一种晶圆热处理设备用磁浮旋转装置的制作方法

本技术涉及晶圆热处理，具体为一种晶圆热处理设备用磁浮旋转装置。

背景技术：

1、快速热处理（rtp）设备是一种单片热处理设备，通过极快的升温速率，将晶圆或者材料在极短的时间内加热到300℃-1200℃，以消除晶圆或者材料内部的一些缺陷，改善产品性能，并且还能够快速降温，以将晶圆片冷却；rtp设备的核心技术主要包括反应腔室（包括热源）设计、温度测量技术和温度控制技术。

2、利用现有技术的热处理设备进行加工时，都是直接将晶圆片放置在的反应腔室进行热处理的，这样不仅容易导致晶圆片在升（或降）温度时受热（或冷）不均，而且处理后的晶圆片也不便于机械手夹取。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种晶圆热处理设备用磁浮旋转装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆热处理设备用磁浮旋转装置，包括晶圆热处理设备内部设置的反应腔，所述反应腔的内部设有石英腔，所述石英腔内设有一个用于放置晶圆片的磁浮旋转装置，所述磁浮旋转装置包括电磁铁和悬浮载台，所述电磁铁设置于石英腔的下腔体内，所述悬浮载台悬浮于石英腔内，所述悬浮载台的内部设有环形永磁铁。

3、优选的，所述反应腔的内部包括多个卤素灯，多个所述卤素灯分别固定安装在反应腔的上下腔体内壁。

4、优选的，所述反应腔的腔口与石英腔的腔口相对应，所述反应腔的腔口处设有喷吹头，所述喷吹头通过管道连接氮气供给装置。

5、优选的，所述环形永磁铁为耐高温材质的磁铁。

6、优选的，所述悬浮载台顶部还包括用于吸附晶圆片的静电吸盘。

7、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新型，特设的磁浮旋转装置可以将晶圆片悬浮承载的同时带动其进行旋转，从而使其在反应腔内均匀的受热（或冷），另外悬浮式的设计，使得晶圆片一直处于石英腔的中间，从而方便机械手伸入夹取加工后的晶圆片。

技术特征：

1.一种晶圆热处理设备用磁浮旋转装置，包括晶圆热处理设备内部设置的反应腔(1)，其特征在于：所述反应腔(1)的内部设有石英腔(2)，所述石英腔(2)内设有一个用于放置晶圆片的磁浮旋转装置(3)，所述磁浮旋转装置(3)包括电磁铁(31)和悬浮载台(32)，所述电磁铁(31)设置于石英腔(2)的下腔体内，所述悬浮载台(32)悬浮于石英腔(2)内，所述悬浮载台(32)的内部设有环形永磁铁(33)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆热处理设备用磁浮旋转装置，其特征在于：所述反应腔(1)的内部包括多个卤素灯(11)，多个所述卤素灯(11)分别固定安装在反应腔(1)的上下腔体内壁。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆热处理设备用磁浮旋转装置，其特征在于：所述反应腔(1)的腔口与石英腔(2)的腔口相对应，所述反应腔(1)的腔口处设有喷吹头(12)，所述喷吹头(12)通过管道连接氮气供给装置。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆热处理设备用磁浮旋转装置，其特征在于：所述环形永磁铁(33)为耐高温材质的磁铁。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆热处理设备用磁浮旋转装置，其特征在于：所述悬浮载台(32)顶部还包括用于吸附晶圆片的静电吸盘(34)。

技术总结本技术公开了一种晶圆热处理设备用磁浮旋转装置，包括晶圆热处理设备内部设置的反应腔，所述反应腔的内部设有石英腔，所述石英腔内设有一个用于放置晶圆片的磁浮旋转装置，所述磁浮旋转装置包括电磁铁和悬浮载台，所述电磁铁设置于石英腔的下腔体内，所述悬浮载台悬浮于石英腔内，所述悬浮载台的内部设有环形永磁铁；本技术结构简单，设计新型，特设的磁浮旋转装置可以将晶圆片悬浮承载的同时带动其进行旋转，从而使其在反应腔内均匀的受热（或冷），另外悬浮式的设计，使得晶圆片一直处于石英腔的中间，从而方便机械手伸入夹取加工后的晶圆片。技术研发人员：顾少俊,张西东,余珺受保护的技术使用者：鑫德斯特电子设备（安徽）有限公司技术研发日：20231102技术公布日：2024/7/11