颗粒捕捉装置及镀膜系统的制作方法

本申请涉及镀膜，特别是涉及一种颗粒捕捉装置及镀膜系统。

背景技术：

1、在现有技术中，镀膜系统运行的过程中，通过将工艺气体脉冲交替地通入镀膜腔室，工艺气体在沉积基体上化学吸附并反应，而形成沉积膜。尾气中本身便会夹带粉尘颗粒，且未反应的工艺气体在颗粒捕捉装置及真空泵中发生反应，产生新的粉尘颗粒。真空泵将反应后的尾气抽出镀膜装置，尾气依次流经颗粒捕捉装置和真空泵。

2、现有的颗粒捕捉装置能够对反应后的工艺气体中夹带的粉尘颗粒进行过滤，但未反应的工艺气体在流经现有的颗粒捕捉装置后，仍会在真空泵中与空气发生反应，并产生新的粉尘颗粒，且粉尘颗粒会在真空泵中积累，进而引起真空泵卡泵，影响镀膜系统的正常运行。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对如何延长尾气在颗粒捕捉装置内的流通路径，提供一种颗粒捕捉装置及镀膜系统。

2、一种颗粒捕捉装置，包括：

3、壳体，形成有安装腔、进气口及出气口，所述进气口与所述出气口均与所述安装腔连通，所述安装腔分为导流子腔和过滤子腔；

4、导流组件，设于所述导流子腔内，并构造有曲折延伸的导流通道，所述导流通道包括导入口和导出口，所述导入口与所述进气口连通，所述导出口与所述过滤子腔连通；及

5、过滤组件，位于所述导出口与所述出气口的导通路径上。

6、其中一个实施例中，所述导流通道包括至少两段导流子段，全部所述导流子段中至少一者的导流路径沿背向所述出气口的方向延伸设置。

7、其中一个实施例中，所述导流组件包括第一导流件及第二导流件，所述第一导流件间隔套设于所述第二导流件外；

8、其中，所述第一导流件的内壁与所述第二导流件的外壁围设形成沿背向所述出气口的方向延伸的所述导流子段。

9、其中一个实施例中，所述第二导流件包括导流部及限位部，所述导流部为筒状且具有相对设置的第一开口及第二开口，所述限位部为由所述导流部的一端向外延伸形成的环状结构，所述限位部位于所述第一开口一端，所述限位部伸出所述第一导流件外，且两者之间的间隔形成所述导流通道的所述导入口；

10、所述第一开口被构造为所述导流通道的所述导出口，所述第二开口位于所述导入口与所述导出口之间。

11、其中一个实施例中，所述限位部与所述安装腔的腔壁密合，以将所述安装腔分隔为所述导流子腔和过滤子腔，且两个所述子腔通过所述导流通道连通。

12、其中一个实施例中，所述导流组件还包括多个连接件，所述连接件连接于所述限位部与所述第一导流件之间。

13、其中一个实施例中，所述导流组件还包括支撑件，所述支撑件凸设于所述限位部背向所述导流部的一侧，并用于支撑所述过滤组件。

14、其中一个实施例中，所述第二导流件的中心轴线与所述出气口的中心轴线重合。

15、其中一个实施例中，其特征在于，所述颗粒捕捉装置还包括配接于所述壳体上的震动件，所述震动件用于提供一驱使所述壳体带动所述过滤组件至少沿一方向往复震动的驱动力。

