掩膜板的制作方法

本申请涉及显示，尤其涉及掩膜板。

背景技术：

1、随着显示技术的发展，具有更快反应速度和更高对比度的有机发光二极管显示器件的用途愈加广泛，且其制作工艺也越来越引起了人们的重视。其中，蒸镀是一种比较成熟的制作有机发光二极管显示器件的工艺，且已经运用于量产。然而，现有掩膜板的蒸镀效率和蒸镀效果有进一步改善的空间。

技术实现思路

1、本申请提供一种掩膜板，能够提高蒸镀效率的同时保证蒸镀效果。

2、根据本申请实施例的第一方面，提供一种掩膜板，包括：基板以及设置于所述基板的第一蒸镀部与第二蒸镀部，所述第一蒸镀部与所述第二蒸镀部沿第一方向间隔设置；

3、所述第一蒸镀部内设置有多个第一镂空孔，所述第二蒸镀部内设置有多个第二镂空孔；所述第一镂空孔的形状与所述第二镂空孔的形状不同，和/或，所述第一镂空孔与所述第二镂空孔的分布密度不同；

4、μ1/e1与μ2/e2处于同一量级，其中，μ1为所述第一蒸镀部的泊松比，μ2为所述第二蒸镀部的泊松比，e1为所述第一蒸镀部沿所述第一方向的弹性模量，e2为所述第二蒸镀部沿所述第一方向的弹性模量。

5、进一步地，μ1/e1与μ2/e2中较大数与较小数的比值小于3。

6、进一步地，μ1/e1与μ2/e2中较大数与较小数的比值小于1.5。

7、进一步地，所述第二蒸镀部在所述第二镂空孔的四周设置有非镂空部，在所述非镂空部上设置有第一盲孔。

8、进一步地，所述第一盲孔包括一个或多个侧壁以及与所述侧壁相连的底壁，所述基板包括相对设置的衬底侧与蒸镀源侧，所述底壁设置于所述蒸镀源侧。

9、进一步地，还包括一对外围部，所述一对外围部沿第一方向对称设置于所述基板的两侧；

10、靠近所述第一蒸镀部的所述外围部上设置有第一缓冲区，靠近所述第二蒸镀部的所述外围部上设置有第二缓冲区；

11、所述第一缓冲区沿第二方向设置有多个第一缓冲孔，所述第二缓冲区沿所述第二方向设置有多个第二缓冲孔，其中所述第二方向垂直于所述第一方向。

12、进一步地，相邻的所述第二缓冲孔之间设置有缓冲盲孔。

13、进一步地，所述第一缓冲区的数量设置为多个，多个所述第一缓冲区沿着所述第一方向间隔设置；和/或，所述第二缓冲区的数量设置为多个，多个所述第二缓冲区沿着所述第一方向间隔设置。

14、进一步地，所述第一蒸镀部设置有多个第一排布区，每一所述第一排布区包括沿所述第二方向排列的多个所述第一镂空孔；所述第二蒸镀部设置有多个第二排布区，每一所述第二排布区包括沿所述第二方向排列的多个所述第二镂空孔；

15、所述第一缓冲区内所述第一缓冲孔的分布与相邻的所述第一排布区内所述第一镂空孔的分布相同；

16、和/或，所述第二缓冲区内所述第二缓冲孔的分布与相邻的所述第二排布区内所述第二镂空孔的分布相同。

17、根据本申请实施例的第二方面，提供一种掩膜板，所述掩膜板包括：

18、第一蒸镀部，设置有多个第一镂空孔；

19、第二蒸镀部，设置有多个第二镂空孔，所述第二蒸镀部与所述第一蒸镀部沿第一方向排列；

20、其中，所述第一镂空孔的形状与所述第二镂空孔的形状不同，和/或，所述第一镂空孔与所述第二镂空孔的分布密度不同；

21、所述第二蒸镀部与所述第一蒸镀部中的至少一个设置有盲孔，所述盲孔位于所述第二镂空孔的四周或者所述第一镂空孔的四周。

22、进一步地，μ1/e1与μ2/e2中较大数与较小数的比值小于1.5，其中：

23、μ1为所述第一蒸镀部的泊松比，μ2为所述第二蒸镀部的泊松比，e1为所述第一蒸镀部沿所述第一方向的弹性模量，e2为所述第二蒸镀部沿所述第一方向的弹性模量。

24、根据本申请第一方面的实施例可知，基板被分为第一蒸镀部与第二蒸镀部。第一蒸镀部内第一镂空孔与第二蒸镀部内第二镂空孔的形状和/或分布密度不同，使得该掩膜板可以同时应用于不同像素密度或像素形状的显示面板的制造，降低了制造成本。

