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一种真空镀膜机的制作方法

  • 国知局
  • 2024-06-20 15:33:59

本技术涉及真空镀膜机,具体为一种真空镀膜机。

背景技术:

1、真空镀膜机主要是指一类需要在较高真空度下进行镀膜的机械,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种,在真空镀膜机使用过程中需要用到调节结构,从而提高真空镀膜机的使用效果,比如:

2、中国专利授权公告号cn215799872u,公开了一种便于调节高度的真空镀膜机,包括真空镀膜机和框体,所述真空镀膜机位于框体的顶部,所述真空镀膜机底部的两侧均固定连接有固定板,所述固定板相对的一侧固定连接有横杆,所述横杆表面的两侧均套设有套管,所述套管的底部通过转轴活动连接有连接杆,两个连接杆的中部通过转轴活动连接。本实用新型具备便于调节工件架的高度,便于在工件架上放置不同高度的工件,便于调节真空镀膜机高度的优点,解决了真空镀膜机中工件架大都固定安装,不能够调节工件架之间的距离,不便于放置不同高度的工件,不能够调节真空镀膜机的高度,需要将真空镀膜机放置在支撑台上操作,不便于真空镀膜机使用的问题。

3、上述中的现有技术方案存在以下缺陷:对真空镀膜机的高度进行调节时通过连接杆进行调节,普通真空镀膜机对镀膜后的镀膜件拿取效果不佳,对于镀膜件的限位固定不够便捷,因此,本实用新型提供一种真空镀膜机,以解决上述提出的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机,以解决上述背景技术中提出的对真空镀膜机的高度进行调节时通过连接杆进行调节,普通真空镀膜机对镀膜后的镀膜件拿取效果不佳,对于镀膜件的限位固定不够便捷的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜机,包括固定柱,其内部外侧安装有安装杆,且安装杆的左侧连接有衔接轮,所述衔接轮的上端外侧安装有移动板,且移动板的上侧固定安装有真空镀膜机体,所述真空镀膜机体的上端左侧连接有真空泵,且真空镀膜机体的内部上侧安装有加热器;

3、固定板,其固定安装在真空镀膜机体的内部中侧,且固定板的前侧安装有拆卸结构,所述拆卸结构包括箱门、连接块、固定杆、第二弹簧和限位块,且拆卸结构的后侧安装有密封块;

4、安装板,其固定安装在固定板的外侧,且安装板的内部外侧固定连接有固定块,所述固定块的内侧连接有夹持板,且夹持板的外侧固定设置有第一弹簧。

5、优选的,所述真空镀膜机体的前侧安装有箱门,且箱门的右端后侧固定安装有连接块,并且连接块的中侧连接有固定杆,所述连接块的后侧安装有限位块,且限位块的后侧固定设置有第二弹簧。

6、优选的,所述第一弹簧在夹持板的外侧均匀分布并对夹持板起到移动作用。

7、优选的,所述夹持板与固定块之间采用滑动的方式相连接,且夹持板的竖截面形状为“t”字型结构。

8、优选的,所述安装杆与衔接轮之间构成蜗轮蜗杆结构,且衔接轮关于固定柱的中心线左右对称分布。

9、优选的,所述衔接轮与移动板之间采用螺纹的方式相连接,且移动板的下端外侧设置有凸块结构。

10、优选的,所述箱门与真空镀膜机体之间采用转动的方式相连接,且真空镀膜机体与密封块之间采用贴合的方式相连接。

11、优选的,所述连接块与固定杆之间采用螺纹的方式相连接,且连接块与限位块之间采用卡合的方式相连接。

12、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该真空镀膜机,方便对真空镀膜机的高度进行调节,方便对镀膜后的镀膜件进行拿取,且方便对镀膜件进行限位固定;

13、1、通过转动安装杆,使安装杆在固定柱的内部外侧进行转动,从而使与安装杆构成蜗轮蜗杆结构的衔接轮进行转动,进而使与衔接轮螺纹连接的移动板在固定柱的内部向上进行滑动,使移动板带动真空镀膜机体向上进行移动,方便对真空镀膜机体的高度进行调节;

14、2、通过将镀膜件放置在安装板的内侧,使镀膜件推动夹持板向外侧进行滑动,从而使夹持板在固定块的外侧向外侧进行滑动,进而使夹持板带动第一弹簧进行压缩,使第一弹簧带动夹持板向内侧进行滑动,从而使夹持板对镀膜件进行夹持,方便对镀膜件进行限位固定;

15、3、通过转动固定杆,使固定杆在连接块的中侧进行螺纹连接,从而使连接块在真空镀膜机体的右侧进行分离,再通过箱门与真空镀膜机体之间的转动连接,使箱门带动连接块在真空镀膜机体的右侧进行分离,从而使连接块推动限位块向后侧进行滑动,进而使限位块带动第二弹簧进行压缩,使限位块在连接块的后侧进行分离,从而使箱门带动密封块在真空镀膜机体的内侧进行分离,方便对镀膜后的镀膜件进行拿取。

技术特征:

1.一种真空镀膜机,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机,其特征在于:所述真空镀膜机体(3)的前侧安装有箱门(14),且箱门(14)的右端后侧固定安装有连接块(15),并且连接块(15)的中侧连接有固定杆(16),所述连接块(15)的后侧安装有限位块(18),且限位块(18)的后侧固定设置有第二弹簧(17)。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机,其特征在于:所述第一弹簧(8)在夹持板(9)的外侧均匀分布并对夹持板(9)起到移动作用。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机,其特征在于:所述夹持板(9)与固定块(12)之间采用滑动的方式相连接,且夹持板(9)的竖截面形状为“t”字型结构。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机,其特征在于:所述安装杆(10)与衔接轮(11)之间构成蜗轮蜗杆结构,且衔接轮(11)关于固定柱(1)的中心线左右对称分布。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜机,其特征在于:所述衔接轮(11)与移动板(2)之间采用螺纹的方式相连接,且移动板(2)的下端外侧设置有凸块结构。

7.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机,其特征在于:所述箱门(14)与真空镀膜机体(3)之间采用转动的方式相连接,且真空镀膜机体(3)与密封块(13)之间采用贴合的方式相连接。

8.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机,其特征在于:所述连接块(15)与固定杆(16)之间采用螺纹的方式相连接,且连接块(15)与限位块(18)之间采用卡合的方式相连接。

技术总结本技术公开了一种真空镀膜机,包括固定柱,其内部外侧安装有安装杆,且安装杆的左侧连接有衔接轮,所述衔接轮的上端外侧安装有移动板,且移动板的上侧固定安装有真空镀膜机体;固定板,其固定安装在真空镀膜机体的内部中侧,且固定板的前侧安装有拆卸结构,所述拆卸结构包括箱门、连接块、固定杆、第二弹簧和限位块,且拆卸结构的后侧安装有密封块;安装板,其固定安装在固定板的外侧,且安装板的内部外侧固定连接有固定块,所述固定块的内侧连接有夹持板,且夹持板的外侧固定设置有第一弹簧。该真空镀膜机,方便对真空镀膜机的高度进行调节,方便对镀膜后的镀膜件进行拿取,且方便对镀膜件进行限位固定。技术研发人员:罗永安,罗毅,王美军受保护的技术使用者:宁波恒毅永兴光电科技有限公司技术研发日:20230914技术公布日:2024/6/13

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