一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置的制作方法

本技术涉及单晶硅制造，具体涉及一种可拆卸的去单晶硅多晶棒装置。

背景技术：

1、单晶硅行业生产后制得的单晶硅多晶棒是在单晶断线后，此基础上继续拉制的。此多晶棒位错量积累较大，热应力集中，在拉制的过程中，多晶棒可能产生炸裂。炸裂后使多晶棒碎料散落到地面，导致多晶棒碎料杂质污染严重，影响了回收硅料的品质，进而无法二次使用；同时增加了单晶硅多晶棒后续分选、清洗工序的工作量，提高了单晶硅的生产成本。

2、目前，为了解决上述问题，在本行业中在晶棒固定装置下设有碎料收集箱用于收集敲碎晶棒时的碎料，但为了方便敲碎晶棒，现有技术中箱体的四周高度均不会太高，使晶棒固定装置可以裸露在箱体外进行敲击，这样会导致敲击晶棒最高处时，碎料会向碎料收集箱外飞溅。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，将箱体的结构采用可拆卸的卯榫结构，并且，给露出箱体外的晶体固定装置内增设一个空心套筒，将该空心套筒作为一个阻挡板，使工作人员在敲碎多晶棒时，阻挡板可以减少碎料飞溅，防止原料污染。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：

3、一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，包括碎料收集箱、晶体固定装置，所述碎料收集箱包括底板、包围在底板周围的立围板，立围板和底板构成可拆卸的卯榫结构，所述晶体固定装置包括支撑架、设置于支撑架上的空心套筒，所述支撑架的尾部固定于底板上，所述支撑架的头部设有一个位于立围板的上方且裸露在碎料收集箱外的空心套筒，且支撑架为镂空结构，形成朝向底板的中心通道，所述空心套筒的空腔与中心通道连接，用于放置多晶棒。

4、进一步的，所述支撑架的中心轴与空心套筒的中心轴一致，将支撑架的内侧与空心套筒的外侧连接，支撑架中心通道的横截面的半径大于空心套筒空腔的横截面的半径。

5、进一步的，所述底板的四个周边上分别设有一个长度方向与所在周边平行的固定槽，且一个固定槽在长度方向上垂直贯穿于下一个周边，该固定槽与下一个周边上的固定槽垂直连接，将立围板插入到固定槽内，所述立围板上设有垂直底板的连接槽，一个固定槽内立围板上的连接槽与下一个垂直连接的固定槽连接形成一个插入槽，所述立围板随着插入槽垂直插入到该固定槽内。

6、进一步的，所述支撑架为三个相同支撑杆构成的三脚架结构，所述底板上设有与支撑杆相适配的洞口，将支撑杆的尾部垂直插入到相适配的洞口内。

7、进一步的，所述空心套筒的头部上连接有一个开口部，所述开口部呈现喇叭状朝向空腔的上方，用于导入多晶棒。

8、进一步的，所述空心套筒的侧面开设有一个用于敲击多晶棒的敲晶口，将敲晶口与中心通道进行连接。

9、进一步的，所述支撑架的内侧设有环形结构，所述环形结构的外侧与支撑架的内侧连接，所述环形结构用于限制多晶棒的位置。

10、进一步的，所述碎料收集箱、支撑架以及支撑架上设置的空心套筒均采用耐高温材料。

11、进一步的，所述支撑杆为可伸缩的伸缩杆，用于调节支撑架的高度。

12、本实用新型的有益效果：

13、本实用新型的目的是提供一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，具体的，将箱体的结构通过底板和立围板的连接形成一个可拆卸的卯榫结构，可以根据实际情况或者晶体固定装置的高度对立围板进行及时的调整，方便工作人员操作。

14、并且，给露出箱体外的晶体固定装置内增设一个空心套筒，将该空心套筒作为一个阻挡板，使工作人员在敲碎多晶棒时，阻挡板可以减少碎料飞溅，防止原料污染。所述空心套筒的上方还设置有一个呈喇叭状的开口部，可以方便导入多晶棒。

技术特征：

1.一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，其特征在于，包括碎料收集箱、晶体固定装置，所述碎料收集箱包括底板(1)、包围在底板(1)周围的立围板(2)，立围板(2)和底板(1)构成可拆卸的卯榫结构，所述晶体固定装置包括支撑架、设置于支撑架上的空心套筒(4)，所述支撑架的尾部固定于底板(1)上，所述支撑架的头部设有一个位于立围板(2)的上方且裸露在碎料收集箱外的空心套筒(4)，且支撑架为镂空结构，形成朝向底板(1)的中心通道，所述空心套筒(4)的空腔与中心通道连接，用于放置多晶棒。

2.根据权利要求1所述的一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，其特征在于，所述支撑架的中心轴与空心套筒(4)的中心轴一致，将支撑架的内侧与空心套筒(4)的外侧连接，支撑架中心通道的横截面的半径大于空心套筒(4)空腔的横截面的半径。

3.根据权利要求2所述的一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，其特征在于，所述底板(1)的四个周边上分别设有一个长度方向与所在周边平行的固定槽(11)，且一个固定槽(11)在长度方向上垂直贯穿于下一个周边，该固定槽(11)与下一个周边上的固定槽(11)垂直连接，将立围板(2)插入到固定槽(11)内，所述立围板(2)上设有垂直底板(1)的连接槽(21)，一个固定槽(11)内立围板(2)上的连接槽(21)与下一个垂直连接的固定槽(11)连接形成一个插入槽，所述立围板(2)随着插入槽垂直插入到该固定槽(11)内。

4.根据权利要求3所述的一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，其特征在于，所述支撑架为三个相同支撑杆(3)构成的三脚架结构，所述底板(1)上设有与支撑杆(3)相适配的洞口，将支撑杆(3)的尾部垂直插入到相适配的洞口内。

5.根据权利要求1所述的一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，其特征在于，所述空心套筒(4)的头部上连接有一个开口部(5)，所述开口部(5)呈现喇叭状朝向空腔的上方，用于导入多晶棒。

6.根据权利要求1所述的一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，其特征在于，所述空心套筒(4)的侧面开设有一个用于敲击多晶棒的敲晶口(41)，将敲晶口(41)与中心通道进行连接。

7.根据权利要求1所述的一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，其特征在于，所述支撑架的内侧设有环形结构(6)，所述环形结构(6)的外侧与支撑架的内侧连接，所述环形结构(6)用于限制多晶棒的位置。

8.根据权利要求1所述的一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，其特征在于，所述碎料收集箱、支撑架以及支撑架上设置的空心套筒(4)均采用耐高温材料。

9.根据权利要求4所述的一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，其特征在于，所述支撑杆(3)为可伸缩的伸缩杆，用于调节支撑架的高度。

技术总结本技术提供了一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，包括碎料收集箱、晶体固定装置，所述碎料收集箱包括底板、包围在底板周围的立围板，立围板和底板构成可拆卸的卯榫结构，所述晶体固定装置包括支撑架、设置于支撑架上的空心套筒，所述支撑架的尾部固定于底板上，所述支撑架的头部设有一个位于立围板的上方且裸露在碎料收集箱外的空心套筒，且支撑架为镂空结构，形成朝向底板的中心通道，所述空心套筒的空腔与中心通道连接，用于放置多晶棒。技术研发人员：刘福宇,关树军,洪华,路建华,曾宏强受保护的技术使用者：乐山市京运通半导体材料有限公司技术研发日：20231108技术公布日：2024/5/19