一种微波探针座的制作方法

本技术涉及微波检测，尤其是涉及一种微波探针座。

背景技术：

1、afm原子力显微镜是一种具有原子级高分辨的科学仪器，目前已广泛应用于材料学、生物化学、冶金学、有机化学、高分子及纳米材料学等研究实验领域中。现有的afm原子力显微镜在进行样品测试的过程中，探针无法接受微波信号，难以测试样品更多的特性。

技术实现思路

1、为了方便原子力显微镜在样品测试过程中为微波探针提供微波信号，本实用新型提出一种微波探针座，具体技术方案如下：

2、一种微波探针座，包括底座、固定基板、探针定位板、微波线路板、微波导线集成线束以及探针，所述固定基板和所述微波导线集成线束安装于所述底座，所述微波探针定位板固定于所述固定基板，所述探针和所述微波线路板固定于所述探针定位板，所述探针位于所述探针定位板和所述微波线路板之间，所述微波导线集成线束与所述微波线路板电性连接，所述微波线路板与所述探针电性连接。

3、进一步的，所述微波线路板设有第一触点，所述微波探针设有第二触点，所述第一触点和所述第二触点接触导通。

4、进一步的，所述微波探针座包括弹性压片，所述弹性压片固定于在所述固定基板，所述为探针位于所述弹性压片和所述微波线路板之间，所述弹性压片形变产生的压力使所述探针和所述微波线路板紧贴。

5、进一步的，所述弹性压片包括安装部和弹性部，所述安装部与固定基板固定，所述弹性部相对所述安装部倾斜，并抵压所述微波探针。

6、进一步的，所述微波探针座包括盖板，所述微波导线集成线束位于所述盖板和所述底座之间。

7、进一步的，所述探针定位板上设有定位槽，所述探针安装在所述定位槽。

8、进一步的，所述微波探针座包括反光镜，所述反光镜固定于所述底座底面。

9、进一步的，所述底座设有通光槽，所述反光镜反射的光束通过所述通光槽射向所述探针。

10、进一步的，所述微波探针座包括固定件，所述固定件安装于所述底座侧面。

11、进一步的，所述固定件为磁铁。

12、本实用新型的有益效果在于：通过一种微波探针座，在显微镜进行样品测试时，为探针提供微波信号，以测得样品更多的特性。

技术特征：

1.一种微波探针座，包括底座、固定基板、探针定位板，其特征在于：还包括微波线路板、微波导线集成线束以及探针，所述固定基板和所述微波导线集成线束安装于所述底座，所述探针定位板固定于所述固定基板，所述探针和所述微波线路板固定于所述探针定位板，所述探针位于所述探针定位板和所述微波线路板之间，所述微波导线集成线束与所述微波线路板电性连接，所述微波线路板与所述探针电性连接。

2.根据权利要求1所述的微波探针座，其特征在于：所述微波线路板设有第一触点，所述微波探针设有第二触点，所述第一触点和所述第二触点接触导通。

3.根据权利要求1所述的微波探针座，其特征在于：所述微波探针座包括弹性压片，所述弹性压片固定于所述固定基板，所述探针位于所述弹性压片和所述微波线路板之间，所述弹性压片形变产生的压力使所述微波探针和所述微波线路板紧贴。

4.根据权利要求3所述的微波探针座，其特征在于：所述弹性压片包括安装部和弹性部，所述安装部与固定基板固定，所述弹性部相对所述安装部倾斜，并抵压所述探针。

5.根据权利要求1所述的微波探针座，其特征在于：所述微波探针座包括盖板，所述微波导线集成线束位于所述盖板和所述底座之间。

6.根据权利要求1所述的微波探针座，其特征在于：所述探针定位板设有定位槽，所述探针安装于所述定位槽。

7.根据权利要求1所述的微波探针座，其特征在于：所述微波探针座包括反光镜，所述反光镜固定于所述底座底面。

8.根据权利要求7所述的微波探针座，其特征在于：所述底座设有通光槽，所述反光镜反射的光束通过所述通光槽射向所述探针。

9.根据权利要求1所述的微波探针座，其特征在于：所述微波探针座包括固定件，所述固定件安装于所述底座侧面。

10.根据权利要求9所述的微波探针座，其特征在于：所述固定件为磁铁。

技术总结一种微波探针座，属于微波检测技术领域，包括底座、固定基板、探针定位板、微波线路板、微波导线集成线束以及探针，固定基板和微波导线集成线束安装于底座上，探针定位板固定于固定基板，探针和微波线路板固定于探针定位板，探针位于探针定位板和微波线路板之间，微波导线集成线束与微波线路板电性连接，微波线路板与探针电性连接。通过上述设计，在显微镜进行样品测试时，为探针提供微波信号，以测得样品更多的特性。技术研发人员：韩雄,钱锋受保护的技术使用者：苏州飞时曼精密仪器有限公司技术研发日：20231013技术公布日：2024/7/11