一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构的制作方法

本技术涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构。

背景技术：

1、真空卷对卷镀膜设备中常包含有卷绕系统、冷辊系统、圆弧辊系统等，而这些系统动力装置大部分均需要外置安装到大气侧，一方面便于安装维护，另一方面能提高设备稳定性并大幅降低设备成本。动力装置在大气侧、传动辊在真空侧，两者之间存在压差，需要有严格保证旋转动密封的传动装置，对结构要求较高。在真空设备中传动密封主要是防止气体从相邻结合面间泄露，从而破坏设备内真空环境，达不到工艺所需的真空压力值。真空设备广泛采用磁流体密封传动装置来保证旋转动密封。现有真空设备中磁流体密封传动装置直接固定于腔体墙板上，设备工作中往复多次由大气环境转到真空环境，再由真空环境转到大气环境。腔体墙板一侧为低真空，一侧为大气压，两者之间的压差会使腔体墙板产生形变，磁流体密封传动装置直接固定于腔体墙板，而腔体墙板在大气下和真空下因气压差异产生的压差形变会促使连接固定于磁流体密封传动装置输出轴端的传动辊产生轴向位移或径向偏摆，且腔体墙板周围与中心位置不同，其形变量亦有不同，因此对应各点的磁流体密封传动装置输出轴端的轴向位移或径向偏摆均不同，最终造成多个传动棍间的形位差异，从而降低棍组传动精度，卷绕镀膜中薄膜的运行稳定性变差，从而影响产品质量。

2、磁流体密封传动装置直接固定于腔体墙板上，要减小腔体墙板两侧压差变形，需进一步加大腔体墙板厚度，会使设备更加笨重，相应驱动装置功率要更大，设备更加耗能，加大厚度显然不是最优解。因此需要一种在兼顾设备稳定性、设备强度、设备成本等，解决真空镀膜设备中压差形变对传动辊传动稳定性造成影响，提高设备稳定性及镀膜产品质量。

技术实现思路

1、针对上述问题，本实用新型提供了一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构。

2、为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构，包括腔体墙板、墙板支柱、前端板、后端板、支撑梁、真空波纹管、磁流体密封传动装置、电机固定座、伺服电机、行星减速机、主动皮带轮、同步带、从动皮带轮、后端轴承座、传动辊，所述前端板与后端板之间通过支撑梁定位并连接起来，在前端板的另一侧安装固定有墙板支柱形成一个整体，再整体连接固定到腔体墙板上形成一个悬壁结构，所述磁流体密封传动装置固定于前端板一侧，其传动输入轴端从腔体墙板穿出，并在其与腔体墙板中间套装有真空波纹管，所述后端轴承座固定于后端板一侧，传动辊两端放置于后端轴承座与磁流体密封传动装置的轴承座上，并用轴瓦固定，所述磁流体密封传动装置的传动输入轴端安装有从动皮带轮并通过同步带与行星减速机上的主动皮带轮连接，所述行星减速机上安装在伺服电机上，行星减速机通过电机固定座固定到腔体墙板外侧。

3、进一步的，所述磁流体密封传动装置与腔体墙板之间设置有密封圈。

4、进一步的，所述传动辊平行设置于两根支撑梁中间。

5、由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

6、本实用新型在悬壁结构中引入前端板，磁流体密封传动装置不直接固定于腔体墙板，在腔体墙板与后端板之间引入前端板，磁流体密封传动装置固定于前端板上，并在磁流体密封传动装置的前端板与腔体墙板之间套装有真空波纹管，腔体墙板大气与真空侧的外压差不直接作用于磁流体密封传动装置，真空波纹管能起到缓冲压差形变，使连接固定于磁流体密封传动装置输出轴端传动辊不因产生压差形而产生轴向位移或偏摆，有效解决现有真空镀膜设备中磁流体密封传动装置直接固定于腔体墙板，而腔体墙板大气与真空压差产生的压差形变会促使连接固定于磁流体密封传动装置输出轴端的传动辊产生轴向位移或偏摆的问题，同时兼顾了设备稳定性、设备强度、设备成本等。

技术特征：

1.一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构，其特征在于：包括腔体墙板(1)、墙板支柱(2)、前端板(3)、后端板(4)、支撑梁(5)、真空波纹管(6)、磁流体密封传动装置(7)、电机固定座(8)、伺服电机(9)、行星减速机(10)、主动皮带轮(11)、同步带(12)、从动皮带轮(13)、后端轴承座(14)、传动辊(15)，所述前端板(3)与后端板(4)之间通过支撑梁(5)定位并连接起来，在前端板(3)的另一侧安装固定有墙板支柱(2)形成一个整体，再整体连接固定到腔体墙板(1)上形成一个悬壁结构，所述磁流体密封传动装置(7)固定于前端板(3)一侧，其传动输入轴端从腔体墙板(1)穿出，并在其与腔体墙板(1)中间套装有真空波纹管(6)，所述后端轴承座(14)固定于后端板一侧，传动辊(15)两端放置于后端轴承座(14)与磁流体密封传动装置(7)的轴承座上，并用轴瓦固定，所述磁流体密封传动装置(7)的传动输入轴端安装有从动皮带轮(13)并通过同步带(12)与行星减速机(10)上的主动皮带轮(11)连接，所述行星减速机(10)上安装在伺服电机(9)上，行星减速机(10)通过电机固定座8固定到腔体墙板(1)外侧。

2.根据权利要求1所述一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构，其特征在于：所述磁流体密封传动装置(7)与腔体墙板(1)之间设置有密封圈。

3.根据权利要求1所述一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构，其特征在于：所述传动辊(15)平行设置于两根支撑梁(5)中间。

技术总结本技术公开了一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构，包括腔体墙板、墙板支柱、前端板、后端板，所述前端板与后端板之间通过支撑梁定位并连接起来，在前端板的另一侧安装固定有墙板支柱形成一个整体，再整体连接固定到腔体墙板上形成一个悬壁结构，所述磁流体密封传动装置固定于前端板一侧，其传动输入轴端从腔体墙板穿出，并在其与腔体墙板中间套装有真空波纹管，磁流体密封传动装置的传动输入轴端安装有从动皮带轮并通过同步带与行星减速机上的主动皮带轮连接，所述行星减速机上安装在伺服电机上。本实用在悬壁结构中引入前端板，不直接固定于腔体墙板，解决磁流体密封传动装置直接固定于腔体墙板产生轴向位移或偏摆的问题。技术研发人员：曲永鹏,黄发明,刘杰波受保护的技术使用者：福建金石能源有限公司技术研发日：20231013技术公布日：2024/7/11