一种气相沉积炉均匀加热装置的制作方法

本技术涉及气相沉积炉领域，尤其涉及一种气相沉积炉均匀加热装置。

背景技术：

1、气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室、水冷电极、测温热电偶、是处理工件的核心部分，气相沉积炉的工作原理是利用热分解或化学反应将气体源中的原料分子在高温环境下转化为可沉积的材料薄膜。

2、现有的中国专利cn218465936u，在2023年2月10日公开了一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，包括气相沉积炉，所述气相沉积炉的一侧内壁设置有通气外壳，且气相沉积炉的底端内壁固定连接有分流底盘，所述分流底盘的顶端外壁固定连接有第二导热隔板，且第二导热隔板的顶端外壁设置有加热器，所述第二导热隔板的顶端外壁同时固定连接有导热隔板，且导热隔板覆盖在加热器的上方，所述分流底盘的底端外壁固定连接有第三导热隔板，且第三导热隔板的底端外壁固定连接有底座，所述底座的底端内壁设置有第二加热器，所述气相沉积炉的顶端内壁固定连接有进气口。

3、但是，上述装置在进行送热的时候，整体热量不能有效均匀的分散，使得内部会出现热量集中的情况，这样使得物体在受热时，物体表面受热不是很均匀的情况，从而容易影响整体加热效率的问题。

技术实现思路

1、本实用新型公开一种气相沉积炉均匀加热装置，旨在解决上述装置在进行送热的时候，整体热量不能有效均匀的分散，使得内部会出现热量集中的情况，这样使得物体在受热时，物体表面受热不是很均匀的情况，从而容易影响整体加热效率的技术问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种气相沉积炉均匀加热装置，包括内部腔室、气相沉积炉炉体和中间内炉体，所述气相沉积炉炉体的内部开设有内部腔室，所述内部腔室的内侧位于气相沉积炉炉体上设置有中间内炉体，所述中间内炉体的上端设置有定位放置罩，所述定位放置罩的上端内侧位于气相沉积炉炉体上设置有匀流分散罩，所述匀流分散罩的上方位于气相沉积炉炉体上设置有加热机体，所述加热机体的外端设置有加热电源线，所述加热机体的上端设置有匀流风扇，所述加热电源线和匀流风扇与外部控制器电性连接。

4、通过设置有加热电源线结构，从而可以接收外部控制器输送的电源，加热机体通过加热电源线接收外部控制器输送的电流，而后加热机体产生热量，产生的热量经过加热机体上端的匀流风扇，使得可以输送到匀流分散罩中，而后经过匀流分散罩匀流分散到定位放置罩中，之后直接匀流分散到中间内炉体中，中间内炉体的热量在扩散到气相沉积炉炉体的内部腔室中时，从而形成一个温区，使得有效维持中间内炉体的温度，中间内炉体因匀流输入的温度，而且外部的温区，使得中间内炉体内部的热量更加均匀，这样物体在受热时更加均匀。

5、在一个优选的方案中，所述匀流分散罩包括底部匀流套板、匀流分散孔、回型框架和外侧固定耳板，所述回型框架的两端设置有外侧固定耳板，所述回型框架的下端设置有底部匀流套板，所述底部匀流套板的内侧开设有匀流分散孔，所述回型框架通过外侧固定耳板连接在气相沉积炉炉体上，所述底部匀流套板连接在定位放置罩上。

6、通过设置有匀流分散罩结构，从而可以匀流输送热风，这样有效匀流加热物料。

7、在一个优选的方案中，所述加热机体包括组装螺钉、耐热机壳、风扇气孔、内部加热元件和中空底板，所述耐热机壳的上端内侧设置有风扇气孔，所述耐热机壳的内部设置有内部加热元件，所述耐热机壳的下端设置有中空底板，所述中空底板的拐角处设置有组装螺钉，所述中空底板通过组装螺钉连接在气相沉积炉炉体上，所述内部加热元件连接在加热电源线上。

8、通过设置有加热机体结构，从而可以产生热量进行加热使用。

9、在一个优选的方案中，所述定位放置罩包括内部套腔、外侧框板和中间套框，所述中间套框的下端设置有外侧框板，所述中间套框和外侧框板的内侧开设有内部套腔，所述中间套框通过外侧框板连接在中间内炉体上。

