一种结构可调的MPCVD生长基台的制作方法

本技术涉及mpcvd生长基台，特别涉及一种结构可调的mpcvd生长基台。

背景技术：

1、mpcvd意思为微波等离子体化学气相沉积，mpcvd是用来批量生长单晶、多晶金刚石的一种设备，在使用mpcvd生长机对籽晶进行生长时，需要用到金属容器对籽晶进行存放，然后将存放有籽晶的金属容器放置在mpcvd生长机内部的基台顶部进行生长，在籽晶的生长过程中需要处于水平状态，有利于籽晶的生长。

2、目前，公告号为cn218671273u的中国专利，公开了一种单晶金刚石生长升降台，包括支撑平台和驱动电机，驱动电机输出端固定连接有螺纹杆，螺纹杆外壁螺纹连接有滑动筒，滑动筒顶部固定连接在支撑平台底部，支撑平台顶部开设有固定槽，固定槽内部滑动连接有四个夹持板，四个夹持板相远离一侧与固定槽之间均固定连接有弹簧，该实用新型的有益效果是：通过将容器放置在固定槽内部，随后通过弹簧对夹持板进行挤压，实现对容器底部固定的效果，同时通过弹簧弹性，便于对多种尺寸的容器进行固定，增加装置的实用性能。

3、现有的大部分mpcvd生长机用的基台不具备对放置籽晶的金属容器进行限位，当移动基台将基台顶部放置籽晶的金属容器进行取出时，放置籽晶的金属容器容易在基台顶部发生位移甚至掉落，并且不方便将基台调整至水平状态。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种结构可调的mpcvd生长基台，旨在解决现有的大部分mpcvd生长机用的基台不具备对放置籽晶的金属容器进行限位，当移动基台将基台顶部放置籽晶的金属容器进行取出时，放置籽晶的金属容器容易在基台顶部发生位移甚至掉落，并且不方便将基台调整至水平状态，从而影响使用效果的问题。

2、本实用新型是这样实现的，一种结构可调的mpcvd生长基台，包括基台本体，所述基台本体的内壁固定连接有隔板，所述隔板的数量为三个，所述基台本体的内部设置有限位机构，所述限位机构的数量为若干个，所述基台本体底部的四角均设置有调节柱；

3、所述限位机构包括限位板、限位柱和两个滑块，所述限位柱的底部穿过限位板且与隔板的顶部紧密接触，所述限位柱的表面与限位板的内部螺纹连接，所述滑块靠近限位板的一侧与限位板固定连接。

4、为了达到方便限位板移动的效果，作为本实用新型的一种结构可调的mpcvd生长基台优选的，所述限位板的内部开设有凹槽，所述凹槽的数量为三个，所述凹槽的内壁与隔板的表面接触。

5、为了达到避免限位板与隔板脱离的效果，作为本实用新型的一种结构可调的mpcvd生长基台优选的，所述基台本体内壁的前侧和后侧均开设有滑槽，所述滑块靠近滑槽的一侧延伸至滑槽内部且与滑槽的内部活动连接。

6、为了达到方便转动限位柱的效果，作为本实用新型的一种结构可调的mpcvd生长基台优选的，所述限位柱的顶部固定连接有拧块。

7、为了达到方便伸缩柱延长的效果，作为本实用新型的一种结构可调的mpcvd生长基台优选的，所述调节柱的顶部设置有伸缩柱，所述伸缩柱的顶部与基台本体的底部固定连接，所述伸缩柱的底部延伸至调节柱的内部且与调节柱的内部螺纹连接。

8、为了达到方便调节柱转动的效果，作为本实用新型的一种结构可调的mpcvd生长基台优选的，所述调节柱的底部设置有防滑垫，所述防滑垫的内部镶嵌有轴承，所述调节柱的表面与轴承的内壁固定连接。

9、为了达到方便转动调节柱的效果，作为本实用新型的一种结构可调的mpcvd生长基台优选的，所述调节柱的表面固定连接有拧条，所述拧条的数量为四个。

10、为了达到方便观察基台本体是否处于水平状态的效果，作为本实用新型的一种结构可调的mpcvd生长基台优选的，所述基台本体的左侧设置有气泡水平仪，所述气泡水平仪的底部固定连接有第一磁铁。

