一种免拆卸清洁的液刀的制作方法

本技术属于液刀，尤其涉及一种免拆卸清洁的液刀。

背景技术：

1、目前，在制备薄膜晶体管的过程中，常利用液刀将化学溶液和超纯水等药液均匀涂布在基板表面，以预润湿和清洗基板。而液刀使用一段时间后，其刀口会出现药液凝结堵塞现象，因此工作人员经常需要进入制备薄膜晶体管的设备内部来拆卸液刀，并使用针来对液刀上的刀口依次进行清理。

2、但是，工作人员进入设备内部时很容易因沾染药液而导致化学灼伤；且液刀上刀口众多，使用针来对液刀的刀口依次进行清理的效率较低。

技术实现思路

1、本实用新型为克服现有技术缺陷，提供了一种免拆卸清洁的液刀，能够免拆卸清洁。

2、本实用新型目的通过下述技术方案来实现：

3、一种免拆卸清洁的液刀，其包括：

4、刀体，刀体内设置有腔体，刀体的下部沿长度方向均匀设置有若干与腔体连通的第一孔体；

5、供液管道，供液管道与腔体连通，供液管道远离腔体的一端设置有第一阀门；

6、供气管道，供气管道与腔体连通，供气管道远离腔体的一端设置有用于控制压缩气体进入的第二阀门。

7、在一个实施方式中，供液管道包括平行设置在刀体上端的第一管体和设置在刀体一侧的第二管体，第二管体的上端与第一管体的一侧连通，第二管体的下端设置第一阀门。

8、采用上述技术方案的有益效果为：供液管道分成第一管体和第二管体两部分布设在刀体周围，以使供液管道并非朝一个方向延伸，从而有利于减少液刀的占地面积。

9、在一个实施方式中，第一管体上设置有若干三通管，刀体的上部沿长度方向均匀设置有若干与所述腔体连通第二孔体，若干第二孔体分别与若干三通管的下端连通。

10、采用上述技术方案的有益效果为：若干三通管既使第一管体内部互相连通，也使第一管体与刀体上均匀设置的若干第二孔体连通，从而有利于第一管体中的流体均匀进入腔体内；同时，第一管体也通过若干三通管来与刀体固定连接。

11、在一个实施方式中，第一管体与第二管体之间设置有第一双通管。

12、采用上述技术方案的有益效果为：第一管体和第二管体通过第一双通管进行连接。

13、在一个实施方式中，第一管体和第二管体均为pvdf管道。

14、在一个实施方式中，供气管道包括平行设置在第一管体上端的第三管体和平行设置在第二管体一侧的第四管体，第四管体的上端与第二管体的一侧连通，第四管体的下端设置第二阀门。

15、采用上述技术方案的有益效果为：供气管道分成第三管体和第四管体两部分布设在刀体周围，以使供气管道并非朝一个方向延伸，从而有利于减少液刀的占地面积。

16、在一个实施方式中，第一管体和第三管体之间连接有若干支撑架。

17、采用上述技术方案的有益效果：第一管体通过若干支撑架来给第三管体提供支撑，以使第三管体随第一管体固定连接在刀体上。

18、在一个实施方式中，第三管体与第四管体之间设置有第二双通管。

19、采用上述技术方案的有益效果为：第三管体和第四管体通过第二双通管进行连接。

20、在一个实施方式中，第一管体远离第二管体的一侧设置有第三双通管，第三管体远离第四管体的一侧设置有第四双通管，第三双通管和第四双通管之间设置有中间管。

21、采用上述技术方案的有益效果为：第一管体依次通过第三双通管、中间管和第四双通管来与第三管体连通。

22、在一个实施方式中，第三管体和第四管体均为pp管道。

23、本实用新型的有益效果在于：

24、供液管道可向腔体内供应化学溶液和超纯水等药液，药液通过若干均匀设置的孔体向外涂布，以实现液刀的基本功能；供气管道可向腔体内供应压缩气体，以吹走腔体和第一孔体内可能存在药液凝结物，从而对液刀进行高效清洁，而不需要将液刀拆卸下来进行清洁。

技术特征：

1.一种免拆卸清洁的液刀，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种免拆卸清洁的液刀，其特征在于，所述供液管道(4)包括平行设置在所述刀体(1)上端的第一管体(401)和设置在所述刀体(1)一侧的第二管体(402)，所述第二管体(402)的上端与所述第一管体(401)的一侧连通，所述第二管体(402)的下端设置所述第一阀门(2)。

3.根据权利要求2所述的一种免拆卸清洁的液刀，其特征在于，所述第一管体(401)上设置有若干三通管(8)，所述刀体(1)的上部沿长度方向均匀设置有若干与所述腔体连通的第二孔体，若干所述第二孔体分别与若干所述三通管(8)的下端连通。

4.根据权利要求2所述的一种免拆卸清洁的液刀，其特征在于，所述第一管体(401)与所述第二管体(402)之间设置有第一双通管(7)。

5.根据权利要求2所述的一种免拆卸清洁的液刀，其特征在于，所述第一管体(401)和所述第二管体(402)均为pvdf管道。

6.根据权利要求2所述的一种免拆卸清洁的液刀，其特征在于，所述供气管道(5)包括平行设置在所述第一管体(401)上端的第三管体(501)和平行设置在所述第二管体(402)一侧的第四管体(502)，所述第四管体(502)的上端与所述第二管体(402)的一侧连通，所述第四管体(502)的下端设置所述第二阀门(3)。

7.根据权利要求6所述的一种免拆卸清洁的液刀，其特征在于，所述第一管体(401)和所述第三管体(501)之间连接有若干支撑架(9)。

8.根据权利要求6所述的一种免拆卸清洁的液刀，其特征在于，所述第三管体(501)与所述第四管体(502)之间设置有第二双通管(6)。

9.根据权利要求6所述的一种免拆卸清洁的液刀，其特征在于，所述第一管体(401)远离所述第二管体(402)的一侧设置有第三双通管(12)，所述第三管体(501)远离所述第四管体(502)的一侧设置有第四双通管(11)，所述第三双通管(12)和所述第四双通管(11)之间设置有中间管(10)。

10.根据权利要求6所述的一种免拆卸清洁的液刀，其特征在于，所述第三管体(501)和所述第四管体(502)均为pp管道。

技术总结本技术公开了一种免拆卸清洁的液刀，包括刀体，刀体内设置有腔体，刀体的下部沿长度方向均匀设置有若干与腔体连通的第一孔体；腔体连通有供液管道和供气管道，供液管道与腔体连通，供液管道远离腔体的一端设置有第一阀门，供气管道远离腔体的一端设置有用于控制压缩气体进入的第二阀门。本技术中，供液管道可向腔体内供应化学溶液和超纯水等药液，药液通过若干均匀设置的孔体向外涂布，以实现液刀的基本功能；供气管道可向腔体内供应压缩气体，以吹走腔体和第一孔体内可能存在药液凝结物，从而对液刀进行高效清洁，而不需要将液刀拆卸下来进行清洁。技术研发人员：王豪,赵佳民,李红有,唐旋,杨文栋,王广为,王鸿渝受保护的技术使用者：眉山琏升光伏科技有限公司技术研发日：20231129技术公布日：2024/7/18