一种卧式真空镀膜设备的制作方法

本申请涉及一种真空镀膜设备，特别是涉及一种卧式真空镀膜设备。

背景技术：

1、现有的真空镀膜设备中，尤其是卧式真空镀膜设备，真空室的水平两侧壁带有进料口、出料口，待镀膜工件经进出料口水平的传送进入真空室，为了便于真空室的检修，真空室的顶壁大多设置检修口及封闭检修口的门组件，检修口处采用密封组件(例如o-ring)进行密封。

2、为了避免门组件打开时碰触到密封组件，参考图1所示，现有门组件大多采用旋转的方式打开，但这种打开方式在高度方向比较占空间，且门组件有时重达500kg，需要足够的动力机构采用打开，不仅结构复杂且成本较高。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种卧式真空镀膜设备，包括：

2、真空室，具有带进料口、出料口的侧壁以及带检修口的顶壁，其内部设置有用于输送待镀膜工件的传送装置；

3、门组件，可水平滑移地设置在所述顶壁，用于封闭所述检修口；

4、密封组件，设置在所述顶壁和门组件之间；

5、抬升装置，活动设置于所述门组件的两侧，具有容许所述门组件封闭检修口的避让位置，以及抬高所述门组件使其脱离所述密封组件的支撑位置。

6、以下还提供了若干可选方式，但并不作为对上述总体方案的额外限定，仅仅是进一步的增补或优选，在没有技术或逻辑矛盾的前提下，各可选方式可单独针对上述总体方案进行组合，还可以是多个可选方式之间进行组合。

7、可选的，所述抬升装置相对所述门组件可水平滑动。

8、可选的，所述抬升装置为多个，同侧的抬升装置联动设置。

9、可选的，同侧的抬升装置通过联动件连接，所述联动件的一端设置有操作手柄。

10、可选的，所述抬升装置包括作用于所述顶壁的第一支撑轮以及作用于所述门组件的支撑部，所述门组件设置有与所述支撑部配合的斜面；

11、当所述抬升装置处于避让位置时，所述支撑部作用于所述斜面的较高位置；

12、当所述抬升装置处于支撑位置时，所述支撑部作用于所述斜面的较低位置。

13、可选的，所述门组件具有容纳所述抬升装置的槽口，所述斜面位于所述槽口的槽底。

14、可选的，所述支撑部设置有作用于所述斜面的第二支撑轮。

15、可选的，所述门组件的两侧转动设有滚轮，所述顶壁设有用于定位所述滚轮的沉槽。

16、可选的，所述滚轮为两组，同组的滚轮错位设置。

17、可选的，还包括设置于真空室一侧在所述门组件打开时用于支撑所述门组件的支撑架，所述支撑架上设有用于引导所述门组件滑移的导向轮。

18、本申请在门组件的两侧活动设置抬升装置，通过抬升装置仅需用较小的力便可将门组件抬高、完全脱离密封组件，最终可省力将门组件整体滑移出来，改变了现有技术中门组件复杂、费力的打开方式。

技术特征：

1.一种卧式真空镀膜设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的卧式真空镀膜设备，其特征在于，所述抬升装置相对所述门组件可水平滑动。

3.根据权利要求1所述的卧式真空镀膜设备，其特征在于，所述抬升装置为多个，同侧的抬升装置联动设置。

4.根据权利要求3所述的卧式真空镀膜设备，其特征在于，同侧的抬升装置通过联动件连接，所述联动件的一端设置有操作手柄。

5.根据权利要求3所述的卧式真空镀膜设备，其特征在于，所述抬升装置包括作用于所述顶壁的第一支撑轮以及作用于所述门组件的支撑部，所述门组件设置有与所述支撑部配合的斜面；

6.根据权利要求5所述的卧式真空镀膜设备，其特征在于，所述门组件具有容纳所述抬升装置的槽口，所述斜面位于所述槽口的槽底。

7.根据权利要求5所述的卧式真空镀膜设备，其特征在于，所述支撑部设置有作用于所述斜面的第二支撑轮。

8.根据权利要求1所述的卧式真空镀膜设备，其特征在于，所述门组件的两侧转动设有滚轮，所述顶壁设有用于定位所述滚轮的沉槽。

9.根据权利要求8所述的卧式真空镀膜设备，其特征在于，所述滚轮为两组，同组的滚轮错位设置。

10.根据权利要求1所述的卧式真空镀膜设备，其特征在于，还包括设置于真空室一侧在所述门组件打开时用于支撑所述门组件的支撑架，所述支撑架上设有用于引导所述门组件滑移的导向轮。

技术总结本申请公开了一种卧式真空镀膜设备，包括：真空室，具有带进料口、出料口的侧壁以及带检修口的顶壁，其内部设置有用于输送待镀膜工件的传送装置；门组件，可水平滑移地设置在所述顶壁，用于封闭所述检修口；密封组件，设置在所述顶壁和门组件之间；抬升装置，活动设置于所述门组件的两侧，具有容许所述门组件封闭检修口的避让位置，以及抬高所述门组件使其脱离所述密封组件的支撑位置。本申请通过抬升装置，仅需用较小的力便可将门组件抬高、完全脱离密封组件，最终可省力将门组件整体滑移出来，改变了现有技术中门组件复杂、费力的打开方式。技术研发人员：蔡明慧,娄国明,徐建柱,沈纬徵,郑博鸿受保护的技术使用者：安徽越好电子装备有限公司技术研发日：20231115技术公布日：2024/7/11