10、通过设置有定位放置罩结构，这样可以定位放置使用。

11、在一个优选的方案中，所述匀流风扇包括安装底板和风扇机体，所述风扇机体的下端设置有安装底板，所述风扇机体通过安装底板连接在加热机体上。

12、通过设置有匀流风扇结构，这样可以产生风力进行热量的输送。

13、在一个优选的方案中，所述定位放置罩和中间内炉体的连接处设置有密封胶垫，且所述定位放置罩和中间内炉体的连接处贯通。

14、通过设置有定位放置罩结构，从而可以将匀流热量输送到中间内炉体中进行匀流加热使用。

15、在一个优选的方案中，所述匀流分散罩的下端套接在定位放置罩的上端套槽中，且所述匀流分散罩和定位放置罩的连接处设置有耐高温密封胶垫。

16、通过设置有匀流分散罩结构，从而可以将热量匀流分散到定位放置罩中进行输送。

17、由上可知，一种气相沉积炉均匀加热装置，包括内部腔室、气相沉积炉炉体和中间内炉体，所述气相沉积炉炉体的内部开设有内部腔室，所述内部腔室的内侧位于气相沉积炉炉体上设置有中间内炉体，所述中间内炉体的上端设置有定位放置罩，所述定位放置罩的上端内侧位于气相沉积炉炉体上设置有匀流分散罩，所述匀流分散罩的上方位于气相沉积炉炉体上设置有加热机体，所述加热机体的外端设置有加热电源线，所述加热机体的上端设置有匀流风扇，所述加热电源线和匀流风扇与外部控制器电性连接。本实用新型提供的气相沉积炉均匀加热装置具有将热量进行匀流分散，从而在加热时，可以匀流加热物体的技术效果。

技术特征：

1.一种气相沉积炉均匀加热装置，包括内部腔室(5)、气相沉积炉炉体(6)和中间内炉体(7)，其特征在于，所述气相沉积炉炉体(6)的内部开设有内部腔室(5)，所述内部腔室(5)的内侧位于气相沉积炉炉体(6)上设置有中间内炉体(7)，所述中间内炉体(7)的上端设置有定位放置罩(4)，所述定位放置罩(4)的上端内侧位于气相沉积炉炉体(6)上设置有匀流分散罩(1)，所述匀流分散罩(1)的上方位于气相沉积炉炉体(6)上设置有加热机体(2)，所述加热机体(2)的外端设置有加热电源线(3)，所述加热机体(2)的上端设置有匀流风扇(8)，所述加热电源线(3)和匀流风扇(8)与外部控制器电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉均匀加热装置，其特征在于，所述匀流分散罩(1)包括底部匀流套板(11)、匀流分散孔(12)、回型框架(13)和外侧固定耳板(14)，所述回型框架(13)的两端设置有外侧固定耳板(14)，所述回型框架(13)的下端设置有底部匀流套板(11)，所述底部匀流套板(11)的内侧开设有匀流分散孔(12)，所述回型框架(13)通过外侧固定耳板(14)连接在气相沉积炉炉体(6)上，所述底部匀流套板(11)连接在定位放置罩(4)上。

3.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉均匀加热装置，其特征在于，所述加热机体(2)包括组装螺钉(21)、耐热机壳(22)、风扇气孔(23)、内部加热元件(24)和中空底板(25)，所述耐热机壳(22)的上端内侧设置有风扇气孔(23)，所述耐热机壳(22)的内部设置有内部加热元件(24)，所述耐热机壳(22)的下端设置有中空底板(25)，所述中空底板(25)的拐角处设置有组装螺钉(21)，所述中空底板(25)通过组装螺钉(21)连接在气相沉积炉炉体(6)上，所述内部加热元件(24)连接在加热电源线(3)上。

4.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉均匀加热装置，其特征在于，所述定位放置罩(4)包括内部套腔(41)、外侧框板(42)和中间套框(43)，所述中间套框(43)的下端设置有外侧框板(42)，所述中间套框(43)和外侧框板(42)的内侧开设有内部套腔(41)，所述中间套框(43)通过外侧框板(42)连接在中间内炉体(7)上。

5.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉均匀加热装置，其特征在于，所述匀流风扇(8)包括安装底板(81)和风扇机体(82)，所述风扇机体(82)的下端设置有安装底板(81)，所述风扇机体(82)通过安装底板(81)连接在加热机体(2)上。

6.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉均匀加热装置，其特征在于，所述定位放置罩(4)和中间内炉体(7)的连接处设置有密封胶垫，且所述定位放置罩(4)和中间内炉体(7)的连接处贯通。

7.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉均匀加热装置，其特征在于，所述匀流分散罩(1)的下端套接在定位放置罩(4)的上端套槽中，且所述匀流分散罩(1)和定位放置罩(4)的连接处设置有耐高温密封胶垫。

技术总结本技术公开了一种气相沉积炉均匀加热装置，包括内部腔室、气相沉积炉炉体和中间内炉体，所述气相沉积炉炉体的内部开设有内部腔室，所述内部腔室的内侧位于气相沉积炉炉体上设置有中间内炉体，所述中间内炉体的上端设置有定位放置罩，所述定位放置罩的上端内侧位于气相沉积炉炉体上设置有匀流分散罩，所述匀流分散罩的上方位于气相沉积炉炉体上设置有加热机体，所述加热机体的外端设置有加热电源线，所述加热机体的上端设置有匀流风扇，所述加热电源线和匀流风扇与外部控制器电性连接。本技术公开的气相沉积炉均匀加热装置具有将热量进行匀流分散，从而在加热时，可以匀流加热物体的技术效果。技术研发人员：请求不公布姓名受保护的技术使用者：苏州冠岚新材料有限公司技术研发日：20231017技术公布日：2024/6/11