一种高面型精度反射镜制作方法与流程

本发明涉及光通讯，具体为一种高面型精度反射镜制作方法。

背景技术：

1、随着各个地区经济的飞速发展和科技的进步，光通讯也即光通信，光通信就是以光波为载波的通信。增加光路带宽的方法有两种：一是提高光纤的单信道传输速率；二是增加单光纤中传输的波长数，即波分复用技术。

2、为了可以方便光通讯的应用，从而设计了一种高面型精度反射镜，在光学系统中镜片的面型精度决定系统优劣和功能实现，特别是远距离工作和精密仪器对面型精度要求越高，现工艺技术在镀膜反射膜的过程中保证高反射率的同时往往会牺牲掉面型精度，制作高面型高反射镜片带来极大挑战。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种高面型精度反射镜制作方法，解决了现有的现工艺技术在镀膜反射膜的过程中保证高反射率的同时往往会牺牲掉面型精度的技术问题。

2、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种高面型精度反射镜制作方法，所述制作方法如下：

3、s1：镜片材质使用熔石英，首先将玻璃砖切割成镜片尺寸毛坯状，然后使用双抛机对毛坯依次进行研磨处理、粗抛光、细抛光处理，使用干涉仪对镜片测试面型测试。

4、s2：对加工完毕的玻璃料进行冷加工。

5、s3：冷加工抛好的玻璃料进行超声波清洗除去玻璃表面污渍，然后进行镀膜夹具上料，装进镀膜设备进行成膜，成膜使用磁控溅射设备。

6、s4：成膜结束后取出镜片，对镜片测试反射分光性能，1500-1600r要求达到99％以上，然后进行镀膜面反射面型测试，镀膜面会呈现凸出状态，对镜片再次清洗上镀膜夹具镀第二面，第二面主要是为了将第一面镀膜凸出的面型进行修正在使用第一面离子源参数和加热温度，在第二面镀1000nmsio2面型可拉会到冷加工平面。

7、优选的,所述面型需达到反射面型pv≤1/10λ@623.8nm，如果面型不合格需对镜片重新返修面型，直到达到要求面型。

8、优选的,所述上料材料使用的是99.999％纯度银靶、99.95％纯度钽靶、99.999％纯度硅靶，首先对玻璃进行加热到150℃，然后依次在玻璃表面镀上100nmsio2，150nmag、68nmsio2、88nmta2o5、50nmsio2、85nmta2o5、62nmsio2。

9、有益效果

10、本发明提供了一种高面型精度反射镜制作方法,本发明镜片材质使用熔石英，首先将玻璃砖切割成镜片尺寸毛坯状，然后使用双抛机对毛坯依次进行研磨处理、粗抛光、细抛光处理，使用干涉仪对镜片测试面型测试，通过这种加工方式可以使反射镜得到高精度面型以及高反射率。

技术特征：

1.一种高面型精度反射镜制作方法，其特征在于，所述制作方法如下：

2.根据权利要求1所述的一种高面型精度反射镜制作方法，其特征在于,所述面型需达到反射面型pv≤1/10λ@623.8nm，如果面型不合格需对镜片重新返修面型，直到达到要求面型。

3.根据权利要求1所述的一种高面型精度反射镜制作方法，其特征在于,所述上料材料使用的是99.999％纯度银靶、99.95％纯度钽靶、99.999％纯度硅靶，首先对玻璃进行加热到150℃，然后依次在玻璃表面镀上100nmsio2，150nmag、68nmsio2、88nmta2o5、50nmsio2、85nmta2o5、62nmsio2。

技术总结本发明公开了一种高面型精度反射镜制作方法，镜片材质使用熔石英，首先将玻璃砖切割成镜片尺寸毛坯状，然后使用双抛机对毛坯依次进行研磨处理、粗抛光、细抛光处理，使用干涉仪对镜片测试面型测试，面型需达到反射面型PV≤1/10λ@623.8nm，如果面型不合格需对镜片重新返修面型，直到达到要求面型；对加工完毕的玻璃料进行冷加工，冷加工抛好的玻璃料进行超声波清洗除去玻璃表面污渍，然后进行镀膜夹具上料，上料材料使用的是99.999％纯度银靶、99.95％纯度钽靶、99.999％纯度硅靶，首先对玻璃进行加热到150℃，然后依次在玻璃表面镀上100nmSIO2，150nmAg、68nmSIO2、88nmTA2O5、50nmSIO2、85nmTA2O5、62nmSIO2，装进镀膜设备进行成膜，成膜使用磁控溅射设备；成膜结束后取出镜片，对镜片测试反射分光性能。技术研发人员：尹高明受保护的技术使用者：东莞市德俊光电科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/5