25、同时，第一蒸镀部的泊松比与第一方向弹性模量的比值为μ1/e1，第二蒸镀部的泊松比与第一方向弹性模量的比值为μ2/e2，μ1/e1与μ2/e2设置为同一量级。该设置使得第一蒸镀部与第二蒸镀部在沿第一方向进行拉伸时，垂直于第一方向的非拉伸方向上的收缩率较为接近，减少掩膜板在拉伸过程中的褶皱，提高了蒸镀精度，降低了显示面板的混色不良风险。

26、根据本申请第二方面的实施例可知，掩膜板上设置有形状和/或分布密度不同的第一镂空孔与所述第二镂空孔，使得掩膜板可应用于不同像素密度或像素形状的显示面板的制造。同时，第二蒸镀部与所述第一蒸镀部中的至少一个设置有盲孔，使得第一蒸镀部与第二蒸镀部在拉伸时的内部应力与应变分布更为均匀，减少了掩膜板在拉伸过程中的褶皱，提高了蒸镀精度，降低了显示面板的混色不良风险。

27、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。

技术特征：

1.一种掩膜板，其特征在于，包括：基板以及设置于所述基板的第一蒸镀部与第二蒸镀部，所述第一蒸镀部与所述第二蒸镀部沿第一方向间隔设置；

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，μ1/e1与μ2/e2中较大数与较小数的比值小于3。

3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，μ1/e1与μ2/e2中较大数与较小数的比值小于1.5。

4.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二蒸镀部在所述第二镂空孔的四周设置有非镂空部，在所述非镂空部上设置有第一盲孔。

5.根据权利要求4所述的掩膜板，其特征在于，所述第一盲孔包括一个或多个侧壁以及与所述侧壁相连的底壁，所述基板包括相对设置的衬底侧与蒸镀源侧，所述底壁设置于所述蒸镀源侧。

6.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，还包括一对外围部，所述一对外围部沿第一方向对称设置于所述基板的两侧；

7.根据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，相邻的所述第二缓冲孔之间设置有缓冲盲孔。

8.根据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，所述第一缓冲区的数量设置为多个，多个所述第一缓冲区沿着所述第一方向间隔设置；和/或，所述第二缓冲区的数量设置为多个，多个所述第二缓冲区沿着所述第一方向间隔设置。

9.根据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，所述第一蒸镀部设置有多个第一排布区，每一所述第一排布区包括沿所述第二方向排列的多个所述第一镂空孔；所述第二蒸镀部设置有多个第二排布区，每一所述第二排布区包括沿所述第二方向排列的多个所述第二镂空孔；

10.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括：

11.根据权利要求10所述的掩膜板，其特征在于，μ1/e1与μ2/e2中较大数与较小数的比值小于1.5，其中：

技术总结本申请提供了一种掩膜板。该掩膜板包括基板以及设置于基板的第一蒸镀部与第二蒸镀部，所述第一蒸镀部与所述第二蒸镀部沿第一方向间隔设置。所述第一蒸镀部内设置有多个第一镂空孔，所述第二蒸镀部内设置有多个第二镂空孔。所述第一镂空孔的形状与所述第二镂空孔的形状不同，和/或，所述第一镂空孔与所述第二镂空孔的分布密度不同。μ<subgt;1</subgt;/E<subgt;1</subgt;与μ<subgt;2</subgt;/E<subgt;2</subgt;处于同一量级，其中，μ<subgt;1</subgt;为所述第一蒸镀部的泊松比，μ<subgt;2</subgt;为所述第二蒸镀部的泊松比，E<subgt;1</subgt;为所述第一蒸镀部沿所述第一方向的弹性模量，E<subgt;2</subgt;为所述第二蒸镀部沿所述第一方向的弹性模量。本申请能够提高蒸镀效率与蒸镀效果。技术研发人员：毕娜,王威,刘华猛受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司技术研发日：20230927技术公布日：2024/6/13