一种多腔单片外延设备颗粒改善方法与流程

本申请属于外延片加工，尤其是涉及一种多腔单片外延设备颗粒改善方法。

背景技术：

1、在多腔单片外延设备加工生产中，正常生产流程为上载单元外的门阀打开，将盛有晶片的片蓝放置于上载单元内，上载单元内的门阀关闭，准备开始置换上载单元腔内进入的空气。当开始置换腔内空气时，需要通过真空泵将上载单元内的空气先进行抽取排出，而后再通入晶片生长所用的氮气，如此多次交替置换，最终达到置换气体的目的。但由于真空泵连接管路及腔体内部的连接器件存在部分颗粒，使得在抽气与充气的交替过程中，会造成上载单元内部颗粒附着至晶片表面，影响产品质量，从而提高产品不良批次发生的几率。

技术实现思路

1、本申请提供一种多腔单片外延设备颗粒改善方法，解决了现有技术中交替抽气和充气的置换气体方式容易导致上载单元腔内颗粒含量较高的技术问题。

2、为解决至少一个上述技术问题，本申请采用的技术方案是：

3、一种多腔单片外延设备颗粒改善方法，步骤包括，在硅片进入上载单元内后，同步且不间断地控制与上载单元连接的充气单元和抽气单元进行充/抽气，直至生产结束。

4、进一步的，所述充气单元包括朝上载单元充入氮气的管道。

5、进一步的，在通入氮气的管道上配设有用于控制其流量的快速阀和慢速阀。

6、进一步的，用于控制氮气流量的快速阀为30l/min；用于控制氮气流量的慢速阀为15l/min。

7、进一步的，所述抽气单元包括直接与上载单元连接的抽气泵和用于废气回收的处理泵，其中，抽气泵和处理泵均与上载单元的腔体的下端口连通。

8、进一步的，所述抽气泵与所述处理泵分别通过不同管道与上载单元的腔体连通，且流速互不相同。

9、进一步的，在与所述抽气泵连通的管道上设有两种流速阀，分别为快速阀和慢速阀。

10、进一步的，在与所述处理泵连通的管道上只设有一种流速阀。

11、进一步的，所述处理泵管道中的气流流量小于所述抽气泵管道中的气流流量。

12、进一步的，所有管道的流速阀均为单向阀。

13、采用本申请设计的一种多腔单片外延设备颗粒改善方法，通过改变气体置换方式，可减少上载单元内气体中颗粒发生的数量，在外延加工过程中，抽气与充气并行操作，始终能及时且不间断地保持上载单元内气体的密封性和安全性，并使上载单元内的空气能平稳地被置换替代，可降低上载单元内颗粒数量，以改善硅片表面质量。

技术特征：

1.一种多腔单片外延设备颗粒改善方法，其特征在于，步骤包括，在硅片进入上载单元内后，同步且不间断地控制与上载单元连接的充气单元和抽气单元进行充/抽气，直至生产结束。

2.根据权利要求1所述的一种多腔单片外延设备颗粒改善方法，其特征在于，所述充气单元包括朝上载单元充入氮气的管道。

3.根据权利要求2所述的一种多腔单片外延设备颗粒改善方法，其特征在于，在通入氮气的管道上配设有用于控制其流量的快速阀和慢速阀。

4.根据权利要求3所述的一种多腔单片外延设备颗粒改善方法，其特征在于，用于控制氮气流量的快速阀为30l/min；用于控制氮气流量的慢速阀为15l/min。

5.根据权利要求1所述的一种多腔单片外延设备颗粒改善方法，其特征在于，所述抽气单元包括直接与上载单元连接的抽气泵和用于废气回收的处理泵，其中，抽气泵和处理泵均与上载单元的腔体的下端口连通。

6.根据权利要求5所述的一种多腔单片外延设备颗粒改善方法，其特征在于，所述抽气泵与所述处理泵分别通过不同管道与上载单元的腔体连通，且流速互不相同。

7.根据权利要求5或6所述的一种多腔单片外延设备颗粒改善方法，其特征在于，在与所述抽气泵连通的管道上设有两种流速阀，分别为快速阀和慢速阀。

8.根据权利要求7所述的一种多腔单片外延设备颗粒改善方法，其特征在于，在与所述处理泵连通的管道上只设有一种流速阀。

9.根据权利要求8所述的一种多腔单片外延设备颗粒改善方法，其特征在于，所述处理泵管道中的气流流量小于所述抽气泵管道中的气流流量。

10.根据权利要求4、8任一项所述的一种多腔单片外延设备颗粒改善方法，其特征在于，所有管道的流速阀均为单向阀。

技术总结本申请提供一种多腔单片外延设备颗粒改善方法，步骤包括，在硅片进入上载单元内后，同步且不间断地控制与上载单元连接的充气单元和抽气单元进行充/抽气，直至生产结束。本申请一种多腔单片外延设备颗粒改善方法，通过改变气体置换方式，可减少上载单元内气体中颗粒发生的数量，在外延加工过程中，抽气与充气并行操作，始终能及时且不间断地保持上载单元内气体的密封性和安全性，并使上载单元内的空气能平稳地被置换替代，可降低上载单元内颗粒数量，以改善硅片表面质量。技术研发人员：刘硕,陈渊凌,王超,李果,柴晓伟,罗晖,谭永麟受保护的技术使用者：天津中环领先材料技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/5