体(1)的内部底端安装有发热器(11)，所述烤箱箱体(1)的右上侧连接有支撑台(12)，所述支撑台(12)的上端安装有真空箱(13)，所述真空箱(13)的内部设置有真空泵(14)，所述真空泵(14)的一端通过抽真空管道(15)穿过真空箱(13)的顶部与烤箱箱体(1)相连通，所述抽真空管道(15)上安装有真空表(16)。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜材料制备的抽真空烤箱，其特征在于：所述防爆箱门(4)上嵌设有防爆透明玻璃(6)。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜材料制备的抽真空烤箱，其特征在于：所述导向轨道(9)的横截面形状为凹槽型结构。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜材料制备的抽真空烤箱，其特征在于：所述凹槽(8)和导向轨道(9)的数量均设置为六个。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜材料制备的抽真空烤箱，其特征在于：所述烤网架(10)的数量设置为三个，三个所述烤网架(10)呈等间距竖直分布在烤箱箱体(1)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种镀膜材料制备的抽真空烤箱，其特征在于：所述真空箱(13)的右侧壁上开设有透气孔，所述铰链件(5)的数量设置为两个，两个所述铰链件(5)关于防爆箱门(4)呈上下轴对称设置。

技术总结本技术涉及镀膜材料制备用烤箱技术领域，且公开了一种镀膜材料制备的抽真空烤箱，包括烤箱箱体，所述烤箱箱体的底部设置有底座，所述底座的底部连接有四个呈两两相对的支撑脚，所述烤箱箱体的前端一侧通过铰链件连接有防爆箱门，所述烤箱箱体的前端面上一侧设置有操控按键区，所述烤箱箱体的内部两侧壁上均开设有凹槽，多个所述凹槽中均设置有导向轨道，两侧的所述导向轨道中插设有烤网架，所述烤箱箱体的内部底端安装有发热器。本技术通过设置支撑台、真空箱、抽真空管道、真空泵和真空表，利用它们之间的相互配合作用，从而可以实现对烤箱箱体内部进行抽真空处理，避免气体成分在加热过程中对镀膜材料造成影响。技术研发人员：李克伟,吕明春,朱伟受保护的技术使用者：苏州鼎奕通材料科技有限公司技术研发日：20231026技术公布日：2024/6/11