16、其中一个实施例中，所述过滤组件包括两个滤芯。

17、一种镀膜系统，包括：

18、镀膜装置，其内设有镀膜腔室；

19、真空泵；以及

20、前述实施例中的颗粒捕捉装置，所述壳体的进气口与所述镀膜腔室连通，所述壳体的出气口与所述真空泵连通。

21、上述颗粒捕捉装置及镀膜系统，颗粒捕捉装置包括壳体、过滤组件及导流组件。壳体形成有安装腔、进气口及出气口，进气口与出气口均与安装腔连通，安装腔分为导流子腔和过滤子腔；导流组件设于导流子腔内，并构造有曲折延伸的导流通道，导流通道包括导入口和导出口，导入口与进气口连通，导出口与过滤子腔连通；及过滤组件位于导出口与出气口的导通路径上。在本申请实施例中，导流子腔与过滤子腔之间通过流组件的导流通道连通。反应后的尾气在真空泵的作用下被抽出镀膜腔室，并从进气口流入导流子腔内，再依次流经导入口、导流通道及导出口直至流入过滤子腔内并进一步流经过滤组件，直至尾气出气口中排出。其中，导流通道曲折延伸以引导尾气的流动方向，并延长尾气在安装腔内的流通路径，以使得尾气能够在导流组件内充分反应并生成粉尘颗粒，进一步反应的尾气经导流通道的引导从导出口流出，在流经过滤组件以实现粉尘颗粒的过滤，以将粉尘颗粒留在安装腔内，最后过滤后的尾气从出气口排出。如此，尾气在安装腔内形成从进气口流经导流组件及过滤组件，再从出气口排出的气流流动路径，且通过过滤组件过滤掉尾气中的粉尘颗粒，能够降低粉尘颗粒进入真空泵中的几率，延长真空泵的使用寿命。

技术特征：

1.一种颗粒捕捉装置（200），其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的颗粒捕捉装置（200），其特征在于，所述导流通道（221）包括至少两段导流子段，全部所述导流子段中至少一者的导流路径沿背向所述出气口（213）的方向延伸设置。

3.根据权利要求2所述的颗粒捕捉装置（200），其特征在于，所述导流组件包括第一导流件（226）及第二导流件（227），所述第一导流件（226）间隔套设于所述第二导流件（227）外；

4.根据权利要求3所述的颗粒捕捉装置（200），其特征在于，所述第二导流件（227）包括导流部（229）及限位部（228），所述导流部（229）为筒状且具有相对设置的第一开口及第二开口，所述限位部（228）为由所述导流部（229）的一端向外延伸形成的环状结构，所述限位部（228）位于所述第一开口一端，所述限位部（228）伸出所述第一导流件（226）外，且两者之间的间隔形成所述导流通道（221）的所述导入口（223）；

5.根据权利要求4所述的颗粒捕捉装置（200），其特征在于，所述限位部（228）与所述安装腔（211）的腔壁密合，以将所述安装腔（211）分隔为所述导流子腔(214)和所述过滤子腔（215），且两个所述子腔通过所述导流通道（221）连通。

6.根据权利要求4所述的颗粒捕捉装置（200），其特征在于，所述导流组件（22）还包括多个连接件（2210），所述连接件（2210）连接于所述限位部（228）与所述第一导流件（226）之间。

7.根据权利要求4所述的颗粒捕捉装置（200），其特征在于，所述导流组件（22）还包括支撑件（2211），所述支撑件（2211）凸设于所述限位部（228）背向所述导流部（229）的一侧，并用于支撑所述过滤组件（23）。

8.根据权利要求3所述的颗粒捕捉装置（200），其特征在于，所述第二导流件（227）的中心轴线与所述出气口（213）的中心轴线重合。

9.根据权利要求1所述的颗粒捕捉装置（200），其特征在于，所述颗粒捕捉装置（200）还包括配接于所述壳体（21）上的震动件（24），所述震动件（24）用于提供一驱使所述壳体（21）带动所述过滤组件（23）至少沿一方向往复震动的驱动力。

10.根据权利要求1所述的颗粒捕捉装置（200），其特征在于，所述过滤组件（23）包括两个滤芯。

11.一种镀膜系统（100），其特征在于，包括：

技术总结本申请涉及一种颗粒捕捉装置及镀膜系统，颗粒捕捉装置包括壳体、过滤组件及导流组件。壳体形成有安装腔、进气口及出气口，安装腔分为导流子腔和过滤子腔；导流组件设于导流子腔内，并构造有曲折延伸的导流通道，导流通道包括导入口和导出口，导入口与进气口连通，导出口与过滤子腔连通；及过滤组件位于导出口与出气口的导通路径上。在本申请实施例中，导流通道能够引导尾气的流动方向，并延长尾气在安装腔内的流通路径，以使得尾气能够在导流组件内充分反应并生成粉尘颗粒，进一步反应的尾气经导流通道的引导从导出口流出，在流经过滤组件以实现粉尘颗粒的过滤，从而降低粉尘颗粒进入真空泵中的几率，延长真空泵的使用寿命。技术研发人员：严大,张鹏,陈强利受保护的技术使用者：江苏微导纳米科技股份有限公司技术研发日：20230921技术公布日：2024/7/11