11、为了达到方便移动基台本体的效果，作为本实用新型的一种结构可调的mpcvd生长基台优选的，所述基台本体的表面固定连接有把手，所述把手的数量为四个。

12、为了达到方便将气泡水平仪与基台本体脱离的效果，作为本实用新型的一种结构可调的mpcvd生长基台优选的，所述第一磁铁的右侧磁吸有第二磁铁，所述第二磁铁的右侧与基台本体的左侧固定连接。

13、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

14、该结构可调的mpcvd生长基台，通过将放置有籽晶的金属容器放置在隔板与基台本体之间，然后移动限位板与放置有籽晶的金属容器接触，再对限位板进行限位，此时限位板即可对放置有籽晶的金属容器进行限位，然后将基台本体连通放置有籽晶的金属容器一起放入mpcvd生长机内部，再转动调节柱通过观察气泡水平仪即可将基台本体以及放置有籽晶的金属容器调整至水平状态，避免了现有的大部分mpcvd生长机用的基台本体不具备对放置籽晶的金属容器进行限位，当移动基台本体将基台本体顶部放置籽晶的金属容器进行取出时，放置籽晶的金属容器容易在基台本体顶部发生位移甚至掉落，并且不方便将基台本体调整至水平状态，从而影响使用效果的问题。

技术特征：

1.一种结构可调的mpcvd生长基台，包括基台本体(1)，其特征在于：所述基台本体(1)的内壁固定连接有隔板(3)，所述隔板(3)的数量为三个，所述基台本体(1)的内部设置有限位机构(4)，所述限位机构(4)的数量为若干个，所述基台本体(1)底部的四角均设置有调节柱(6)；

2.根据权利要求1所述的一种结构可调的mpcvd生长基台，其特征在于：所述限位板(401)的内部开设有凹槽(8)，所述凹槽(8)的数量为三个，所述凹槽(8)的内壁与隔板(3)的表面接触。

3.根据权利要求1所述的一种结构可调的mpcvd生长基台，其特征在于：所述基台本体(1)内壁的前侧和后侧均开设有滑槽(13)，所述滑块(403)靠近滑槽(13)的一侧延伸至滑槽(13)内部且与滑槽(13)的内部活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种结构可调的mpcvd生长基台，其特征在于：所述限位柱(402)的顶部固定连接有拧块(7)。

5.根据权利要求1所述的一种结构可调的mpcvd生长基台，其特征在于：所述调节柱(6)的顶部设置有伸缩柱(9)，所述伸缩柱(9)的顶部与基台本体(1)的底部固定连接，所述伸缩柱(9)的底部延伸至调节柱(6)的内部且与调节柱(6)的内部螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种结构可调的mpcvd生长基台，其特征在于：所述调节柱(6)的底部设置有防滑垫(11)，所述防滑垫(11)的内部镶嵌有轴承(12)，所述调节柱(6)的表面与轴承(12)的内壁固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种结构可调的mpcvd生长基台，其特征在于：所述调节柱(6)的表面固定连接有拧条(10)，所述拧条(10)的数量为四个。

8.根据权利要求1所述的一种结构可调的mpcvd生长基台，其特征在于：所述基台本体(1)的左侧设置有气泡水平仪(2)，所述气泡水平仪(2)的底部固定连接有第一磁铁(15)。

9.根据权利要求1所述的一种结构可调的mpcvd生长基台，其特征在于：所述基台本体(1)的表面固定连接有把手(5)，所述把手(5)的数量为四个。

10.根据权利要求8所述的一种结构可调的mpcvd生长基台，其特征在于：所述第一磁铁(15)的右侧磁吸有第二磁铁(14)，所述第二磁铁(14)的右侧与基台本体(1)的左侧固定连接。

技术总结本技术公开了一种结构可调的MPCVD生长基台，属于MPCVD生长基台技术领域，其技术方案要点包括基台本体，所述基台本体的内壁固定连接有隔板，所述隔板的数量为三个，所述基台本体的内部设置有限位机构，所述限位机构的数量为若干个，所述基台本体底部的四角均设置有调节柱；所述限位机构包括限位板、限位柱和两个滑块，所述限位柱的底部穿过限位板且与隔板的顶部紧密接触，解决了现有的大部分MPCVD生长机用的基台不具备对放置籽晶的金属容器进行限位，当移动基台将基台顶部放置籽晶的金属容器进行取出时，放置籽晶的金属容器容易在基台顶部发生位移甚至掉落，并且不方便将基台调整至水平状态，从而影响使用效果的问题。技术研发人员：郑怡,袁稳,侯淅燕,袁良受保护的技术使用者：成都稳正科技有限公司技术研发日：20231114技术公布日：2024/6/13