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一种用于石英坩埚模具过水板的防护装置的制作方法

  • 国知局
  • 2024-06-20 13:36:41

:本技术涉及石英坩埚模具领域,特别涉及一种用于石英坩埚模具过水板的防护装置。

背景技术

0、背景技术:

1、过水板是石英坩埚模具的一个附属装置,其安装在石英坩埚模具上方,主要作用是防止石英坩埚熔制过程中石英坩埚模具内热量向外界散失,同时,可防止杂质掉落进入石英坩埚模具对石英坩埚品质造成影响,通常过水板为金属材质。在石英坩埚熔制过程中,电极不断向下移动,为了避免过水板与电极从而引起过水板导电,在过水板与电极之间留有一定间隙。

2、在实际生产过程中,有部分坩埚表面会出现白点缺陷,经研究表明,白点缺陷是有上述间隙内掉落的杂质引起的,为改善坩埚成品率,需要对间隙进行有效改善。

技术实现思路

0、技术实现要素:

1、本实用新型的目的在于提供一种可改善白点缺陷,提高石英坩埚成品品质的过水板防护装置。

2、本实用新型由如下技术方案实施:一种用于石英坩埚模具过水板的防护装置,其特征在于,包括至少两个石英防护板,每个所述石英防护板的内侧均开设有半径相同的弧形放置槽;多个所述弧形放置槽首尾相接形成圆柱形放置腔。

3、优选的,还包括卡箍,所述卡箍套设在所述石英防护板的外侧。

4、优选的,所述石英防护板为扇形,所述石英防护板的外侧端面上开设有沿其周向的卡箍槽,所述卡箍套设在所述卡箍槽内。

5、优选的,所述卡箍为ht海统喉箍。

6、本实用新型的优点:在过水板与电极之间的间隙处设置有石英防护板,有效对过水板与电极之间的间隙进行填充,石英防护板的弧形放置槽首尾相接形成电极放置腔,在石英坩埚熔制过程中,电极沿放置腔的轴向移动,既可避免电极与过水板接触引起的过水板导电,又可防止杂质掉落进入石英坩埚模具内,有效避免了白点缺陷。由于防护装置主体为石英材质,对石英坩埚熔制过程影响极小。

技术特征:

1.一种用于石英坩埚模具过水板的防护装置,其特征在于,包括至少两个石英防护板,每个所述石英防护板的内侧均开设有半径相同的弧形放置槽;

2.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚模具过水板的防护装置,其特征在于,还包括卡箍,所述卡箍套设在所述石英防护板的外侧。

3.根据权利要求2所述的一种用于石英坩埚模具过水板的防护装置,其特征在于,所述石英防护板为扇形,

4.根据权利要求3所述的一种用于石英坩埚模具过水板的防护装置,其特征在于,所述卡箍为ht海统喉箍。

技术总结本技术公开了一种用于石英坩埚模具过水板的防护装置,其特征在于,包括至少两个石英防护板,每个所述石英防护板的内侧均开设有半径相同的弧形放置槽;多个所述弧形放置槽首尾相接形成圆柱形放置腔。其优点在于:在过水板与电极之间的间隙处设置有石英防护板,有效对过水板与电极之间的间隙进行填充,石英防护板的弧形放置槽首尾相接形成电极放置腔,在石英坩埚熔制过程中,电极沿放置腔的轴向移动,既可避免电极与过水板接触引起的过水板导电,又可防止杂质掉落进入石英坩埚模具内,有效避免了白点缺陷。由于防护装置主体为石英材质,对石英坩埚熔制过程影响极小。技术研发人员:吕永龙,杜兴林,韩君勇,张国强,李晨,张杰,徐永霖,曹宇东受保护的技术使用者:宁夏欧晶科技有限公司技术研发日:20231011技术公布日:2024/6/13

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